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1. 发明申请

WO2011071706A1 METHODS OF AND APPARATUS FOR CONTROLLING PRESSURE IN MULTIPLE ZONES OF A PROCESS TOOL 审中-公开
标题翻译：用于控制工艺工具的多个区域中的压力的方法和装置
公开(公告)号：WO2011071706A1
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：PCT/US2010/058156
申请日：2010-11-29
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC. , DING, Junhua
发明人： DING, Junhua
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , H01L21/00 , G05D16/00
CPC分类号： C23C16/45557 , C23C16/45561 , C23C16/52 , G05D16/02 , G05D16/206
摘要： A method of and a multiple zone pressure controller system for controlling the pressure of a gas or vapor flowing to at least two zones of a process tool such as a vacuum deposition chamber. The system comprises: at least two channels configured and arranged so as to provide the flow of the gas or vapor to corresponding zones of the process tool, each channel including a pressure controller configured and arranged to control the pressure of gas or vapor in each channel, a leakby orifice or nozzle configured to provide a leak rate of gas or vapor from the channel; and a controller configured and arrange to determine the true flow information to each zone of the process tool so that the true leak rate in the chamber can be determined.
摘要翻译：一种用于控制气流或蒸气的压力的多区域压力控制器系统的方法和多区域压力控制器系统，该气体或蒸气流到诸如真空沉积室的处理工具的至少两个区域。该系统包括：构造和布置至少两个通道，以将气体或蒸汽的流动提供给处理工具的相应区域，每个通道包括压力控制器，其配置和布置成控制每个通道中的气体或蒸汽的压力，漏孔或喷嘴，其构造成从通道提供气体或蒸气的泄漏率; 以及控制器，其配置和布置以确定到处理工具的每个区域的真实流量信息，使得可以确定室中的真实泄漏率。

2. 发明申请

WO2004109420A1 相対的圧力制御システム及び相対的流量制御システム审中-公开
标题翻译：相对压力控制系统和相对流量控制系统
公开(公告)号：WO2004109420A1
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/JP2004/007819
申请日：2004-06-04
申请人：シーケーディ株式会社 , 東京エレクトロン株式会社 , 河野哲兒郎 , 土居広樹 , 伊藤稔 , 長岡秀樹 , 伊藤恵貴 , 遠藤宏紀 , 嶋津強 , 廣瀬潤 , 勝又治 , 三浦和幸 , 北澤貴
发明人：河野哲兒郎 , 土居広樹 , 伊藤稔 , 長岡秀樹 , 伊藤恵貴 , 遠藤宏紀 , 嶋津強 , 廣瀬潤 , 勝又治 , 三浦和幸 , 北澤貴
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
摘要：　簡単な構造で作用ガスの分圧比を正確に調整することができるとともに、緊急時に作用ガス供給管路から作用ガスを確実に抜くことができる相対的圧力制御システムを提供する。作用ガスが供給される作用ガス供給管路に接続される複数のノーマルオープンタイプのエアオペレイトバルブ８と、エアオペレイトバルブ８の各々に直列に接続されてエアオペレイトバルブ８が出力する圧力を検出する圧力センサ３と、圧力センサ３が検知した圧力に基づいてエアオペレイトバルブ８の操作圧力を制御するコントローラ２５と、複数のエアオペレイトバルブ８を、常時少なくとも１つが開弁するように関連づけるハードインタロック用電磁弁５９と、を有し、複数のエアオペレイトバルブ８のうちから特定したエアオペレイトバルブ８の開度を調整して、作用ガスを所定の分圧比で出力するようにする。
摘要翻译：本发明提供了一种简单结构的相对压力控制系统，能够精确调节工作气体的分压比，并在紧急情况下可靠地从工作气体供应管道中除去工作气体。它包括连接到供给工作气体的工作气体供应管道的多个常开型气动阀门（8），与气动阀门（8）分开连接的压力传感器（3），用于检测输送的压力基于由压力传感器（3）检测到的压力控制用于气动阀（8）的操作压力的控制器（25）;硬联锁电磁阀（59），用于使所述多个气动阀（8）关联，使得通常至少一个阀打开，所述多个气动阀（8）的布置使得指定的气动阀（8）具有其程度的开度调节以便以预定的分压比输送工作气体。

