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1. 发明申请

WO2007124828A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM POSITIONSGENAUEN TRIGGERN EINES WAHLWEISE AKTIVIERBAREN MASCHINENTEILS 审中-公开
标题翻译：用于位置的方法和装置EXACT触发选择性地可操作MACHINES PART
公开(公告)号：WO2007124828A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/EP2007/002853
申请日：2007-03-30
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SCHOERG, Friedrich , STUMPP, Ernst , GRUPP, Guenter , RUCK, Otto
发明人： SCHOERG, Friedrich , STUMPP, Ernst , GRUPP, Guenter , RUCK, Otto
IPC分类号： G05B19/23
CPC分类号： G05B19/23 , G05B2219/37175 , G05B2219/45165
摘要： Bei einem Verfahren zum positionsgenauen Triggern eines wahlweise aktivierbaren Maschinenteils (12), das entlang von zumindest einer Bewegungsachse (18) relativ zu einem Werkstück (22) verfahren wird, werden Ortspulse (32) mit Hilfe eines Inkrementalgebers (28) erzeugt, wobei die Anzahl der Ortspulse (32) einer Ortspulsfolge (30) repräsentativ ist für die Verfahrposition des Maschinenteils (12). Das Triggersignal (54) für das Maschinenteil (12) wird erzeugt, wenn die aktuelle Ortspulsanzahl einer definierten Pulsanzahl entspricht. Vorzugsweise findet der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl getrennt von einem übergeordneten Antriebsregelkreis (38, 46) statt. Besonders bevorzugt ist es, wenn der Vergleich der aktuellen Ortspulsanzahl und der definierten Pulsanzahl in einem Vergleicher stattfindet, der auf einer Schnittstellenkarte (48) einer Recheneinheit (36) angeordnet ist, wobei der Antriebsregelkreis mit einem Regler in Form eines Reglerprogramms (46) realisiert ist, das von dem Prozessor (38) der Recheneinheit (36) zyklisch abgearbeitet wird.
摘要翻译：在用于位置精确触发选择性地可操作的机器部件的方法（12）沿运动（18）相对于至少一个轴线移动到与增量式编码器（28）的帮助下产生的工件（22），本地脉冲（32），其中，所述数位置的脉冲（32）的空间的脉冲序列（30）代表的机械部件（12）的运动的位置。如果位置脉冲的当前数量对应于定义的脉冲数目产生用于在机器零件（12）的触发信号（54）。优选地，位置脉冲的当前数目的比较和脉冲数发生分别由较高的驱动控制电路（38，46）中所定义。特别优选的是如果位置脉冲的当前数量和脉冲定义数目的比较发生在一个比较器，其被布置在接口卡（48）的计算单元（36），其中所述驱动控制电路与在控制器程序的形式的调节器来实现（46）上所述计算单元（36）的处理器（38）的周期性处理。

2. 发明申请

WO2008058701A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN VON RAUMKOORDINATEN AN EINER VIELZAHL VON MESSPUNKTEN 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用来确定坐标空间到测量点的各种
公开(公告)号：WO2008058701A1
公开(公告)日：2008-05-22
申请号：PCT/EP2007/009797
申请日：2007-11-13
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , GRUPP, Guenter
发明人： RUCK, Otto , AUBELE, Eugen , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B5/008 , G01B21/04
CPC分类号： G01B21/045 , G01B5/008
摘要： Zum Bestimmen von Raumkoordinaten einer Vielzahl von Messpunkten (24) entlang einer Kontur (25) eines Messobjekts (26) wird ein Tastkopf (20) mit einem Tastelement (22) bereitgestellt, das an dem Tastkopf (20) beweglich gelagert ist. Beim Verfahren des Tastkopfes (20) entlang der Kontur (25) werden Positionsmesswerte (28-32) des Tastkopfes (20) und Auslenkungen (70) des Tastelements (22) relativ zum Tastkopf (20) bestimmt. Aus den Positionsmesswerten (28-32) und Auslenkungen (70) werden Raumkoordinaten für die Messpunkte (24) entlang der Kontur (25) bestimmt. Das Tastelement (22) wird beim Verfahren des Tastkopfes (20) in Kontakt mit der Kontur (25) gehalten, indem mit Hilfe eines Aktors (62) eine definierte Antastkraft erzeugt wird. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Antastkraft in Abhängigkeit von einer Beschleunigung (105, 134) des Tastelements (22) relativ zu dem Tastkopf (20) eingestellt.
摘要翻译：用于确定多个测量点（24）的空间坐标沿测量对象（26）的探针（20）的轮廓（25）具有一个探头元件（22）被提供，其被可移动地支撑在所述探头（20）。在沿着探针元件的探针（20）和偏转（70）的轮廓（25）的位置测量值（28-32）的探针（20）的处理（22）相对于探针头（20）被确定。从位置测量值（28-32）和偏转（70）是被确定沿着轮廓（25）的测量点（24）的空间坐标。该感测元件（22）在由致动器（62）的装置产生在由定义的接触力与所述轮廓（25）相接触的探头（20）的方法保持。根据本发明的一个方面，在依赖的接触力上设置探头元件（22）相对于探针头（20）的加速度（105，134）。

