专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2008058701A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN VON RAUMKOORDINATEN AN EINER VIELZAHL VON MESSPUNKTEN 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用来确定坐标空间到测量点的各种
公开(公告)号：WO2008058701A1
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：PCT/EP2007/009797
申请日：2007-11-13
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , GRUPP, Guenter
发明人： RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B5/008 , G01B21/04
CPC分类号： G01B21/045 , G01B5/008
摘要： Zum Bestimmen von Raumkoordinaten einer Vielzahl von Messpunkten (24) entlang einer Kontur (25) eines Messobjekts (26) wird ein Tastkopf (20) mit einem Tastelement (22) bereitgestellt, das an dem Tastkopf (20) beweglich gelagert ist. Beim Verfahren des Tastkopfes (20) entlang der Kontur (25) werden Positionsmesswerte (28-32) des Tastkopfes (20) und Auslenkungen (70) des Tastelements (22) relativ zum Tastkopf (20) bestimmt. Aus den Positionsmesswerten (28-32) und Auslenkungen (70) werden Raumkoordinaten für die Messpunkte (24) entlang der Kontur (25) bestimmt. Das Tastelement (22) wird beim Verfahren des Tastkopfes (20) in Kontakt mit der Kontur (25) gehalten, indem mit Hilfe eines Aktors (62) eine definierte Antastkraft erzeugt wird. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Antastkraft in Abhängigkeit von einer Beschleunigung (105, 134) des Tastelements (22) relativ zu dem Tastkopf (20) eingestellt.
摘要翻译：用于确定多个测量点（24）的空间坐标沿测量对象（26）的探针（20）的轮廓（25）具有一个探头元件（22）被提供，其被可移动地支撑在所述探头（20）。在沿着探针元件的探针（20）和偏转（70）的轮廓（25）的位置测量值（28-32）的探针（20）的处理（22）相对于探针头（20）被确定。从位置测量值（28-32）和偏转（70）是被确定沿着轮廓（25）的测量点（24）的空间坐标。该感测元件（22）在由致动器（62）的装置产生在由定义的接触力与所述轮廓（25）相接触的探头（20）的方法保持。根据本发明的一个方面，在依赖的接触力上设置探头元件（22）相对于探针头（20）的加速度（105，134）。

2. 发明申请

WO2013110338A1 VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES KORREKTURWERTS FÜR EINE ÜBERWACHUNG EINES FLUIDLAGERS UND MASCHINE MIT MINDESTENS EINEM FLUIDLAGER 审中-公开
标题翻译：一种用于确定校正值监控流体轴承和设备与至少一个流体存储
公开(公告)号：WO2013110338A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/EP2012/051269
申请日：2012-01-26
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
发明人： SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B5/00 , G01B21/04 , F16C32/06 , B23Q1/38
CPC分类号： G01B5/008 , F16C32/0614 , F16C32/067 , F16C32/0692 , F16C2370/00 , G01B5/0009 , G01B21/042
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (90) zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers (35) einer Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit den Schritten: Bereitstellen (94) der Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), Ermitteln (96) einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), Bestimmen (98) eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), und Hinterlegen (100) des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung (38).
摘要翻译：本发明涉及一种方法（90），用于确定一个校正值用于监视用于处理的机器（10）的流体轴承（35）的或测量的工件（32），特别是坐标测量机，其包括以下步骤：在机器的设置（94）（10），用于处理或测量工件（32），包括：第一元件（56）和第二元件（58），其中，所述第一构件（56）和所述第二元件（58）由彼此至少一个流体轴承（35）的装置被支撑，并配有控制装置（38），用于控制发动机（10），确定（96）在所述至少一个流体轴承表示取决于第一部件的位置和/或方向的大小的压力（35）（56）相对到第二元件（58），确定（98）用于RELAT在用于第一部件的位置和/或定向，所述至少一个流体轴承（35）的压力的修正值（56） IV在控制装置（38）的校正值的第二元件（58），并留下（100）。