3. 发明申请

WO2005093304A1 SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING PRESSURE IN REMOTE ZONES 审中-公开
标题翻译：用于控制远程区域压力的系统和方法
公开(公告)号：WO2005093304A1
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：PCT/US2005/003613
申请日：2005-02-01
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC. , SHAJII, Ali , NAGARKATTI, Siddharth
发明人： SHAJII, Ali , NAGARKATTI, Siddharth
IPC分类号： F16K31/12
CPC分类号： G05D16/206 , G05D16/2053 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761
摘要： A system for controlling fluid flow through i lines, wherein the i lines are connectable through tubing to i zones, respectively, and wherein i = 1, 2, ... , N . The system includes at least one valve and a pressure transducer in each of the i lines, a control device for controlling the valves, and a zone pressure estimator. The zone pressure estimator is connected to the pressure transducers and is programmed to calculate an estimated pressure in each the i zones and provide the estimated pressures to the control device.
摘要翻译：一种用于控制通过i线的流体流动的系统，其中所述i线分别通过管道连接到i区域，并且其中i = 1,2，...，N。所述系统包括至少一个阀和压力传感器 i行中的每一个，用于控制阀的控制装置和区域压力估计器。区域压力估计器连接到压力传感器，并被编程为计算每个i区域中的估计压力，并将估计的压力提供给控制装置。

4. 发明申请

WO2009070649A1 MULTI-ZONE PRESSURE CONTROL SYSTEM 审中-公开
标题翻译：多区域压力控制系统
公开(公告)号：WO2009070649A1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/US2008/084807
申请日：2008-11-26
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC. , ZARRIN, Hossein , HILL, Gordon , MAVANUR, Anil
发明人： ZARRIN, Hossein , HILL, Gordon , MAVANUR, Anil
IPC分类号： G05D16/20
CPC分类号： G05D16/206 , Y10T137/86493
摘要： A pressure control system that controls the pressure of a fluid in a plurality of zones includes a distribution manifold, at least one main manifold connected to the distribution manifold, and at least one disposable manifold connected to the distribution manifold and the main manifold. The disposable manifold is adapted to be replaced independent of the distribution manifold and the main manifold, and is connected to each zone and to at least one vacuum source. The distribution manifold distributes the fluid to the plurality of zones, so as to cause flow of the fluid into and out of a measurement chamber located within each zone. The main manifold includes, for each zone, a pressure sensor configured to measure pressure in the measurement chamber in that zone, and a control valve configured to regulate the flow of the fluid through that zone.
摘要翻译：控制多个区域中的流体压力的压力控制系统包括分配歧管，连接到分配歧管的至少一个主歧管以及连接到分配歧管和主歧管的至少一个一次性歧管。一次性歧管适于独立于分配歧管和主歧管而被替换，并且连接到每个区域和至少一个真空源。分配歧管将流体分配到多个区域，以使流体流入和流出位于每个区域内的测量室。主歧管包括对于每个区域，配置成测量该区域中的测量室中的压力的压力传感器，以及配置成调节通过该区域的流体流动的控制阀。

5. 发明申请

WO01098692A2 INTRINSICALLY SAFE MICROPROCESSOR CONTROLLED PRESSURE REGULATOR 审中-公开
标题翻译：本征安全微处理器控制压力调节器
公开(公告)号：WO01098692A2
公开(公告)日：2001-12-27
申请号：PCT/US2001/019535
申请日：2001-06-19
IPC分类号： F15B11/028 , B05B12/08 , B05B15/12 , B05D1/02 , F15B11/06 , G05B9/02 , G05B9/03 , G05B19/042 , G05D16/20 , F16K
CPC分类号： G05D16/206 , B05B12/085 , B05B16/00 , G05B9/02 , G05B9/03 , G05B19/0425 , G05B2219/34481
摘要： An intrinsically safe microprocessor controlled pressure regulator (10) for operation in a hazardous environment. The intrinsically safe microprocessor controlled pressure regulator (10) receives control commands (46) that are input to a microprocessor (52) in the hazardous environment (28). The microprocessor (52) generates control commands to control operation of an intrinsically safe solenoid valve (76) and an intrinsically safe piezo electric valve (74). The piezo electric valve (74) generates an output signal for controlling operating parameters of the paint gun (20). One or a plurality of microprocessors (52) may operate within a hazardous environment (28) in order to control one or a plurality of intrinsically safe valves (74, 76) in the hazardous environment (28).
摘要翻译：一种本质安全的微处理器控制的压力调节器（10），用于在危险环境中操作。本质安全的微处理器控制的压力调节器（10）接收输入到危险环境（28）中的微处理器（52）的控制命令（46）。微处理器（52）产生用于控制本质安全电磁阀（76）和本质安全压电电动阀（74）的操作的控制命令。压电电动阀（74）产生用于控制喷漆枪（20）的操作参数的输出信号。一个或多个微处理器（52）可以在危险环境（28）内操作，以便控制危险环境（28）中的一个或多个本质安全阀（74,76）。