3. 发明申请

WO2006127886A2 SYSTEMS AND METHODS FOR IMPLEMENTING AN INTERACTION BETWEEN A LASER SHAPED AS A LINE BEAM AND A FILM DEPOSITED ON A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：用于实现作为线束形成的激光与衬底上沉积的膜之间的相互作用的系统和方法
公开(公告)号：WO2006127886A2
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：PCT/US2006/020215
申请日：2006-05-25
申请人： CYMER, INC. , CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
发明人： DAS, Palash, P. , HOFFMANN, Thomas , SANDSTROM, Richard, L. , BOUCKY, Otto , STUMPP, Ernst , MATZKOVITS, Berthold , HOELL, Michael , WALTHER, Joerg , BRENNER, Kurt , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
摘要： Systems and methods are disclosed for focusing a beam for an interaction with a film deposited on a substrate wherein the focused beam defines a short axis and a long axis. In one aspect, the system may include a detecting system to analyze light reflected from the film on an image plane to determine whether the beam is focused in the short axis at the film. In still another aspect, a system may be provided for positioning a film (having an imperfect, non-planar surface) for interaction with a shaped line beam.
摘要翻译：公开的系统和方法用于聚焦用于与沉积在基板上的膜相互作用的光束，其中聚焦光束限定短轴和长轴。在一个方面，系统可以包括检测系统，以分析在图像平面上从胶片反射的光，以确定光束是否在胶片的短轴中聚焦。在另一方面，可以提供一种用于定位用于与成形线束相互作用的胶片（具有不完美的非平面表面）的系统。

4. 发明申请

WO2007017068A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM FÜHREN EINES MASCHINENTEILS ENTLANG EINER DEFINIERTEN BEWEGUNGSBAHN ÜBER EINER WERKSTÜCKOBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：方法和装置驱动的机器部件沿限定列车运行在工作表面
公开(公告)号：WO2007017068A1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/EP2006/007130
申请日：2006-07-20
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , GRUPP, Guenter , STUMPP, Ernst , BOUCKY, Otto , WALTHER, Joerg
发明人： GRUPP, Guenter , STUMPP, Ernst , BOUCKY, Otto , WALTHER, Joerg
IPC分类号： B23Q35/128 , B23K26/04
CPC分类号： B23K37/0229 , B23K26/04 , B23Q35/128 , G05B2219/36199 , G05B2219/4719
摘要： Ein Maschinenteil (12) wird entlang einer definierten Bewegungsbahn (28) über einer Werkstückoberfläche (23) geführt. Dabei wird das Maschinenteil (12) in einem definierten Abstand (50) zu der Werkstückoberfläche (23) gehalten. Zu diesem Zweck wird ein Abstandssensor (14) bereitgestellt, der dem Maschinenteil (12) mit einem definierten Vorlauf (18) vorauseilt. Es wird eine Vielzahl von Abstandswerten zwischen dem Abstandssensor (14) und der Werkstückoberfläche (23) bestimmt. In Abhängigkeit von den Abstandswerten wird eine Vielzahl von Stellwerten zum Einstellen des definierten Abstandes (50) bestimmt. Der definierte Abstand (50) wird mit Hilfe der Stellwerte wiederholt eingestellt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung werden die Abstandswerte entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem ersten Rasterabstand (46) bestimmt. Die Stellwerte werden entlang der Bewegungsbahn (28) mit einem zweiten Rasterabstand (44) bestimmt. Der erste und der zweite Rasterabstand (46, 44) sind unterschiedlich.
摘要翻译：的机器部件（12）沿着在工件表面（23）限定的移动路径（28）引导。在这种情况下，在限定的距离（50），以在工件表面（23）的机械部件（12）被保持。为了这个目的，一个距离传感器（14）前方的机器部件（12）具有限定流（18）的提供。确定的多个距离传感器（14）和所述工件表面（23）之间的距离的值。取决于多个操纵变量用于调整所定义的距离的距离值（50）被确定。定义的距离（50）被重复地由控制值的装置调节。根据本发明的一个方面，沿运动（28）的路径的距离值具有第一间距（46）被确定。操纵值沿着移动路径（28）具有第二间距（44）来确定。所述第一和第二间距（46，44）是不同的。

