专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2011099101A1 荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：WO2011099101A1
公开(公告)日：2011-08-18
申请号：PCT/JP2010/006531
申请日：2010-11-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 星野吉延 , 川俣茂 , 於保英作
发明人：星野　吉延 , 川俣　茂 , 於保　英作
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/223 , H01J2237/24495 , H01J2237/2809
摘要：　本発明の電子顕微鏡の信号処理部（２１）は、検出器（１２）及び前記検出器後段の増幅回路の帯域幅内の走査速度と、前記帯域幅の上限を超える走査速度という二種類の走査速度で荷電粒子線（２）を走査して得られた検出信号（１１）に基づき、画像の劣化関数（Ｈ（ｓ））を算出する。そして、前記信号処理部は、前記劣化関数の逆関数（Ｈ－１（ｓ））から画質回復のための１次元補正フィルタを作成し、検出器及び前記検出器後段の増幅回路の帯域幅の上限を超える走査速度で記録した検出信号または該検出信号に基づく二次元画像に対して前記１次元補正フィルタを適用する。これにより、二次信号検出器およびその増幅回路の帯域幅の上限を超える速さで荷電粒子線を走査した場合に発生する画像の劣化を補正し、リアルタイム観察が可能な電子顕微鏡を実現することが可能になった。
摘要翻译：带电粒子显微镜的信号处理单元（21）基于通过用具有两种类型的带电粒子束（2）进行扫描获得的检测信号（11）来计算图像的劣化函数（H（s））扫描速度，检测器（12）的带宽内的扫描速度和检测器的后续级的放大电路以及超过带宽上限的扫描速度。然后，信号处理单元从劣化函数的逆函数（H-1（s））创建用于恢复图像质量的一维校正滤波器，并将一维校正滤波器应用于记录有扫描速度超过检测器的后续阶段的检测器和放大电路的带宽的上限，或者基于检测信号到二维图像。以这种方式，能够对具有超过二次信号检测器及其放大电路的带宽的上限的带电粒子束进行扫描时发生的图像的劣化进行校正，能够进行电子显微镜，其中，实时观察是可能的。

2. 发明申请

WO2015181981A1 電子顕微鏡による分析方法及び電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：使用电子显微镜和电子显微镜的分析方法
公开(公告)号：WO2015181981A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：PCT/JP2014/064530
申请日：2014-05-30
申请人：富士通株式会社
发明人：山▲崎▼　貴司
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/21
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J2237/223 , H01J2237/228 , H01J2237/2802
摘要：基板に成膜されている膜の原子的なずれや歪みを明確に検出する。環状暗視野像（ＡＤＦ－ＳＴＥＭ像）を検出する第１の検出器と、中角度領域明視野像（ＭＡＢＦ－ＳＴＥＭ像）を検出する第２の検出器とを有する電子顕微鏡による分析方法において、試料はフッ素又はフッ素よりも軽い元素を含む基板の表面に膜が形成されたものであり、焦点位置が前記膜の場合の環状暗視野像及び中角度領域明視野像を取得し、焦点位置が前記基板の場合の環状暗視野像及び中角度領域明視野像を取得し、前記２枚の中角度領域明視野像に基づき前記２枚の環状暗視野像の位置合わせを行い、前記２枚の環状暗視野像の差分像を取得する。
摘要翻译：本发明清楚地检测在基板上形成的膜的原子移动和变形。一种使用电子显微镜的分析方法，该电子显微镜具有检测环形暗场图像的第一检测器（ADF-STEM图像）和检测中角亮场图像（MABF-STEM图像）的第二检测器，其中：样品是膜形成在包含氟或比氟更轻的元素的基板的表面上; 获取其中焦点位置是胶片的环形暗视场图像和中角亮视场图像; 获取焦点位置是基板的环形暗场图像和中角亮场图像; 两个环形暗场图像基于两个中角亮场图像定位; 并且获取两个环形暗场图像的差分图像。

3. 发明申请

WO2015005569A1 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 방법 审中-公开
标题翻译：用于获取粒子束放电图像的装置和方法
公开(公告)号：WO2015005569A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/KR2014/003552
申请日：2014-04-23
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 한철수 , 조복래 , 박인용 , 안상정
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0656 , H01J2237/0802 , H01J2237/223 , H01J2237/24542
摘要： 본 발명은 금속팁을 포함하는 입자빔 소스; 상기 입자빔 소스로부터 집속된 입자빔을 수신하고, 이로부터 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트; 상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하고 이를 광신호로 변환하는 형광스크린; 상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이터를 처리하여 영상화하며, 상기 마이크로채널 플레이트로부터 기인하는 잡음을 제거하기 위해 공간 영역(spatial domain)에서 구현되는 저주파 통과필터(low pass filter)를 포함하여 이루어지는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 이를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于获取粒子束放电图像的装置和使用该装置获取粒子束放电图像的方法，该装置包括：包括金属尖端的粒子束源; 微通道板，用于从粒子束源接收聚焦的粒子束并从其中排出二次电子; 用于接收从微通道板产生的二次电子并将二次电子转换成光信号的荧光屏; 用于收集从荧光屏放出的光学数据的图像采集装置; 以及用于将从图像采集装置获得的数据处理成图像的图像处理装置，该图像处理装置包括在空间域中实现的低通滤波器，以便去除由微通道板产生的噪声。