6. 发明申请

WO1996005978A1 FLUID PRESSURE SUPPLY SYSTEM 审中-公开
标题翻译：流体压力供应系统
公开(公告)号：WO1996005978A1
公开(公告)日：1996-02-29
申请号：PCT/GB1995001977
申请日：1995-08-18
申请人： AUTOMOTIVE PRODUCTS PLC , HARRIES, David, Anthony
发明人： AUTOMOTIVE PRODUCTS PLC
IPC分类号： B60K41/28
CPC分类号： G05D16/2013 , B60W10/02 , B60W10/18 , B60W10/20 , B60W30/18 , B60W2510/0208 , B60W2510/0638 , B60W2520/10 , B62D5/07 , F16H61/0021 , G05D16/206 , G05D16/2066 , Y10T137/264 , Y10T137/2665 , Y10T137/2695 , Y10T137/2698 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762
摘要： A vehicle fluid pressure supply system in which a fluid pressure supply pump (10) is connected via solenoid-operated flow control valve (15) with a plurality of separate fluid pressure operated circuits (A, B, C) each operating separate functions of the vehicle. Detectors (25, 26, 27, 30 to 35) are provided for detecting the current operative state and the fluid pressure supply status of each circuit, and an electrical control unit (28) means which receives signals from the detectors operates the control valve to direct available pump flow to the appropriate circuit to maintain each circuit at least at a minimum pressure level required to operate the associated function.
摘要翻译：一种车辆液压供给系统，其中流体压力供给泵（10）通过电磁操作流量控制阀（15）与多个单独的流体压力操作电路（A，B，C）相连，车辆。检测器（25,26,27,30〜35）用于检测每个电路的当前操作状态和流体压力供应状态，并且从控制器接收信号的电气控制单元（28）装置操作控制阀直接可用的泵流到适当的电路，以将每个电路至少保持在操作相关功能所需的最小压力水平。

7. 发明申请

WO2013095058A3 GASEOUS FUEL SUPPLY DEVICE FOR FUEL CELL SYSTEM AND FUEL CELL SYSTEM COMPRISING SAME 审中-公开
标题翻译：用于燃料电池系统和包含其的燃料电池系统的气体燃料供应装置
公开(公告)号：WO2013095058A3
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：PCT/KR2012011298
申请日：2012-12-21
申请人： HYOSUNG CORP
发明人： CHOI DONG MIN
IPC分类号： H01M8/04 , G05D7/00 , H01M8/06
CPC分类号： G05D16/206 , H01M8/04089 , H01M8/04201 , H01M8/04388 , H01M8/04425 , H01M8/04753 , H01M8/04776 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , H01M8/0668 , H01M2008/1095 , Y02P70/56
摘要： The present invention relates to a fuel cell. More particularly, the present invention relates to a gaseous fuel supply device formed into an integrated single unit to supply gaseous fuel including air and gas to each unit of a fuel cell system. The present invention also relates to the fuel cell system comprising the gaseous fuel supply device. To this end, the gaseous fuel supply device of the present invention comprises: a blower for supplying a gaseous fuel; a buffer tank located in the rear end of the blower to prevent pulsation of the gaseous fuel; a flow distribution unit located in the rear end of the buffer tank to distribute the gaseous fuel being discharged to multiple flow channels; a proportional control valve unit including multiple proportional control valves arranged in the respective flow channels of the flow distribution unit so as to regulate the degree of opening of the flow channels; pressure sensor units arranged in the rear of the buffer tank and the proportional control valve unit, respectively, so as to sense the pressure of the gaseous fuel flowing from the buffer tank and the pressures of multiple gaseous fuels discharged after passing through at least one flow channel from the rear end of the proportional control valve unit; and a correction control unit for correcting the degree of opening of the multiple proportional control valves to a preset degree of opening based on the pressure information from the pressure sensor unit.
摘要翻译：燃料电池技术领域本发明涉及燃料电池。更具体地说，本发明涉及一种气态燃料供给装置，其形成为一体的单一单元，以向燃料电池系统的每个单元提供包括空气和气体的气体燃料。本发明还涉及包括气体燃料供应装置的燃料电池系统。为此，本发明的气体燃料供给装置包括：用于供给气体燃料的鼓风机; 位于鼓风机后端的缓冲罐，以防止气体燃料的脉动; 位于缓冲罐的后端的流量分配单元，用于将排出的气体燃料分配到多个流动通道; 比例控制阀单元，包括布置在流量分配单元的各个流动通道中的多个比例控制阀，以调节流动通道的打开程度; 压力传感器单元分别布置在缓冲罐的后部和比例控制阀单元中，以便感测从缓冲罐流出的气体燃料的压力和通过至少一个流之后排出的多种气体燃料的压力通道从比例控制阀单元的后端; 以及校正控制单元，用于基于来自压力传感器单元的压力信息将多个比例控制阀的打开程度校正到预设开度。