5. 发明申请

WO2013110338A1 VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES KORREKTURWERTS FÜR EINE ÜBERWACHUNG EINES FLUIDLAGERS UND MASCHINE MIT MINDESTENS EINEM FLUIDLAGER 审中-公开
标题翻译：一种用于确定校正值监控流体轴承和设备与至少一个流体存储
公开(公告)号：WO2013110338A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/EP2012/051269
申请日：2012-01-26
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
发明人： SAGEMUELLER, Rainer , GRUPP, Guenter
IPC分类号： G01B5/00 , G01B21/04 , F16C32/06 , B23Q1/38
CPC分类号： G01B5/008 , F16C32/0614 , F16C32/067 , F16C32/0692 , F16C2370/00 , G01B5/0009 , G01B21/042
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (90) zum Ermitteln eines Korrekturwerts für eine Überwachung eines Fluidlagers (35) einer Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), insbesondere eines Koordinatenmessgeräts, mit den Schritten: Bereitstellen (94) der Maschine (10) zum Bearbeiten oder Vermessen eines Werkstücks (32), mit einem ersten Element (56) und einem zweiten Element (58), wobei das erste Element (56) und das zweite Element (58) mittels mindestens eines Fluidlagers (35) aneinander abgestützt sind, und mit einer Steuerungseinrichtung (38) zum Steuern der Maschine (10), Ermitteln (96) einer einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) repräsentierenden Größe abhängig von einer Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), Bestimmen (98) eines Korrekturwerts für einen Druck in dem mindestens einen Fluidlager (35) für die Position und/oder Orientierung des ersten Elements (56) relativ zu dem zweiten Element (58), und Hinterlegen (100) des Korrekturwerts in der Steuerungseinrichtung (38).
摘要翻译：本发明涉及一种方法（90），用于确定一个校正值用于监视用于处理的机器（10）的流体轴承（35）的或测量的工件（32），特别是坐标测量机，其包括以下步骤：在机器的设置（94）（10），用于处理或测量工件（32），包括：第一元件（56）和第二元件（58），其中，所述第一构件（56）和所述第二元件（58）由彼此至少一个流体轴承（35）的装置被支撑，并配有控制装置（38），用于控制发动机（10），确定（96）在所述至少一个流体轴承表示取决于第一部件的位置和/或方向的大小的压力（35）（56）相对到第二元件（58），确定（98）用于RELAT在用于第一部件的位置和/或定向，所述至少一个流体轴承（35）的压力的修正值（56） IV在控制装置（38）的校正值的第二元件（58），并留下（100）。

6. 发明申请

WO2007012390A1 VERFAHREN ZUM KORRIGIEREN VON INTERPOLATIONSFEHLERN EINER MASCHINE, INSBESONDERE EINES KOORDINATENMESSGERÄTES 审中-公开
标题翻译：一种修正的插值误差的机的方法，尤其是坐标测量仪
公开(公告)号：WO2007012390A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：PCT/EP2006/006645
申请日：2006-07-07
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , GRUPP, Guenter , KAMMLEITER, Berndt
发明人： GRUPP, Guenter , KAMMLEITER, Berndt
IPC分类号： G01D5/244
CPC分类号： G01D5/2449 , G01D5/24452
摘要： Eine Maschine, insbesondere ein Koordinatenmessgerät, verwendet eine Maßverkörperung mit einer periodischen Teilung, um Raumpositionen eines Mess- oder Arbeitskopfes zu bestimmen. Die periodische Teilung der Maßverkörperung wird mit Hilfe von Interpolationswerten weiter unterteilt. Zum Korrigieren von Interpolationsfehlern wird der Kopf an eine Vielzahl von Positionen verfahren (60) und es wird eine Vielzahl von Positionsdaten (62) bestimmt. Die Vielzahl der Positionsdaten repräsentieren einen Positionsverlauf des Kopfes. Es wird ein periodischer Anteil in dem Positionsverlauf bestimmt, der in etwa der periodischen Teilung der Maßverkörperung entspricht. Anschließend werden Korrekturwerte zum Korrigieren der Interpolationswerte derart bestimmt, dass der periodische Anteil zumindest reduziert.
摘要翻译：一种机器，特别是坐标测量机，采用一个实物量具与周期性分裂来确定或测量工作头的空间位置。实物量具的周期性毕业是通过内插法进一步划分。用于校正所述头的内插误差被移动到多个位置（60）的和，确定多个位置数据（62）。的多个代表头部的位置曲线的位置的数据。它是确定的，在其大致对应于实物量具的周期性分割的位置轮廓的周期性分量。然后，校正值用于校正的内插，使得周期性分量至少减少来确定。

