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1. 发明专利

JP6983374B2 測定装置及び測定方法有权
公开(公告)号：JP6983374B2
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：JP2016226121
申请日：2016-11-21
申请人：株式会社東京精密
发明人：林恭平
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01B11/06

2. 发明专利

JP6975237B2 差分偏波干渉法によりエッチング深さを測定する方法及び器具ならびにかかる測定器具を含むグロー放電分光分析装置有权
公开(公告)号：JP6975237B2
公开(公告)日：2021-12-01
申请号：JP2019533099
申请日：2017-12-14
申请人：オリバフランスエス.アー.エス.
发明人：リシャールシモン
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00

3. 发明专利

JP2021182011A 表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021182011A
公开(公告)日：2021-11-25
申请号：JP2021136497
申请日：2021-08-24
申请人：株式会社東京精密
发明人：森井秀樹
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24
摘要：【課題】スティッチング測定により被測定面の表面形状測定を行う際の測定時間を効果的に短縮できる表面形状測定装置及びそのスティッチング測定方法を提供する。【解決手段】測定対象物Pのステージ10と、白色干渉計の光学部2と、測定光の光路長を変化させる走査手段と、被測定面Sの面内方向移動手段35と、被測定面Sの概略形状情報を取得する概略形状取得手段72と概略形状情報に基づいて被測定面Sを傾斜状領域Dと平坦状領域Kとで構成された複数の測定面Nに分割する被測定面分割手段74と、分割した各測定面について表面形状を測定走査するのに最小限必要な最小走査範囲Zを設定する最小走査範囲設定手段76と、を備えた。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2021531470A 顕微鏡検査用シアリング干渉法測定デバイス审中-公开
公开(公告)号：JP2021531470A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2021503941
申请日：2019-07-22
申请人：株式会社ニコン
发明人：グッドウィンエリックピーター , チンワン
IPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02 , G02B21/00 , G01N21/45
摘要：横方向シアリング干渉顕微鏡で生成される生物学的サンプル内の物体の干渉は、参照領域とサンプル領域とが交互になっている周期的構造体を備える、シアリング顕微鏡用スライドによって対処される。いくつかの実施形態では、参照領域は、シアリング微視的測定において、サンプルの重なりを取り除く参照部を提供するよう構成される。サンプル材料を受容するよう構成された入口と、サンプル材料の一部を放出するよう構成された出口と、複数の交互配置された参照チャネル及びサンプル・チャネルを有する周期的構造体とを備える、シアリング微視的測定を行うシステムも提供される。場合によっては、サンプル・チャネルは、入口から出口へのサンプル材料の流れに適応するよう構成され、参照チャネルは、シアリング微視的測定において、サンプルの重なりを取り除く参照部を提供するよう構成される。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2021529939A 干渉計光ファイバセンサ、光ファイバプローブ及び化学物質の検出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021529939A
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：JP2020570483
申请日：2019-06-17
申请人：インフォテックスポルカジーオグラニクゾナオドパウイエドジアルノシア , Inphotech spolka z ograniczona odpowiedzialnoscia
发明人：ブドニツキ,ダヴィド , マカラ,マリウシュ , ナピエラワ,マレク , ナジロフスキ,トマシュ , ポーツラック,クシシュトフ , ショストキェヴィッチ,ウカシュ , ウィルチンスキー,クシシュトフ , ヴィソキンスキー,カロル
IPC分类号： G01B9/02 , G01J3/26
摘要：【課題】大量の再現可能なテスト及び検査に適用可能にする。【解決手段】光源、検出器、及び光源と検出器との間に配列された光路、検出器と光源とが接続される光分割要素、光ファイバセグメント、及び共振キャビティを構成し、且つ検出される化学物質に接触するように構成された面を有する測定要素を含む、化学物質を検出するための干渉計光ファイバセンサであって、光ファイバセグメント及び測定要素が、それらの間に残留キャビティしか存在せず、光ファイバセグメントが、少なくともその長さの一部に沿って、キャピラリ内に含まれるように一緒に押し合っており、キャピラリの第1の末尾部分が測定要素に連結され、一方、キャピラリの他方の部分が光ファイバセグメント上に締め付けられ、その結果、キャピラリ、光ファイバセグメント及び測定要素が一緒に、光路の一部である光ファイバ測定プローブを構成し、キャピラリが少なくとも5mmの長さを有する。【選択図】図1a

6. 发明专利

JP6953673B2 光測定装置および光軸調整方法有权
公开(公告)号：JP6953673B2
公开(公告)日：2021-10-27
申请号：JP2018534354
申请日：2017-08-07
申请人：日本電気株式会社 , 国立大学法人香川大学
发明人：赤川武志 , 久保雅洋 , 阿部勝巳 , 田光公康 , アルトゥンタシエリスィン , 大野友嗣 , 有山哲理 , 石丸伊知郎
IPC分类号： G01J3/45 , G01B9/02

