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    • 1. 发明申请
    • ワイヤボンディング装置
    • 电线连接装置
    • WO2013118340A1
    • 2013-08-15
    • PCT/JP2012/072783
    • 2012-09-06
    • 株式会社新川前田 徹
    • 前田 徹
    • H01L21/60
    • H01L24/78B23K20/004H01L24/45H01L24/85H01L2224/45144H01L2224/45147H01L2224/7801H01L2224/78301H01L2224/78601H01L2224/78611H01L2224/85013H01L2924/00014H01L2924/00015H01L2224/48H01L2924/00
    • ベース(11)と、キャピラリ(15)をベース(11)に対してXYZ方向に移動させるボンディングヘッド(13)と、ワイヤ洗浄用プラズマユニット(30)と、を備え、ワイヤ洗浄用プラズマユニット(30)は、大気圧よりも内圧が高くなるように不活性ガスが導入される中空のケーシング(31a),(31b)と、ワイヤ(21)が挿通されるようにケーシング(31a),(31b)にそれぞれ設けられる各孔(33a),(33b)と、各孔(33a),(33b)の周縁の各ケーシング(31a),(31b)の内側に設けられるプラズマ用電極と、を含み、ケーシング(31a),(31b)内で大気の入り込まない状態で発生させたプラズマ中にワイヤ(21)を通してワイヤ(21)の洗浄を行う。これにより、ワイヤボンディングに用いるワイヤ表面を効果的に洗浄する。
    • 引线接合装置包括基座(11),用于在X,Y和Z方向上相对于基座(11)移动毛细管(15)的接合头(13)和线清洁等离子体单元 30)。 线清洗等离子体单元(30)包括中空壳体(31a)和(31b),其中引入惰性气体以使其内部压力高于大气压力,为此设置的孔(33a)和(33b) 壳体(31a)和(31b)分别使得线(21)能够插入其中,以及设置在壳体(31a)和(31b)内的孔(33a)和(33b)周围的等离子体电极。 使线(21)在非空气状态下通过壳体(31a)和(31b)内产生的等离子体,并进行清洁。 通过这样做,用于引线接合的导线的表面被有效地清洁。