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1. 发明专利

JP2018532121A 波長可変レーザを用いた大面積OCTシステムと3次元イメージ補正方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018532121A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：JP2018522042
申请日：2016-10-19
申请人：コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド , インダストリー‐ユニバーシティーコーぺレーションファンデーションハンヤンユニバーシティ
发明人：イ、ヒョンキ , ユ、ホンギ , キム、チャンス , ナム、ヒョンス
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： A61B5/0066 , A61B5/00 , A61B5/0077 , G01B9/02041 , G01B9/02083 , G01B9/02091 , G01N21/45
摘要：本発明は、測定対象物の干渉イメージが取得される各時点に対応する短時間A−lineプロファイルのピークを観察することによって、測定対象物の深さ方向の動きを測定することができ、測定された深さ方向の動きに基づいて干渉信号の位相を補正することで、深さ方向の動きが補償されたOCTイメージを生成することができる、波長可変レーザを用いた大面積OCTシステムを提供する。

2. 发明专利

JP2018010011A 干渉検知システムの動き補償のための方法及び装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018010011A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2017178610
申请日：2017-09-19
申请人：インテュイティブサージカルオペレーションズ, インコーポレイテッド
发明人：フロガット,マーク,イー , サン,アレクサンダー,ケイ , ギフォード,ダウン,ケイ , クライン,ジャスティン,ダブリュ
IPC分类号： G01B11/16 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0207 , G01B9/02004 , G01B9/02069 , G01B9/02072 , G01B9/02076 , G01B9/02083 , G01B9/0209 , G01B11/0658 , G01B11/18 , G01D5/3537 , G01L1/242 , G01M11/3172
摘要：【課題】時間変化する外乱を受ける検知ライトガイドのパラメータを測定するための光学インテロゲーションシステムを提供する。【解決手段】光学インテロゲーションシステム、例えばOFDRベースのシステムは、時間変化する外乱にさらされる検知ライトガイドの屈折率の局所的な変化を測定する。検知ライトガイドの長さに対して検出される干渉測定信号は、スペクトル領域に変換される。時間変化する信号が、変換された干渉測定データセットから決定される。補償信号が、時間変化する外乱に対して干渉測定データセットを補償するために使用される時変信号から決定される。さらに、ロバスト性が、平均すること及びひずみ補償を使用して達成される。補償技術は、光ガイドの長さに沿って適用されることができる。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2017181115A 光周波数領域反射測定装置及び光周波数領域反射測定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017181115A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016064715
申请日：2016-03-28
申请人：アンリツ株式会社
发明人：森隆
IPC分类号： G01B11/16 , G01M11/00 , G01N21/45 , G01D5/353
CPC分类号： G01B9/0209 , G01B9/02027 , G01B9/02083
摘要：【課題】被測定光ファイバの広い範囲にわたり波長掃引の非線形を補正する、光周波数領域反射測定装置を提供する。【解決手段】掃引光源と、掃引光源の出力光の一部に所定の遅延時間差を与えて干渉させ補助干渉信号として出力する補助干渉計と、掃引光源の出力光の一部を被測定光ファイバに入力すると共に被測定光ファイバからの反射光と掃引光源の出力光の一部を干渉させ測定干渉信号として出力する測定干渉計と、補助干渉信号を用いて測定干渉信号に対して掃引光源の波長掃引の非線形を補正する線形化部と、線形化部の出力信号をフーリエ変換して周波数領域の信号を出力するフーリエ変換部と、を有する光周波数領域反射測定装置において、線形化部は各々異なる遅延時間を持つ複数の線形化部を有し、フーリエ変換部は複数の線形化部の出力信号に対してそれぞれ異なる重みをつけて加算しフーリエ変換された結果を出力する重み付き加算・フーリエ変換部を有する。【選択図】図4

4. 发明专利

JP2017083448A パターン援用補正を用いる局所的位相アンラッピングの方法とシステム审中-公开
公开(公告)号：JP2017083448A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：JP2016210957
申请日：2016-10-27
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション , Kla-Encor Corp , ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人： HELEN LIU , ZHAO XUAN , LI SHAOWEI
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02083 , G01B9/02078 , G01B9/02088 , G01B11/0608 , G01B11/2441 , G01B2210/56
摘要：【課題】パターン援用補正を用いる局所的位相アンラッピングの方法とシステムを提供する。【解決手段】ウェハ計測計システムは、干渉計サブシステム140a、140bと、コントローラ130を含む。干渉計サブシステムは、ウェハ表面の変調表現に対応する強度マップを有する干渉画像を生成するように構成される。さらに、干渉計サブシステムは、干渉画像を作成するように構成された検出器116a、116bを含む。コントローラ130は、1つまたは複数のプロセッサ132を含み、これらは、干渉画像のラップト(畳み込み)位相マップ(wrapped phase map)を生成し、ウェハ上の特徴物に関連するパターンを定義し、位相アンラッピング手順をラップト位相マップに適用してアンラップト位相マップを生成し、アンラップト位相マップの中の位相不連続性をパターンに基づいて補正することによって、位相不連続性を補正する。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6078081B2 ダイナミックレンジが拡張された光コヒーレンス断層撮影有权
标题翻译：光学相干断层成像，其动态范围已扩大
公开(公告)号：JP6078081B2
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：JP2014552562
申请日：2013-01-10
申请人：カールスルーエインスティテュートフュールテヒノロギー , KARLSRUHER INSTITUT FUER TECHNOLOGIE
发明人：シュナイダーシモン , コースクリスチャン , フロイデヴォルフガング , ロイトホルトユルク
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02091 , A61B5/0033 , G01B9/02049 , G01B9/02067 , G01B9/02072 , G01B9/02083 , A61B5/0066

