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1. 发明申请

WO2005095922A1 ナノギャップ列物質捕捉検出同定方法および装置审中-公开
标题翻译： NANOGAP系列物质捕获，检测和鉴定方法和装置
公开(公告)号：WO2005095922A1
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：PCT/JP2005/005796
申请日：2005-03-29
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 川勝英樹
发明人：川勝英樹
IPC分类号： G01N13/00
CPC分类号： G01Q70/00 , G01Q20/02 , G01Q70/06
摘要：被検出物質としての分子が液中に存在しているような場合であっても、その物質を高感度で測定することができるナノギャップ列物質捕捉検出同定方法および装置を提供する。列状の探針（５）を有するカンチレバー（４）を配置してなるカンチレバーアレー（３）と、このカンチレバーアレー（３）の下方に配置され、修飾面（２）が前記カンチレバー（４）の探針（５）に対応して配置される基板（１）とを備え、前記修飾面（２）にセットされる未知の物質（６）と前記カンチレバー（４）の探針（５）との間のナノメートルオーダーのギャップで前記未知の物質（６）を捕捉し、検出し、同定する。
摘要翻译：能够以高灵敏度测定物质的纳米峡系列物质捕捉，检测和识别方法和装置，即使待检测物质的分子存在于液体中。该装置包括通过设置具有一系列证明物（5）的悬臂（4）和设置在悬臂阵列（3）下方并具有如此设置的装饰表面（2）的基底（1）而构成的悬臂阵列（3）与悬臂（4）的探针（5）对应的方式。通过设置在装饰表面（2）上的未知物质（6）和悬臂（4）的探针（5）之间的纳米级的间隙捕获，检测和识别未知物质（6）。

2. 发明申请

WO2005020243A1 走査型プローブ顕微鏡のプローブおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜的探针及其生产方法
公开(公告)号：WO2005020243A1
公开(公告)日：2005-03-03
申请号：PCT/JP2004/009911
申请日：2004-07-12
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 小林大 , 川勝英樹
发明人：小林大 , 川勝英樹
IPC分类号： G12B21/08
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10
摘要：カンチレバーの基部が測定対象物に接触することがなく、かつ測定対象物がカンチレバーの基部によって隠されることがなく、的確な測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡のプローブおよびその製造方法を提供する。　走査型プローブ顕微鏡のプローブの基部（２１，３１）と、この基部（２１，３１）から水平方向に伸びた支持用カンチレバー（２３，３３）と、この支持用カンチレバー（２３，３３）の先端に長さ２０マイクロメートル以下で、厚さ１マイクロメートル以下の測定用カンチレバー（２４，３４）が設置されるようにする。
摘要翻译：用于扫描探针显微镜的探针和产生探针的方法，其中探针能够进行精确的测量，而不需要使悬臂的基底与被测量物体接触，并且不会被物体隐藏探测。用于扫描探针显微镜的探针具有基部（21,31），用于支撑的悬臂（23,33），用于从基部（21,31）水平延伸的悬臂（23,33）和用于测量的悬臂（24,34），其设置在支撑悬臂（23,33）的头部并且具有20微米或更小的长度和1微米或更小的厚度。

3. 发明申请

WO2004105230A1 ＦＭ信号復調方法及びその装置审中-公开
标题翻译： FM信号解调方法及其装置
公开(公告)号：WO2004105230A1
公开(公告)日：2004-12-02
申请号：PCT/JP2004/007319
申请日：2004-05-21
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 小林大 , 川勝英樹
发明人：小林大 , 川勝英樹
IPC分类号： H03D3/02
CPC分类号： H03D3/007
摘要： FM信号復調器としての感度の変更が容易で、その感度の変更によって応答速度が変化することがなく、かつ波形歪みがない微分演算を用いるFM信号復調方法及びその装置を提供する。周波数が復調しようとするFM信号の中心周波数で、位相が互いに90°異なる基準信号を、入力されたFM信号とそれぞれに周波数混合して、0Hzを中心として位相が互いに90°異なる中間周波信号IおよびQに変換し、この中間周波信号IとQおよびIとQそれぞれを時間微分した信号dIとdQをタスキ掛けに掛け算した信号I・dQおよびQ・dIの差I・dQ-Q・dIを出力する。
摘要翻译：提供了一种FM信号解调方法及其能够容易地将灵敏度修改为FM信号解调器而不改变响应速度并使用不具有波形失真的微分计算的装置。具有作为要解调的FM信号的中心频率和彼此相差90度的频率的参考信号与输入的FM信号频率混合，其被转换为具有相位的中频信号I和Q 在0Hz附近彼此相差90度。中频信号I和Q通过对I和Q进行时间微分获得的信号dI和dQ彼此相乘。乘法信号I.dQ和Q.dI之间的差异，即I.dQ-Q.dI 被输出。