4. 发明申请

WO2007125652A1 電子顕微鏡とその対物レンズ系収差特性の計測方法审中-公开
标题翻译：电子显微镜及其测量目标镜片系统特性的方法
公开(公告)号：WO2007125652A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/JP2007/000455
申请日：2007-04-25
申请人：独立行政法人物質・材料研究機構 , 木本浩司 , 石塚和夫 , 松井良夫
发明人：木本浩司 , 石塚和夫 , 松井良夫
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/153 , H01J2237/1534 , H01J2237/223 , H01J2237/262
摘要： A method for measuring the aberration of an electron microscope and an electron microscope equipped with a device having a function of correcting the aberration according to the results of the measurement. In the method, at least one Ronchigram (12a) is observed, diffractograms (13a) at at least one position are computed, and the aberration is measured from the figures. The electron microscope has a function of displaying the measured aberration and a function of adjusting the operation condition of the electron microscope according to the measurement results. To use the principle of the invention, an image capturing device for observing a Ronchigram, an image analyzing device for analyzing the Fourier transform figure of the Ronchigram and computing the aberration, and a control device for adjusting the operation condition of the electron microscope according to the measured aberration are needed.
摘要翻译：一种用于测量电子显微镜和具有根据测量结果校正像差功能的装置的电子显微镜的电子显微镜的方法。在该方法中，观察至少一个Ronchigram（12a），计算至少一个位置处的衍射图（13a），并从图中测量像差。电子显微镜具有根据测量结果显示测量的像差和调节电子显微镜的操作条件的功能。为了使用本发明的原理，用于观察Ronchigram的图像捕获装置，用于分析Ronchigram的傅里叶变换图并计算像差的图像分析装置，以及用于调整根据本发明的电子显微镜的操作条件的控制装置需要测量的像差。

5. 发明申请

WO2016014177A1 METHOD FOR AUTOMATIC CORRECTION OF ASTIGMATISM 审中-公开
标题翻译：自动校正方法
公开(公告)号：WO2016014177A1
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：PCT/US2015/036117
申请日：2015-06-17
申请人： INTELLIGENT VIRUS IMAGING INC. , SINTORN, Ida-Maria , NORDSTROM, Rickard , KYLBERG, Gustaf
发明人： SINTORN, Ida-Maria , NORDSTROM, Rickard , KYLBERG, Gustaf
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： H01J37/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/223
摘要： The method is for automatic astigmatism correction of a lens system. A first image (96) is provided that is not in focus at a first stigmator setting of a set of lenses. A calculating device calculates a corresponding first Fourier spectrum image (312). A distribution and direction of pixels of the Fourier spectrum image (128, 130, 312) are determined by calculating a first vector (132) and a second vector (134). The first vector (132) is compared with the second vector (134). The lens system is changed from a first stigmator setting to a second stigmator setting to provide a second image (98). A corresponding Fourier spectrum image (314) is calculated. The distribution and direction of pixels of the second Fourier spectrum image (314) is determined by calculating a third vector and a fourth vector. The third vector is compared to the fourth vector. The image that has the lowest vector ratio is selected.
摘要翻译：该方法用于透镜系统的自动散光校正。提供第一图像（96），其在一组透镜的第一施放器设置处不聚焦。计算装置计算对应的第一傅立叶光谱图像（312）。通过计算第一矢量（132）和第二矢量（134）来确定傅里叶谱图像（128,130,312）的像素的分布和方向。将第一矢量（132）与第二矢量（134）进行比较。透镜系统从第一施压器设置改变为第二施放器设置以提供第二图像（98）。计算相应的傅立叶光谱图像（314）。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像（314）的像素的分布和方向。将第三个向量与第四个向量进行比较。选择具有最低矢量比的图像。