7. 发明申请

WO2016083305A1 KOORDINATENMESSGERÄT UND VERFAHREN ZUR KOMPENSATION GROßER WERKSTÜCKMASSEN 审中-公开
标题翻译：协调补偿GREAT WORK大众测量装置和方法
公开(公告)号：WO2016083305A1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：PCT/EP2015/077366
申请日：2015-11-23
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： ROTH, Roland , LEITENBERGER, Werner , GRUPP, Guenter , JACOBS, Oliver , WUERFEL, Carsten
IPC分类号： G01B21/04 , G01B5/00 , G01B5/008
CPC分类号： G01B5/0016 , G01B5/0004 , G01B5/008 , G01B21/045
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Koordinatenmessgerät (10), mit einem Messsystem (12) zum Vermessen eines Werkstücks (14), einer Trägerstruktur (20) zum Tragen des Messsystems, und mit einer Grundplatte (16) zum Abstützen des Werkstücks (14), wobei die Trägerstruktur (20) in zumindest einer Richtung bewegbar an der Grundplatte (16) geführt ist, und wobei das Koordinatenmessgerät (10) des Weiteren ein erstes Auflagersystem (28) mit mindestens drei Auflagern (22, 24, 26) zum Abstützen der Grundplatte (16) aufweist, wobei das Koordinatenmessgerät (10) des Weiteren ein zweites Auflagersystem (30) und eine Regelungseinrichtung (32) zur Regelung des zweiten Auflagersystems (30) abhängig von einer Kraftbeaufschlagung des ersten Auflagersystems (28) aufweist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren (110) zum Kompensieren großer Werkstückmassen auf einem Koordinatenmessgerät.
摘要翻译：本发明涉及一种坐标测量机（10），用于测量工件（14），支撑结构（20），用于支撑所述的测量系统，并且具有一个底板（16），用于支承所述工件（14），其中的测量系统（12）所述支撑结构（20）中的至少可移动以在所述基板上的方向（16）被引导，并且其中，所述坐标用于支撑底板测量装置（10）还包括第一轴承系统（28）具有至少三个支撑件（22，24，26）（ 16），其中，所述坐标测量装置（10）还包括用于控制所述第二（30的悬架系统中的第二轴承系统（30）和控制装置（32）），这取决于所述第一悬架系统（28）的力负载。此外，本发明涉及用于补偿大工件群众坐标测量机上的方法（110）。

8. 发明申请

WO2016030268A1 VERFAHREN ZUR EINZELPUNKTANTASTUNG EINES WERKSTÜCKS UND KOORDINATENMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：方法单点工件坐标测量仪
公开(公告)号：WO2016030268A1
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：PCT/EP2015/069133
申请日：2015-08-20
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： GRUPP, Guenter , RUCK, Ott , AUBELE, Eugen
IPC分类号： G01B21/04 , G01B5/008 , G05B19/401
CPC分类号： G01B5/008 , G01B21/04
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einzelpunktantastung eines Werkstücks (12) mittels eines Sensors, insbesondere eines taktilen Sensors, (16) eines Koordinatenmessgeräts (10), mit den Schritten des Bereitstellens einer eine geforderte Genauigkeit der Einzelpunktantastung zumindest mittelbar repräsentierenden Größe, des Bereitstellens eines Parameterdatensatzes (48), wobei der Parameterdatensatz (48) Vorgaben für das Regeln und/oder Auswerten der Einzelpunktantastung mit der geforderten Genauigkeit aufweist, und des Durchführen der Einzelpunktantastung des Werkstücks (12), wobei das Koordinatenmessgerät (10) basierend auf dem bereitgestellten Parameterdatensatz (48) geregelt und/oder eine Auswertung (10) basierend auf dem bereitgestellten Parameterdatensatz (48) durchgeführt wird. Des Weiteren wird ein Koordinatenmessgerät (10) zur Einzelpunktantastung eines Werkstücks (12) vorgeschlagen.
摘要翻译：本发明通过一个传感器的装置，涉及一种用于在工件（12）的单点的方法，特别是触觉传感器（16），坐标测量机（10），包括：提供单点的所需精确度至少间接地表示提供的大小的步骤参数的数据记录（48），其中所述参数数据集（48），用于在规则的准则和/或评估的单点与所要求的精度，并且基于执行所述工件（12）的单点，其中，所述坐标测量装置（10）（所提供的参数数据集 48）控制和/或执行基于所提供的参数数据记录（48）的评价（10）。此外，提供了一种坐标用于工件（12）的单点测量机（10）。