8. 发明申请

WO2013095058A2 연료전지 시스템의 기체연료 공급장치 및 이를 포함하는 연료전지 시스템 审中-公开
标题翻译：一种用于燃料电池系统的气体燃料供应装置和包括该气体燃料供应装置的燃料电池系统
公开(公告)号：WO2013095058A2
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/KR2012/011298
申请日：2012-12-21
申请人： 주식회사 효성
发明人： 최동민
IPC分类号： H01M8/04 , H01M8/06 , G05D7/00
CPC分类号： G05D16/206 , H01M8/04089 , H01M8/04201 , H01M8/04388 , H01M8/04425 , H01M8/04753 , H01M8/04776 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , H01M8/0668 , H01M2008/1095 , Y02P70/56
摘要： 본 발명은 연료전지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 일체형의 단일유닛으로 구성되어 연료전지 시스템의 각 부에 공기 및 가스를 포함하는 기체연료를 공급하는 기체연료 공급장치와, 이를 포함하여 구성되는 연료전지 시스템에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 기체연료를 공급하기 위한 블로어, 블로어의 후단에 위치하여 기체연료의 맥동을 방지하기 위한 버퍼탱크, 버퍼탱크의 후단에 위치하여 토출되는 기체연료를 다수의 유로로 분배하는 유량 분배부, 유량 분배부의 유로에 각각 구비되어 유로의 개도율을 조절하는 다수의 비례제어밸브를 포함하는 비례제어밸브부, 버퍼탱크와 비례제어밸브부의 후단에 각각 구비되어 버퍼탱크로부터 유입되는 기체연료의 압력과 비례제어밸브부의 후단으로부터 적어도 하나 이상의 유로를 경유하여 토출되는 다수의 기체연료의 압력을 감지하기 위한 압력센서부, 및 압력센서부의 압력정보에 따라 다수의 비례제어밸브의 개도율을 기 설정된개도율로 보정하는 보정 제어부를 포함한다.
摘要翻译：
本发明中，更具体地，涉及气体燃料供给装置用于供给包含空气和气体到燃料电池系统的各部分的气体燃料包括燃料电池的整体的单个单元并且包括燃料电池系统的燃料电池系统。本发明流分钟分发由位置排出到缓冲罐的后端的气体燃料，用于防止气体燃料的脉动缓冲罐以定位鼓风机，用于供给气体燃料的多个流路的用于此目的的鼓风机的后端分布，在流量分配部流路分别设置在每个所述后端比例控制阀单元，缓冲罐和包括多个比例控制阀来控制气体燃料的来自缓冲罐来的流路开口率的比例控制阀部分的设置根据预先设定的多个比例控制阀的开口率的压力，并通过从后端的至少一个流路的方式用于检测所述多个气体燃料排出压力传感器中的一个压力比例控制阀部分，并且压力信息负压传感器还有一个校正控制部分，用于以开口比来校正开度。