6. 发明申请

WO2011093043A1 回折顕微法审中-公开
标题翻译：衍射显微镜
公开(公告)号：WO2011093043A1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：PCT/JP2011/000318
申请日：2011-01-21
申请人：国立大学法人北海道大学 , 郷原一寿 , 川原宏太
发明人：郷原一寿 , 川原宏太
IPC分类号： G01N23/20 , G01N21/47 , G02B21/36 , H01J37/22 , H01J37/295
CPC分类号： G02B21/365 , G01N23/20058 , G02B26/0808 , G02B27/4205 , G03H1/0866 , G03H5/00 , G03H2001/005 , G03H2001/0816 , G03H2226/13 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/295 , H01J2237/223 , H01J2237/226
摘要：　入射ビームの角度拡がりの影響を低減できる回折顕微法。この方法では、ビームを試料に照射し、試料からの回折パターンの強度を計測し、計測した回折パターンの強度をもとにフーリエ反復位相回復法を用いて物体の像を再構成する回折顕微法において、入射ビームの角度拡がりによってコンボリューションされた回折パターンに対して、デコンボリューションを用いてフーリエ反復位相回復を行う。
摘要翻译：公开了能够减小梁的入射角范围的增加的影响的衍射显微镜。具体公开的是衍射显微镜，其中光束入射到样品上，其中测量来自样品的衍射图案的强度，并且其中使用傅立叶互动相位检索重建物体的图像，其中基于测量的衍射图的强度。在这种方法中，傅立叶互动相位检索是通过对波束的入射角范围的增加而进行卷积的衍射图案上的去卷积进行的。

7. 发明申请

WO2010089950A1 荷電粒子線の光軸調整方法、及び荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：用于调整充电颗粒辐射和充电颗粒辐射装置的光轴的方法
公开(公告)号：WO2010089950A1
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：PCT/JP2010/000118
申请日：2010-01-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 河野朱美 , 那須修
发明人：河野朱美 , 那須修
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/04
CPC分类号： H01J37/28 , H01J2237/1501 , H01J2237/223 , H01J2237/2816 , H01J2237/2826
摘要：　本発明は、人為的な判断基準を定量化し、当該定量化された判断基準に基づいて、荷電粒子線の軸調整の要否判断を行う荷電粒子線の光軸調整方法、及び装置の提供を目的とする。　上記目的を達成するために、荷電粒子線を調節する光学素子の調整条件を変化させ、当該異なる調整条件にて複数の画像を取得し、取得された複数の画像の中から、その画質を許容できる画像、或いは許容できない画像を選択し、選択された画像に基づいて第１の画質評価値を取得し、当該取得された第１の画質評価値と、前記荷電粒子ビームの走査によって得られる画像から求められる第２の画質評価値とを比較し、当該第２の画質評価値が、第１の画質評価値以下、或いは当該第１の画質評価値を下回ったときに、光軸調整を行う方法、及び装置を提案する。
摘要翻译：提供了一种用于调整带电粒子辐射的光轴的方法及其装置，其中量化人为标准，以及是否需要调整带电粒子辐射的轴线是基于量化的标准。在调整光轴的方法及其装置中，调整用于调整带电粒子辐射的光学元件的条件发生变化; 在变化的条件下捕获多个图像; 从捕获的图像中选择其质量允许的图像或不允许其质量的图像; 基于所选择的图像获得第一图像质量评估值; 将获得的第一图像质量评估值与从通过使用带电粒子束扫描对象而获得的图像获得的第二图像质量评估值进行比较; 并且当第二图像质量评估值等于或低于第一图像质量评估值时，调整光轴。

8. 发明申请

WO2013026537A3 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THE BEAM DEFLECTION BY MEANS OF FREQUENCY ANALYSIS 审中-公开
标题翻译：设备和方法测量梁的挠度进行频率分析
公开(公告)号：WO2013026537A3
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：PCT/EP2012003414
申请日：2012-08-09
申请人： UNIV REGENSBURG , ZWECK JOSEF
发明人： ZWECK JOSEF
IPC分类号： H01J37/244 , G02B21/00 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/244 , G02B21/0024 , G02B21/008 , H01J37/26 , H01J2237/223 , H01J2237/24455 , H01J2237/2449 , H01J2237/24495 , H01J2237/2802
摘要： The invention relates to a device for determining a deflection of the test beam (12) caused by interaction with a sample (10), comprising an oscillator unit (28) that periodically deflects the test beam and a detector unit (24) relative to one another. The detector unit is designed in such a way that the sensitive surface of the detector covered by the test beam and thus the corresponding measurement signal changes in a non-linear manner as a function of the deflection in the event of relative deflection of the test beam and of the detector unit. An evaluation of the detector signal on the basis of a Fourier spectral analysis and the theory of second harmonics generation then enables the definition of the smallest beam shifts caused by interaction with the sample having high dynamics. In an alternative design, instead of the beam deflection the effect of the sample to be measured is periodically modulated.
摘要翻译：一种用于确定与样品（10）相互作用的结果设备引起探测束（12）的偏转包括振荡器单元（28），其周期性地偏转探测光束和一个检测器单元（24）相对于彼此。所述检测器单元被布置成使得由所述检测器单元并且在探测光束的相对偏转相应的测量信号和所述检测器单元的探测光束敏感表面覆盖的区域不作为偏转的函数线性变化。傅立叶频谱分析和二次谐波生成的理论的基础上检测器信号的评估然后使得能够通过与具有高动力学采样光束位移相互作用诱导的最小的判定。在一个替代实施例中，代替光束偏转是样品的测量的效果进行周期性调制。

