会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明申请
    • SCHABLONE FÜR ÄTZTECHNISCHE OBERFLÄCHENSTRUKTURIERUNGEN
    • 模板以蚀刻技术的表面结构
    • WO2015075231A1
    • 2015-05-28
    • PCT/EP2014/075404
    • 2014-11-24
    • AKK GMBH
    • KESPER, Peter
    • B05C9/06G03F7/00G03F7/12C23F1/00B41M7/00B44C1/00B41M1/20B44C1/22B29C33/38B29C45/37
    • B41F15/34B29C45/372B41F19/00B41F23/00B41F31/00B41M7/00B41M7/0081B41M2205/00C23F1/00G03F7/12G03F7/24
    • Die Erfindung betrifft eine Schablone für ätztechnische Oberflächenstrukturierungen, ein Verfahren zur Herstellung einer Schablone für ätztechnische Oberflächenstrukturierungen, eine Druckmaschine zur Herstellung einer Schablone für ätztechnische Oberflächenstrukturierungen sowie ein Verfahren zur ätztechnischen Oberflächenstrukturierung. Eine bekannte Schablone für ätztechnische Oberflächenstrukturierungen weist eine ätzresistente Schablonenschicht [3] auf, wobei die Schablonenschicht (3) auf die zu strukturierende Oberfläche (2) übertragbar ist und wobei die Schablonenschicht [3] nach einer ätztechnischen Behandlung der zu strukturierenden Oberfläche (2) zumindest teilweise entfernbar ist, und wird erfindungsgemäß dadurch ausgestaltet und weitergebildet, dass die Schablonenschicht (3] mindestens zwei Teilbereiche (4, 5) aufweist und dass mindestens zwei Teilbereiche (4, 5) unabhängig voneinander von zu strukturierenden Oberfläche entfernbar sind.
    • 本发明涉及一种用于蚀刻技术表面结构,制造用于蚀刻技术的表面结构,在印刷机制造的掩模的蚀刻技术表面结构和表面结构化ätztechnischen的方法的掩模的方法的模具。 用于蚀刻的技术的表面结构的已知模版具有耐蚀刻模板层[3],其中所述模板层(3)的表面上被结构化(2)是转让,其中所述模板层[3]表面的ätztechnischen处理后的被至少结构(2) 被部分地去除,并且被本发明设计的特征和开发,使得模板层(3]的至少两个部分(4,5),并且其中至少两个部分(4,5)从表面独立地移除,以构成。
    • 8. 发明申请
    • BELICHTUNGSVORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SIEBDRUCKSCHABLONEN
    • 曝光装置用于生产屏幕模板
    • WO2008022485A1
    • 2008-02-28
    • PCT/CH2007/000419
    • 2007-08-23
    • XPOSE HOLDING AGBERNER, Peter
    • BERNER, Peter
    • G03F7/20G03F7/12
    • G03F7/12G03F7/2055G03F7/24
    • Eine Belichtungsvorrichtung zur Herstellung von Siebdruckschablonen (5) hat eine Halterung (4) für die Siebdruckschablone (5) sowie ein Belichtungssystem, das mindestens eine, einen Lichtstrahl erzeugende Lichtquelle und eine Optik in einem Belichtungskopf (9) aufweist. Ferner ist eine digitale Signale liefernde Signalquelle (Computer) vorhanden, welche mit dem Belichtungssystem in einer Weise in Verbindung steht, dass entsprechend den Signalen die ganze Siebdruckschablone (5) belichtbar ist. Dabei ist der Belichtungskopf (9) relativ zur Siebdruckschablone (5) bewegbar. Die Lichtquelle besteht vorzugsweise aus einer Anzahl n gleichartiger, im Wellenlängenbereich von 300 - 450 nm arbeitender Laserdioden, wobei jeweils Gruppen von Laserdioden in einem Modul (12) angeordnet sind. An der Belichtungseinheit sind in der Regel mehrere derartiger Module (12) vorhanden. Die Laserdioden sind von den Signalen der Signalquelle ansteuerbar. Die Lichtsignale der Laserdioden werden über eine gleiche Anzahl n lichtleitender Fasern zu einer Rasterplatte im Belichtungskopf (9) geführt. Der Lichtausgang der Rasterplatte wird zu einer im Wellenlängenbereich den Laserdioden angepassten Fokussieroptik (10) im Belichtungskopf (9) geleitet.