9. 发明申请

WO2016206896A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PRÜFEN EINER ELEKTRISCHEN GRÖSSE EINER ELEKTRISCHEN MASCHINE 审中-公开
标题翻译：方法和装置的电机测试电气SIZE
公开(公告)号：WO2016206896A1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：PCT/EP2016/061669
申请日：2016-05-24
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH
发明人： GRUPP, Guenter , RUCK, Otto , UHL, Peter , MAIER, Thomas
IPC分类号： H02P29/024 , H02H7/08 , H02H3/05 , H02M1/00
CPC分类号： H02P6/12 , G01B5/008 , G01R21/133 , H02M2001/0009 , H02P6/08 , H02P23/0022 , H02P29/0241
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren (50) zum Prüfen einer elektrischen Größe (I A ) einer elektrischen Maschine (10), insbesondere einer elektrischen Maschine (10) eines Koordinatenmessgeräts (80), wobei die elektrische Maschine (10) einen elektrischen Antrieb (12) mit einem Ständer und einem Läufer aufweist, mit den Schritten: Erfassen (52) eines Wertes eines Antriebsstroms (I A ), der zum Antreiben des Läufers dem elektrischen Antrieb (12) zugeführt wird, Erfassen (54) eines Messwertes (U C ) einer elektrischen Eingangsgröße der elektrischen Maschine (10), Bestimmen (60) eines Berechnungswertes (U C ) der elektrischen Eingangsgröße auf der Grundlage des erfassten Wertes des Antriebsstroms und eines Leistungsmodells der elektrischen Maschine, und Bestimmen (68) eines Vergleichswertes auf der Grundlage des erfassten Messwertes (U S ) und des bestimmten Berechnungswerts (U E ) der elektrischen Eingangsgröße, um den erfassten Wert des Antriebsstroms (I A ) zu prüfen.
摘要翻译：本发明涉及一种用于坐标测量机（80），其特征在于，所述电机（10）包括一个电驱动的电机（10）检测的电机（10）的一个电参量（IA），特别是方法（50）（12）具有定子和转子，包括以下步骤：检测（52）的驱动电流（IA），其被用于驱动所述电驱动装置（12）的转子，检测供给的值（54）的电输入量的测量值（UC）所述电机（10），确定（60）的驱动电流的检测值和电机的功率模型的基础上的电输入变量的计算值（UC），和确定（68）的基础上检测到的测量值的比较值（US）和电输入变量的所确定的计算值（UE）来检查的驱动电流（IA）的检测值。

10. 发明授权

EP1910779B1 VERFAHREN ZUM KORRIGIEREN VON INTERPOLATIONSFEHLERN EINER MASCHINE, INSBESONDERE EINES KOORDINATENMESSGERÄTES 失效
标题翻译：一种修正的插值误差的机的方法，尤其是坐标测量仪
公开(公告)号：EP1910779B1
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：EP06776142.9
申请日：2006-07-07
申请人： Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
发明人： GRUPP, Guenter , KAMMLEITER, Berndt
IPC分类号： G01D5/244
CPC分类号： G01D5/2449 , G01D5/24452
摘要： The invention relates to a machine, in particular, a coordinate measuring device using a material measure with a periodic division for determination of spatial positions of a measuring or working head. The periodic division of the material measure is further divided by means of interpolation values. In order to correct interpolation errors the head is moved to a number of positions (60) and a number of positional data (62) determined. The number of positional data represent a position curve for the head. A periodic fraction of the positional curve is determined which corresponds approximately to the periodic division of the material measure. Correction values for correction of the interpolation values are then determined such as to at least reduce the periodic fraction.

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