9. 发明申请

WO2007123576A1 PRESSURE REGULATION IN REMOTE ZONES 审中-公开
标题翻译：远程区域的压力调节
公开(公告)号：WO2007123576A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/US2006/043692
申请日：2006-11-08
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC. , SHAJII, Ali , NAGARKATTI, Siddharth, P. , HILL, Gordon
发明人： SHAJII, Ali , NAGARKATTI, Siddharth, P. , HILL, Gordon
IPC分类号： G05D7/06 , G05D16/20 , H01L21/321
CPC分类号： G05D16/206 , H01L21/30625 , Y10T137/7761 , Y10T137/7838 , Y10T137/87209 , Y10T137/8733 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507 , Y10T137/87772
摘要： A pressure control system remotely controls pressure within one or more remote zones, each respectively connected to an enclosure through a conduit, by controlling flow of a fluid into and out of each enclosure. The pressure of the fluid is measured within each enclosure. An estimated pressure within each zone is computed, as a function of the measured pressure in the enclosure and known characteristics of the conduit and the zone. For each zone, an inlet proportional valve and an outlet proportional valve of each enclosure is operated so as to control the input flow rate of the fluid into the respective enclosure and the output flow rate of the fluid out of the enclosure as a function of a pressure set point and the estimated pressure, thereby regulating pressure within the zone in accordance with the pressure set point.
摘要翻译：压力控制系统通过控制流入每个外壳的流动来远程控制一个或多个远程区域内的压力，每个远程区域分别通过导管连接到外壳。在每个外壳内测量流体的压力。根据外壳中测量的压力和导管和区域的已知特性，计算每个区域内的估计压力。对于每个区域，操作每个外壳的入口比例阀和出口比例阀，以便控制流体进入相应外壳的流体的输入流量和流出外壳的输出流量作为压力设定点和估计压力，从而根据压力设定点调节区域内的压力。

10. 发明申请

WO0198692A3 INTRINSICALLY SAFE MICROPROCESSOR CONTROLLED PRESSURE REGULATOR 审中-公开
标题翻译：本征安全微处理器控制压力调节器
公开(公告)号：WO0198692A3
公开(公告)日：2002-06-06
申请号：PCT/US0119535
申请日：2001-06-19
申请人： ROSS OPERATING VALVE CO , HYGRAMA AG , WORDE LAWRENCE J , MATHEWES CHRISTOPHER W , VOLLMER JOSEF , SCHROBENHAUSER MAX
发明人： WORDE LAWRENCE J , MATHEWES CHRISTOPHER W , VOLLMER JOSEF , SCHROBENHAUSER MAX
IPC分类号： F15B11/028 , B05B12/08 , B05B15/12 , B05D1/02 , F15B11/06 , G05B9/02 , G05B9/03 , G05B19/042 , G05D16/20 , G05B19/406
CPC分类号： G05D16/206 , B05B12/085 , B05B15/12 , G05B9/02 , G05B9/03 , G05B19/0425 , G05B2219/34481
摘要： An intrinsically safe microprocessor controlled pressure regulator (10) for operation in a hazardous environment. The intrinsically safe microprocessor controlled pressure regulator (10) receives control commands (46) that are input to a microprocessor (52) in the hazardous environment (28). The microprocessor (52) generates control commands to control operation of an intrinsically safe solenoid valve (76) and an intrinsically safe piezo electric valve (74). The piezo electric valve (74) generates an output signal for controlling operating parameters of the paint gun (20). One or a plurality of microprocessors (52) may operate within a hazardous environment (28) in order to control one or a plurality of intrinsically safe valves (74, 76) in the hazardous environment (28).
摘要翻译：一种本质安全的微处理器控制的压力调节器（10），用于在危险环境中操作。本质安全的微处理器控制的压力调节器（10）接收输入到危险环境（28）中的微处理器（52）的控制命令（46）。微处理器（52）产生用于控制本质安全电磁阀（76）和本质安全压电电动阀（74）的操作的控制命令。压电电动阀（74）产生用于控制喷漆枪（20）的操作参数的输出信号。一个或多个微处理器（52）可以在危险环境（28）内操作，以便控制危险环境（28）中的一个或多个本质安全阀（74,76）。

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