7. 发明专利

JP2021162439A 光コム座標測定装置、自動追尾装置及び自動追尾光コム測位装置、並びに光コム座標測定装置の校正方法有权
公开(公告)号：JP2021162439A
公开(公告)日：2021-10-11
申请号：JP2020063235
申请日：2020-03-31
申请人：株式会社XTIA
发明人：興梠元伸 , 今井一宏
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00
摘要：【課題】光コム座標測定装置、自動追尾装置及び自動追尾光コム測位装置、並びに光コム座標測定装置の校正方法を提供する。【解決手段】射出角度調整手段21により、光コム干渉計12を介して出射される測定光S1の光軸上の1点を回転中心として上記測定光S1の出射方向を回転させ、上記測定光S1の仰俯角と方位角を制御して、上記測定光S1を反射体50に照射し、上記反射体50により測定光S1が反射されて戻ってくる反射光S1’を上記光コム干渉計12を介して検出する光コム距離計10により上記反射体50までの距離を測定するとともに、上記射出角度調整機構20の射出角度検出手段22により上記測定光S1の仰俯角と方位角を検出し、上記測定光S1の光軸上の回転中心の位置を座標原点Oとする上記光コム干渉計12と射出角度調整機構20からなる光コム干渉計ヘッド部40で決まる座標系における座標(距離d,仰俯角θ,方位角φ)を出力する。【選択図】図1

8. 发明专利

JPWO2020202547A1 光距離測定装置有权
公开(公告)号：JPWO2020202547A1
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2019015131
申请日：2019-04-05
申请人：三菱電機株式会社
发明人：山内隆典 , 後藤広樹 , 吉田剛 , 斧原聖史 , 鈴木巨生
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02
摘要：光距離測定装置(100,100a)は、レーザ光を分岐して測定光及び参照光として出力する分岐部(103)と、測定光を分岐して第1測定光及び第2測定光として出力する測定光分岐部(104)と、参照光を分岐して第1参照光及び第2参照光として出力する参照光分岐部(105)と、第1レイリー長を有し、第1測定光を対象物(20)に照射するための第1光学系(131)と、第1レイリー長と異なる第2レイリー長を有し、第2測定光を対象物20に照射するための第2光学系(132)と、第1参照光、及び第1測定光が対象物20で反射した光である第1反射光を受けて、第1参照光及び第1反射光を示す第1受信信号を出力する第1受信部(141)と、第2参照光、及び第2測定光が対象物20で反射した光である第2反射光を受けて、第2参照光及び第2反射光を示す第2受信信号を出力する第2受信部(142)とを備えた。

9. 发明专利

JP2021148634A レーザ干渉装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021148634A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2020049329
申请日：2020-03-19
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：横山雄一郎
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02
摘要：【課題】煩雑な校正作業を必要としないレーザ干渉装置を提供する。【解決手段】レーザ干渉装置1は、レーザ光Lmを出射する測定用レーザ光源2と、レーザ光Lmを測定用レーザ光Lm1および被測定用レーザ光Lm2に分割するビームスプリッタ41と、基準レーザ光Lsを出射する基準レーザ光源3と、基準レーザ光Lsおよび被測定用レーザ光Lm2の干渉によるビート周波数Δfを検出する周波数検出器53と、ビート周波数Δfに基づいて被測定用レーザ光Lm2の波長(波長測定値)を算出する波長算出部と、測定用レーザ光Lm1の測定光および参照光による干渉光を検出して光検出信号Sd1,Sd2を出力する光検出部67と、波長測定値と光検出信号Sd1,Sd2に基づく演算処理を行うことにより、測定反射体65の変位量を算出する変位算出部と、を備える。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2021143938A 光干渉計測装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021143938A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：JP2020042765
申请日：2020-03-12
申请人：オムロン株式会社
发明人：木村和哉 , 早川雅之 , 森野久康 , 長崎裕介
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02
摘要：【課題】装置の大型化を招くことなく、低いコストで、マルチチャネルの光干渉計測装置を提供する。【解決手段】第1計測ヘッドで受光した第1戻り光は、第1光路及びファイバカプラを介してディテクタに導かれ、第2計測ヘッドで受光した第2戻り光は、第2光路及びファイバカプラを介してディテクタに導かれる。ファイバカプラから第1計測ヘッドの先端までの光路長D1、ファイバカプラから第2計測ヘッドの先端までの光路長D2、第1計測ヘッドの計測範囲の最大光路長R1max、第1戻り光と干渉させる第1参照光の光路長S1、第2戻り光と干渉させる第2参照光の光路長S2が、 D1+R1max−S1 の関係を満たすように設定されている。【選択図】図1

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