    • 用于制造丝网印刷模板(5)的曝光装置具有保持器(4),用于丝网印刷模版(5)和包含至少一个,光束产生光源和曝光头的光学系统的曝光系统(9)。 此外,数字信号存在供给源(计算机),它与在一个方式的曝光系统中的连接,根据这些信号的所有的丝网印刷模版(5)能够暴露连通。 这里,曝光头(9)相对于所述丝网印刷模版(5)是可移动的。 光源优选由相同数目为n的,在波长范围300-450纳米工作的激光二极管,每个组的模块(12)中的激光二极管的布置。 几个这样的模块(12)通常在曝光单元上可用。 激光二极管由信号源的信号控制。 激光二极管的光信号被引导越过导光纤维的相等数目n在曝光头(9)的栅格板。 屏幕板的光输出被传导到在曝光头(9)适于将所述波长范围内的激光二极管的聚焦光学器件(10)。
    • 9. 发明申请
    • MASKEN- UND SUBSTRATHALTERANORDNUNG
    • MASK和基质夹持装置
    • WO2003004719A1
    • 2003-01-16
    • PCT/EP2002/006776
    • 2002-06-19
    • AIXTRON AGSCHWAMBERA, MarkusFRANKEN, WalterKITTEL, Florenz
    • SCHWAMBERA, MarkusFRANKEN, WalterKITTEL, Florenz
    • C23C14/04
    • H01L21/682C23C14/042G03F1/20G03F7/12
    • Die Erfindung betrifft einen Halter für ein in der Prozesskammer einer Beschichtungsanlage anzuordnendes Substrat (1) und zugehörigen Halter für eine über dem Substrat in Kontakt oder geringem Abstand anzuordnende Maske (2) zur strukturierten Beschichtung des Substrates (1), wobei der Maskenhalter (3) zum Substathalter (4) eine definierte Lage einnimmt. Es ist wesentlich, dass der Substrathalter (4) als Rahmen gestaltet ist mit an den Rändern (1') des Substrates angreifenden Lagefixierungsorganen (5, 6), dass der Maskenhalter (3) ebenfalls als Rahmen gestaltet ist, welcher eine Fläche umgibt, die den Substrathalter (4) überfängt, und dass an den beiden Rahmen (3, 4) Verbindungsmittel (7, 8) vorgesehen sind zur lagefixierten Zuordnung der beiden Rahmen (3, 4) zueinander.
    • 本发明涉及一种保持器用于将被布置在一个涂覆设备衬底(1)的处理腔室和用于对被布置在接触的基材与或小间距掩模超过相关联的保持件(2)的基材(1)的结构化涂层,其中所述掩模保持器(3) 对于Substathalter(4)占据的限定位置。 至关重要的是,在基板保持器(4)被设计为具有在基板位置固定装置的边缘(1“)接合的框架(5,6),所述掩模保持器(3)也被周围的区域设计成一帧,其 衬底支架(4)上延伸,并且,在所述两帧(3,4)的连接装置(7,8)被提供用于两帧的位置固定的分配(3,4)彼此连接。
    • 10. 发明申请
    • MONOGRAIN MEMBRANE MASK
    • MONO粮食REED MASK
    • WO0052528A3
    • 2001-01-11
    • PCT/DE0000708
    • 2000-03-01
    • FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBHMEISSNER DIETER
    • MEISSNER DIETER
    • G03F1/00G03F1/20G03F1/50G03F1/54G03F7/12G03F1/14G03F1/08G03F1/16
    • G03F1/20G03F1/50G03F1/54G03F7/12
    • The invention relates to a mask, a method for the production of said mask, the mask itself and advantageous applications of the inventive mask. The method for the production of the mask comprises the following steps: using a monograin membrane consisting of light-sensitive particles; wherein said light-sensitive particles behave in such a way that they are resistant to light in a first state and not resistant to light in a second state; passing the monograin membrane from the light resistant to the non-light resistant state; exposing the membrane in accordance with a given structure; in accordance with said exposure, the particles fall off from the monograin membrane or dissolve; subsequently passing the membrane from the light-sensitive to the light insensitive state. The mask consequently consists of a monograin membrane with defined structures. Said mask can be used, for instance, in a silk screen or lithographic printing process or in the production of electrodes. One advantage of said process is that it is not necessary to always use photosensitive resist.
    • 本发明涉及的掩模,用于制造掩模,这种掩模以及有利用途的方法。 用于制造掩模的方法包括以下步骤:一个单粒膜被使用,其由光敏颗粒,所述光敏颗粒是那些不表现抗性在第一状态下耐光以及在第二状态下的光; 单粒子膜由在耐非光条件耐光制成; 然后将膜按照预定图案进行曝光; 对应于曝光,颗粒掉出单粒膜或溶解的; 然后将膜从感光状态带到光不敏感状态。 因此,该掩模由具有定义的结构的单粒子膜的。 它用于例如丝网或用于光刻工艺,或用于生产电极。 在此过程中必须是有利的感光光致抗蚀剂的任何情况下不被使用。