9. 发明申请

WO2013026537A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MESSUNG DER STRAHLABLENKUNG MITTELS FREQUENZANALYSE 审中-公开
标题翻译：设备和方法测量梁的挠度进行频率分析
公开(公告)号：WO2013026537A2
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：PCT/EP2012/003414
申请日：2012-08-09
申请人： UNIVERSITÄT REGENSBURG , ZWECK, Josef
发明人： ZWECK, Josef
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , G02B21/0024 , G02B21/008 , H01J37/26 , H01J2237/223 , H01J2237/24455 , H01J2237/2449 , H01J2237/24495 , H01J2237/2802
摘要： Eine Vorrichtung zur Bestimmung einer durch Wechselwirkung mit einer Probe hervorgerufenen Ablenkung des Sondenstrahls umfasst eine Oszillatoreinheit, welche den Sondenstrahl und eine Detektoreinheit relativ zueinander periodisch auslenkt. Die Detektoreinheit ist derart eingerichtet, dass sich die von dem Sondenstrahl überdeckte sensitive Oberfläche der Detektoreinheit und damit das entsprechende Messsignal bei relativer Auslenkung des Sondenstrahls und der Detektoreinheit nichtlinear als Funktion der Auslenkung ändert. Eine Auswertung des Detektorsignals auf Basis einer Fourier-Spektralanalyse und der Theorie der Second Harmonics Generation ermöglicht dann die Bestimmung kleinster durch Wechselwirkung mit der Probe hervorgerufener Strahlverschiebungen mit hoher Dynamik. In einer alternativen Ausführung wird anstelle der Strahlauslenkung die zu vermessende Wirkung der Probe periodisch moduliert.
摘要翻译：一种用于确定通过相互作用与探测光束的一个标本的偏转装置引起的包括振荡器单元，其偏转探测光束和相对于彼此的检测器单元周期性。所述检测器单元被布置成使得由所述检测器单元并且在探测光束的相对偏转相应的测量信号和所述检测器单元的探测光束敏感表面覆盖的区域不作为偏转的函数线性变化。傅立叶频谱分析和二次谐波生成的理论的基础上检测器信号的评估然后使得能够通过与具有高动力学采样光束位移相互作用诱导的最小的判定。在一个替代实施例中，代替光束偏转是样品的测量的效果进行周期性调制。

10. 发明申请

WO2007121325A3 ATOM PROBE DATA PROCESSES AND ASSOCIATED SYSTEMS 审中-公开
标题翻译： ATOM探测数据处理和相关系统
公开(公告)号：WO2007121325A3
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：PCT/US2007066570
申请日：2007-04-12
申请人： IMAGO SCIENT INSTR CORP , GEISER BRIAN PETER , KELLY THOMAS F , SCHNEIR JASON , ROBERTS JAY PHILLIP , LARSON DAVID JAMES , WIENER SCOTT ALBERT
发明人： GEISER BRIAN PETER , KELLY THOMAS F , SCHNEIR JASON , ROBERTS JAY PHILLIP , LARSON DAVID JAMES , WIENER SCOTT ALBERT
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： H01J37/285 , H01J37/265 , H01J2237/153 , H01J2237/223 , H01J2237/226 , H01J2237/24571 , H01J2237/24592
摘要： The present invention relates to atom probe data processes and associated systems. Aspects of the invention are directed toward a computing system configured to process atom probe data that includes a data set receiving component configured to receive a first three-dimensional data set. The first three- dimensional data set has a first data element structure and is based on data collected from performing an atom probe process on a portion of an atom probe specimen. The system further includes a data set constructing component configured to create a second three-dimensional data set having a second data element structure different than the first data element structure. In selected embodiments, the system can further include a Fourier Transform component configured to perform a Fourier Transform on a portion of the second three- dimensional data set.
摘要翻译：本发明涉及原子探针数据处理和相关系统。本发明的方面针对被配置为处理原子探测数据的计算系统，该原子探测数据包括被配置为接收第一三维数据集的数据集接收部件。第一三维数据集具有第一数据元素结构，并且基于在原子探针样本的一部分上执行原子探测过程收集的数据。该系统还包括一个数据集构成部件，被配置为创建具有与第一数据元素结构不同的第二数据元素结构的第二三维数据集。在所选择的实施例中，系统还可以包括被配置为对第二三维数据集的一部分执行傅立叶变换的傅里叶变换分量。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式