3. 发明申请

WO2011131375A1 OPERATION OF A COORDINATE MEASURING MACHINE OR A MACHINE TOOL 审中-公开
标题翻译：操作坐标测量机或机床的
公开(公告)号：WO2011131375A1
公开(公告)日：2011-10-27
申请号：PCT/EP2011002103
申请日：2011-04-18
申请人： ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH , SCHON HENNING , BURGER JOCHEN , GRUPP GUENTER , RUCK OTTO , AUBELE EUGEN , BERNHARD RALF
发明人： SCHON HENNING , BURGER JOCHEN , GRUPP GUENTER , RUCK OTTO , AUBELE EUGEN , BERNHARD RALF
IPC分类号： G01B5/008 , G01B21/04
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/047
摘要： The invention relates to a method for operating a coordinate measuring machine (11) or a machine tool, wherein a movement of a machining part (41) is controlled in such a way that during the movement of the machine part (41) a predetermined maximum acceleration and/or a predetermined maximum jerk (P) is not exceeded, the maximum acceleration and/or the maximum jerk being varied depending on the position of the machine part (41) and/or depending on the alignment of the machine part.
摘要翻译：本发明涉及一种用于操作一个坐标测量机（11）或机床，其特征在于，机器零件（41）的移动被机械部件（41）的预定最大加速度和/或预定的最大加加速度的运动过程中控制，使得方法（P ）不超过，最大加速度和/或最大冲击依赖性（从机器部分41）和/或改变取决于机器零件的取向的位置。

4. 发明申请

WO2007124828A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM POSITIONSGENAUEN TRIGGERN EINES WAHLWEISE AKTIVIERBAREN MASCHINENTEILS 审中-公开
标题翻译：用于位置的方法和装置EXACT触发选择性地可操作MACHINES PART
公开(公告)号：WO2007124828A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/EP2007/002853
申请日：2007-03-30
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SCHOERG, Friedrich , STUMPP, Ernst , GRUPP, Guenter , RUCK, Otto
发明人： SCHOERG, Friedrich , STUMPP, Ernst , GRUPP, Guenter , RUCK, Otto
IPC分类号： G05B19/23
CPC分类号： G05B19/23 , G05B2219/37175 , G05B2219/45165
摘要： Bei einem Verfahren zum positionsgenauen Triggern eines wahlweise aktivierbaren Maschinenteils (12), das entlang von zumindest einer Bewegungsachse (18) relativ zu einem Werkstück (22) verfahren wird, werden Ortspulse (32) mit Hilfe eines Inkrementalgebers (28) erzeugt, wobei die Anzahl der Ortspulse (32) einer Ortspulsfolge (30) repräsentativ ist für die Verfahrposition des Maschinenteils (12). Das Triggersignal (54) für das Maschinenteil (12) wird erzeugt, wenn die aktuelle Ortspulsanzahl einer definierten Pulsanzahl entspricht. Vorzugsweise findet der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl getrennt von einem übergeordneten Antriebsregelkreis (38, 46) statt. Besonders bevorzugt ist es, wenn der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl in einem Vergleicher stattfindet, der auf einer Schnittstellenkarte (48) einer Recheneinheit (36) angeordnet ist, wobei der Antriebsregelkreis mit einem Regler in Form eines Reglerprogramms (46) realisiert ist, das von dem Prozessor (38) der Recheneinheit (36) zyklisch abgearbeitet wird.
摘要翻译：在用于位置精确触发选择性地可操作的机器部件的方法（12）沿运动（18）相对于至少一个轴线移动到与增量式编码器（28）的帮助下产生的工件（22），本地脉冲（32），其中，所述数位置的脉冲（32）的空间的脉冲序列（30）代表的机械部件（12）的运动的位置。如果位置脉冲的当前数量对应于定义的脉冲数目产生用于在机器零件（12）的触发信号（54）。优选地，位置脉冲的当前数目的比较和脉冲数发生分别由较高的驱动控制电路（38，46）中所定义。特别优选的是如果位置脉冲的当前数量和脉冲定义数目的比较发生在一个比较器，其被布置在接口卡（48）的计算单元（36），其中所述驱动控制电路与在控制器程序的形式的调节器来实现（46）上所述计算单元（36）的处理器（38）的周期性处理。

