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    • 1. 发明申请
    • 光素子及びその製造方法
    • 光电元件及其制造方法
    • WO2009116152A1
    • 2009-09-24
    • PCT/JP2008/055113
    • 2008-03-19
    • 富士通株式会社松田 学山本 剛之
    • 松田 学山本 剛之
    • H01S5/12
    • H01S5/1228B82Y20/00H01S5/0654H01S5/1215H01S5/124H01S5/2209H01S5/2275H01S5/32333H01S5/3403H01S5/3434
    •  光素子を、光導波路(1)と、光導波路(1)に沿って設けられた複数の回折格子層(2,3)とを備えるものとし、各回折格子層(2,3)を、分断された一の半導体層(102,104)と、一の半導体層(102,104)と屈折率が異なり、一の半導体層(102,104)を埋め込む他の半導体層(103,107)とによって構成される回折格子(2A,3A)を含むものとし、複数の回折格子層を、回折格子(2A,3A)が形成されている領域の長さが異なる少なくとも2つの回折格子層(2,3)を含むものとし、複数の回折格子層(2,3)は、対応する領域に形成されている回折格子(2A,3A)の位相、周期が同一になっている。
    • 光电元件包括​​光波导(1)和沿着光波导(1)形成的多个衍射光栅层(2,3)。 每个衍射光栅层(2,3)包括由一个分割的半导体层(102,104)和另一个半导体层(103,107)构成的衍射光栅(2A,3A),该半导体层的折射率不同于 一个半导体层(102,104),并且其中嵌入有一个半导体层(102,104)。 多个衍射光栅层包括对形成衍射光栅(2A,3A)的区域具有不同长度的至少两个衍射光栅层(2,3)。 在多个衍射光栅层(2,3)中,形成在相应区域中的衍射光栅(2A,3A)具有相同的相位和相同的频率。