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    • 1. 发明申请
    • 超小型加速器および超小型質量分析装置および超小型イオン注入装置
    • 超小型加速器和超小型质谱仪以及微型离子注入装置
    • WO2017135332A1
    • 2017-08-10
    • PCT/JP2017/003678
    • 2017-02-02
    • 保坂 俊
    • 保坂 俊
    • H01J37/317H05H9/00H05H13/04
    • H01J37/317H05H9/00H05H13/04
    • 【課題】イオン注入装置や質量分析装置を小型化し安価に作製し、誰もが利用できること。【解決手段】本発明は、主基板、主基板の上面に付着した上部基板、主基板の下面に付着した下部基板を含む複数の基板から構成されるイオン注入装置であり、イオンは、主基板の上面から主基板の下面に貫通する空洞(貫通室)を通って加速されるイオン注入装置であり、イオン注入装置は、複数の貫通室を有し、複数の貫通室は、イオンを発生するイオン化室、イオン化室で発生したイオンを引き出して所定速度まで加速させるイオン引き出し・加速室、イオン引き出し・加速室で加速したイオンを所望の質量/電荷比を有するイオンとして選別分離するイオン質量分離室、イオン質量分離室から選別分離したイオンを所定速度まで加速させるイオン加速室、イオン加速室で加速させたイオンを走査し、イオン注入装置の外部へイオンを出射するイオン走査・出射室を含むことを特徴とする。
    • A中的离子注入装置,质谱仪小型化以产生价格便宜,任何人都可以使用。 本发明是一种主基板,其附着于所述主基板的所述上表面的上衬底,包括多个基板,包括连接到主基板,所述离子中,主板的下表面上的下基板的离子注入装置 从上表面到主基板的下表面穿透其通过腔(贯通腔室)加速的离子注入装置,离子注入装置具有多个通腔室,多个通腔,其产生离子 电离室,离子提取和加速腔加速到预定的速度拉出在电离室中产生的离子,所述离子质量分离室,用于分选由具有所期望的质量/电荷比的离子提取和加速腔作为离子加速的分离离子 ,用于加速选择并从所述离子质量分离室向上分离,以预定速度的离子,以扫描离子的离子加速室被离子加速腔加速,离子到离子注入机的外 其特征在于它包括用于态射的离子扫描和出口室。

    • 7. 发明申请
    • FIDUCIAL DESIGN FOR TILTED OR GLANCING MILL OPERATIONS WITH A CHARGED PARTICLE BEAM
    • 具有充电颗粒光束的倾斜或移动铣刀操作的设计
    • WO2014106182A1
    • 2014-07-03
    • PCT/US2013/078315
    • 2013-12-30
    • FEI COMPANY
    • STONE, StaceyLEE, Sang HoonBLACKWOOD, JeffreySCHMIDT, MichaelKIM, Hyun Hwa
    • H01J37/317
    • H01J37/317H01J37/3056H01J2237/221H01J2237/226H01J2237/2814H01J2237/31745
    • A method for analyzing a sample with a charged particle beam including directing the beam toward the sample surface; milling the surface to expose a second surface in the sample in which the end of the second surface distal to ion source is milled to a greater depth relative to a reference depth than the end of the first surface proximal to ion source; directing the charged particle beam toward the second surface to form one or more images of the second surface; forming images of the cross sections of the multiple adjacent features of interest by detecting the interaction of the electron beam with the second surface; assembling the images of the cross section into a three-dimensional model of one or more of the features of interest. A method for forming an improved fiducial and determining the depth of an exposed feature in a nanoscale three-dimensional structure is presented.
    • 一种用于分析具有带电粒子束的样品的方法,包括将束朝向样品表面引导; 铣削表面以暴露样品中的第二表面,其中远离离子源的第二表面的端部相对于参考深度比距离离子源的第一表面的端部更深的深度; 将带电粒子束引向第二表面以形成第二表面的一个或多个图像; 通过检测电子束与第二表面的相互作用形成感兴趣的多个相邻特征的横截面的图像; 将横截面的图像组装成感兴趣的一个或多个特征的三维模型。 提出了一种用于形成改进的基准并确定纳米尺度三维结构中暴露特征的深度的方法。