5. 发明申请

WO2007017068A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM FÜHREN EINES MASCHINENTEILS ENTLANG EINER DEFINIERTEN BEWEGUNGSBAHN ÜBER EINER WERKSTÜCKOBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：方法和装置驱动的机器部件沿限定列车运行在工作表面
公开(公告)号：WO2007017068A1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/EP2006/007130
申请日：2006-07-20
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , GRUPP, Guenter , STUMPP, Ernst , BOUCKY, Otto , WALTHER, Joerg
发明人： GRUPP, Guenter , STUMPP, Ernst , BOUCKY, Otto , WALTHER, Joerg
IPC分类号： B23Q35/128 , B23K26/04
CPC分类号： B23K37/0229 , B23K26/04 , B23Q35/128 , G05B2219/36199 , G05B2219/4719
摘要： Ein Maschinenteil (12) wird entlang einer definierten Bewegungsbahn (28) über einer Werkstückoberfläche (23) geführt. Dabei wird das Maschinenteil (12) in einem definierten Abstand (50) zu der Werkstückoberfläche (23) gehalten. Zu diesem Zweck wird ein Abstandssensor (14) bereitgestellt, der dem Maschinenteil (12) mit einem definierten Vorlauf (18) vorauseilt. Es wird eine Vielzahl von Abstandswerten zwischen dem Abstandssensor (14) und der Werkstückoberfläche (23) bestimmt. In Abhängigkeit von den Abstandswerten wird eine Vielzahl von Stellwerten zum Einstellen des definierten Abstandes (50) bestimmt. Der definierte Abstand (50) wird mit Hilfe der Stellwerte wiederholt eingestellt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung werden die Abstandswerte entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem ersten Rasterabstand (46) bestimmt. Die Stellwerte werden entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem zweiten Rasterabstand (44) bestimmt. Der erste und der zweite Rasterabstand (46, 44) sind unterschiedlich.
摘要翻译：的机器部件（12）沿着在工件表面（23）限定的移动路径（28）引导。在这种情况下，在限定的距离（50），以在工件表面（23）的机械部件（12）被保持。为了这个目的，一个距离传感器（14）前方的机器部件（12）具有限定流（18）的提供。确定的多个距离传感器（14）和所述工件表面（23）之间的距离的值。取决于多个操纵变量用于调整所定义的距离的距离值（50）被确定。定义的距离（50）被重复地由控制值的装置调节。根据本发明的一个方面，沿运动（28）的路径的距离值具有第一间距（46）被确定。操纵值沿着移动路径（28）具有第二间距（44）来确定。所述第一和第二间距（46，44）是不同的。

6. 发明申请

WO2006127886A2 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：WO2006127886A2
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：PCT/US2006/020215
申请日：2006-05-25
申请人： CYMER, INC. , CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
发明人： DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

7. 发明申请

WO2006127886A3 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：WO2006127886A3
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：PCT/US2006020215
申请日：2006-05-25
申请人： CYMER INC , ZEISS IND MESSTECHNIK GMBH , DAS PALASH P , HOFFMANN THOMAS , SANDSTROM RICHARD L , BOUCKY OTTO , STUMPP ERNST , MATZKOVITS BERTHOLD , HOELL MICHAEL , WALTHER JOERG , BRENNER KURT , GRUPP GUENTER
发明人： DAS PALASH P , HOFFMANN THOMAS , SANDSTROM RICHARD L , BOUCKY OTTO , STUMPP ERNST , MATZKOVITS BERTHOLD , HOELL MICHAEL , WALTHER JOERG , BRENNER KURT , GRUPP GUENTER
IPC分类号： G01B11/14
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

8. 发明申请

WO2007012390A1 VERFAHREN ZUM KORRIGIEREN VON INTERPOLATIONSFEHLERN EINER MASCHINE, INSBESONDERE EINES KOORDINATENMESSGERÄTES 审中-公开
标题翻译：一种修正的插值误差的机的方法，尤其是坐标测量仪
公开(公告)号：WO2007012390A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：PCT/EP2006/006645
申请日：2006-07-07
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , GRUPP, Guenter , KAMMLEITER, Berndt
发明人： GRUPP, Guenter , KAMMLEITER, Berndt
IPC分类号： G01D5/244
CPC分类号： G01D5/2449 , G01D5/24452
摘要： Eine Maschine, insbesondere ein Koordinatenmessgerät, verwendet eine Maßverkörperung mit einer periodischen Teilung, um Raumpositionen eines Mess- oder Arbeitskopfes zu bestimmen. Die periodische Teilung der Maßverkörperung wird mit Hilfe von Interpolationswerten weiter unterteilt. Zum Korrigieren von Interpolationsfehlern wird der Kopf an eine Vielzahl von Positionen verfahren (60) und es wird eine Vielzahl von Positionsdaten (62) bestimmt. Die Vielzahl der Positionsdaten repräsentieren einen Positionsverlauf des Kopfes. Es wird ein periodischer Anteil in dem Positionsverlauf bestimmt, der in etwa der periodischen Teilung der Maßverkörperung entspricht. Anschließend werden Korrekturwerte zum Korrigieren der Interpolationswerte derart bestimmt, dass der periodische Anteil zumindest reduziert.
摘要翻译：一种机器，特别是坐标测量机，采用一个实物量具与周期性分裂来确定或测量工作头的空间位置。实物量具的周期性毕业是通过内插法进一步划分。用于校正所述头的内插误差被移动到多个位置（60）的和，确定多个位置数据（62）。的多个代表头部的位置曲线的位置的数据。它是确定的，在其大致对应于实物量具的周期性分割的位置轮廓的周期性分量。然后，校正值用于校正的内插，使得周期性分量至少减少来确定。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式