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    • 1. 发明申请
    • ワイヤボンディング装置
    • 电线连接装置
    • WO2013118340A1
    • 2013-08-15
    • PCT/JP2012/072783
    • 2012-09-06
    • 株式会社新川前田 徹
    • 前田 徹
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/004H01L24/45H01L24/85H01L2224/45144H01L2224/45147H01L2224/7801H01L2224/78301H01L2224/78601H01L2224/78611H01L2224/85013H01L2924/00014H01L2924/00015H01L2224/48H01L2924/00
    • ベース(11)と、キャピラリ(15)をベース(11)に対してXYZ方向に移動させるボンディングヘッド(13)と、ワイヤ洗浄用プラズマユニット(30)と、を備え、ワイヤ洗浄用プラズマユニット(30)は、大気圧よりも内圧が高くなるように不活性ガスが導入される中空のケーシング(31a),(31b)と、ワイヤ(21)が挿通されるようにケーシング(31a),(31b)にそれぞれ設けられる各孔(33a),(33b)と、各孔(33a),(33b)の周縁の各ケーシング(31a),(31b)の内側に設けられるプラズマ用電極と、を含み、ケーシング(31a),(31b)内で大気の入り込まない状態で発生させたプラズマ中にワイヤ(21)を通してワイヤ(21)の洗浄を行う。これにより、ワイヤボンディングに用いるワイヤ表面を効果的に洗浄する。
    • 引线接合装置包括基座(11),用于在X,Y和Z方向上相对于基座(11)移动毛细管(15)的接合头(13)和线清洁等离子体单元 30)。 线清洗等离子体单元(30)包括中空壳体(31a)和(31b),其中引入惰性气体以使其内部压力高于大气压力,为此设置的孔(33a)和(33b) 壳体(31a)和(31b)分别使得线(21)能够插入其中,以及设置在壳体(31a)和(31b)内的孔(33a)和(33b)周围的等离子体电极。 使线(21)在非空气状态下通过壳体(31a)和(31b)内产生的等离子体,并进行清洁。 通过这样做,用于引线接合的导线的表面被有效地清洁。
    • 10. 发明申请
    • ワイヤテンショナ
    • 电线张紧器
    • WO2015125672A1
    • 2015-08-27
    • PCT/JP2015/053669
    • 2015-02-10
    • 株式会社新川
    • 高木 吉崇
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/004H01L2224/78301H01L2224/78611H01L2224/78631H01L2924/00014H01L2224/45015H01L2924/207H01L2224/45099
    •  ワイヤテンショナ36には、ワイヤ28が貫通するワイヤ通路38が形成される。ワイヤ通路38は、圧縮気体が流入する流入口42と、流入口42より上側に設けられ、圧縮気体を排出する第1排出口44と、流入口42より上側に設けられ、ワイヤ通路38内の面積を縮小した第1縮流部46と、流入口42より下側に設けられ、ワイヤ通路38内の面積を縮小した第2縮流部48と、第2縮流部48よりボンディングツール側に設けられ、ボンディングツール側への圧縮気体の流れを縮小させる第3縮流部58とを含む。さらに、ワイヤ通路38は、第2縮流部48より下側に設けられ、圧縮気体を排出する第2排出口50を含む。これにより、ワイヤ28にテンションを付与しつつ、ワイヤ通路38の下端部38bから排出される圧縮空気を大幅に減少させることができる。これにより、ボンディングツール側への影響を抑制するワイヤテンショナを提供する。
    • 线张紧器(36)中形成有线(38),线(28)延伸通过该线通道(38)。 线路通道(38)包括:压缩气体流入的入口开口(42) 第一排出口(44),设置在入口开口(42)的上方并排出压缩气体; 第一流动变窄部分(46),其设置在所述入口开口(42)的上方,并且通过减少所述金属丝通道(38)内的区域形成; 第二流动变窄部分(48),其设置在所述入口开口(42)的下方并且通过减小所述线路通道(38)内的区域而形成; 以及第三流动变窄部(58),其比所述第二流动变窄部(48)更靠近所述接合工具侧,并使流入所述接合工具侧的压缩气体的流动变窄。 线路通道(38)包括设置在第二流动变窄部分(48)下方并排出压缩气体的第二排放口(50)。 作为这种构造的结果,可以显着减少从线路(38)的下端(38b)排出的压缩空气,同时对线(28)施加张力。 因此,所提供的线张紧器对接合工具侧的影响较小。