6. 发明专利

JP2016202597A 偏光情報を利用した光干渉断層計审中-公开
标题翻译：利用偏振信息光学相干断层
公开(公告)号：JP2016202597A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：JP2015088041
申请日：2015-04-23
申请人：株式会社トーメーコーポレーション
发明人：山成正宏
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/21 , A61B3/10
CPC分类号： G01B9/02083 , A61B3/0025 , A61B3/102 , A61B5/0066 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02075 , G01B9/02091 , G01B2290/35 , G01B2290/70
摘要：【課題】波動関数の存在確率をジョーンズ行列の各要素の位相差の分布を推定するための複屈折の出現確率として類推した極めて斬新な手法を採用することにより、取得したジョーンズ行列の各要素の期待値の推定を行う解析処理を極めて短時間で実現し、良好な被検物の複屈折の定量解析を実施可能な光干渉断層計を提供する。【解決手段】ジョーンズ行列をベクトル化した後、拡張した行列に変換する行列拡張ステップと、拡張した行列を固有値分解して固有値と固有ベクトルを求める固有値分解ステップと、拡張された行列の固有値と固有ベクトルに基づいて取得したジョーンズ行列の固有値と固有ベクトルから被検物の偏光特性を推定する被検物偏光特性推定ステップとを備えた。【選択図】図3
摘要翻译：阿通过类推采用极其新颖技术的波函数为双折射的发生概率的存在概率来估计琼斯矩阵的每个元素的相位差的分布，所获取的琼斯矩阵的元素分析处理，来推定在非常短的时间达到了预期的值，提供一种光学相干断层扫描一个好试样的双折射能够执行定量分析。该A琼斯矩阵矢量之后，以及将所述扩展矩阵的矩阵扩展步骤，和本征值分解步骤以获得特征值和由本征值分解的特征向量被扩展矩阵，扩展矩阵的特征向量基于与估计从所述特征值和所获取的琼斯矩阵本征向量的测试对象的偏振特性的检查对象的偏振特性估计步骤。点域

7. 发明专利

JP5913544B2 干渉センシングおよび画像取得システムのための強度雑音を低減する方法および装置有权
标题翻译：用于降低强度噪声干扰传感和图像采集系统的方法和装置
公开(公告)号：JP5913544B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2014250138
申请日：2014-12-10
申请人：ライトラボ・イメージング・インコーポレーテッド
发明人：シュミット,ジョセフエム. , グリンバーグ,ヴィクター
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01N21/17
CPC分类号： G01B9/02055 , G01B9/02004 , G01B9/02044 , G01B9/02074 , G01B9/02083 , H03G3/3084 , H04B10/671

9. 发明专利

JP5666617B2 干渉センシングおよび画像取得システムのための強度雑音を低減する方法および装置有权
标题翻译：用于降低强度噪声干扰传感和图像采集系统的方法和装置
公开(公告)号：JP5666617B2
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：JP2012541238
申请日：2011-03-17
申请人：ライトラボ・イメージング・インコーポレーテッド
发明人：エム．シュミット，ジョセフ , エム．シュミット，ジョセフ , グリンバーグ，ヴィクター
IPC分类号： G01N21/17 , G01B9/02 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02055 , G01B9/02004 , G01B9/02044 , G01B9/02074 , G01B9/02083 , H03G3/3084 , H04B10/671

10. 发明专利

JP2014206419A 計測装置、それを用いた物品の製造方法审中-公开
标题翻译：测量装置及其制造方法
公开(公告)号：JP2014206419A
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：JP2013083184
申请日：2013-04-11
申请人：キヤノン株式会社 , Canon Inc
发明人： HATADA AKIHIRO
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01B11/24 , G01S17/36
CPC分类号： G01B9/02083 , G01B9/02002 , G01B9/02003 , G01B9/02007 , G01B9/02075 , G01B2290/60
摘要：【課題】多波長ヘテロダイン干渉計を用いる場合に、位相雑音の影響を低減し、高精度な計測を可能とする計測装置を提供する。【解決手段】この計測装置は、ヘテロダイン干渉計と、参照光と被検光との干渉光を検出して被検信号41を出力する第1検出器と、周波数が互いに異なる光同士の干渉光を検出して参照信号42を出力する第2検出器と、周波数シフト量に相当する周波数の基準信号を発生させる発振器43と、被検信号41と基準信号とを同期検波する第1同期検波部44a、44bと、参照信号42と基準信号とを同期検波する第2同期検波部44c、44dと、第1同期検波部44a、44bおよび第2同期検波部44c、44dのそれぞれの出力に基づいて、被検信号41と参照信号42との位相差を求める第1処理部46a、46b(46)と、位相差に基づいて位置を求める第2処理部47とを有する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种测量装置，当使用多波长外差干涉仪时，降低相位噪声的影响并以高精度进行测量。解决方案：测量装置包括：外差干涉仪; 检测参考光与测试光之间的干涉光的第一检测器，并输出测试信号41; 第二检测器，其检测频率彼此不同的光束之间的干涉光，并输出参考信号42; 产生频率对应于频移量的标准信号的振荡器43; 第一同步检测部件44a，44b，其同步地检测测试信号41和标准信号; 同步检测参考信号42和标准信号的第二同步检测部分44c，44d; 第一处理部分46a，46b（46），其基于第一同步检测部分44a，44b和第二同步检测部分44c，44d的输出找到测试信号41和参考信号42之间的相位差; 以及基于相位差找到位置的第二处理部47。

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