4. 发明申请

WO2002103328A1 カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法审中-公开
标题翻译： CANTILEVER ARRAY，制造阵列的方法和扫描探针显微镜，指南和旋转机构的滑动装置，传感器，HOMODYNE激光干涉仪和具有特征光激发功能的激光多普勒干涉仪，使用阵列和CANTILEVER
公开(公告)号：WO2002103328A1
公开(公告)日：2002-12-27
申请号：PCT/JP2002/005835
申请日：2002-06-12
申请人：科学技術振興事業団 , 川勝英樹
发明人：川勝英樹
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01B9/02045 , G01B9/02002 , G01H9/004 , G01Q20/02 , G01Q70/06 , G01Q70/12
摘要： A cantilever array formed in a simple structure and capable of accurately detecting the surface of a specimen, a method of manufacturing the array, and a scanning probe microscope, a sliding device of a guide and rotation mechanism, a sensor, a homodyne laser interferometer, and a laser doppler interferometer with specimen light excitation function, using the array, and a cantilever excitation method, the cantilever array comprising a large number of compliant cantilevers (3) sliding on the surface (2) of the specimen (1).
摘要翻译：以简单结构形成的能够精确地检测试样表面的悬臂阵列，阵列的制造方法以及扫描探针显微镜，导向旋转机构的滑动装置，传感器，零差激光干涉仪，以及具有样品光激发功能的激光多普勒干涉仪，使用阵列和悬臂激励方法，所述悬臂阵列包括在所述样品（1）的表面（2）上滑动的大量柔顺悬臂（3）。

5. 发明申请

WO2008015916A1 走査プローブ顕微鏡装置审中-公开
标题翻译：扫描探针显微镜
公开(公告)号：WO2008015916A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/JP2007/064237
申请日：2007-07-19
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 小林大 , 西田周平 , 川勝英樹
发明人：小林大 , 西田周平 , 川勝英樹
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/32 , Y10S977/851 , Y10S977/863
摘要：　ＦＭモードの走査プローブ顕微鏡のカンチレバーが、機械的Ｑ値が低い環境においても安定に振動し、かつ、カンチレバーとサンプルの相互作用に対して高い感度を持つ走査プローブ顕微鏡装置を提供する。　カンチレバー（４）の共振周波数に近い周波数を持つ駆動信号を信号発生器（９）から振動励起手段（１０）に供給し、カンチレバー（４）を他励振動（強制振動）させる。振動検出手段（５）によって検出されたカンチレバー（４）の振動と前記駆動信号との位相差がゼロになるように、即ち前記駆動信号とカンチレバー（４）の共振周波数が一致するように、（１）前記駆動信号の周波数、または、（２）カンチレバーの共振周波数を（カンチレバー（４）とサンプル（１）の距離を調整することによって）制御する。
摘要翻译：扫描探针显微镜对悬臂与样品之间的相互作用具有高度的敏感性，其中扫描探针显微镜的悬臂在FM模式中即使在低机械Q的环境下也稳定地振荡。具有接近共振频率的频率的驱动信号悬臂（4）从信号发生器（9）提供给振荡激励装置（10），从而使悬臂（4）分别激励振荡（强制振荡）。（1）驱动信号的频率或（2）悬臂的共振频率被控制（通过调节悬臂（4）和样品（1）之间的距离），使得驱动信号与振荡之间的相位差由振荡检测装置（5）检测的悬臂（4）变为零，即驱动信号和悬臂（4）的共振频率彼此匹配。

6. 发明申请

WO2006062048A1 機械的振動子及びその製造方法审中-公开
标题翻译：机械振动器及其生产方法
公开(公告)号：WO2006062048A1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：PCT/JP2005/022268
申请日：2005-12-05
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 小林大 , 川勝英樹 , 年吉洋
发明人：小林大 , 川勝英樹 , 年吉洋
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/02
CPC分类号： G01Q60/38
摘要：カンチレバーの起点が基部の前端に明確化され、カンチレバーの長さを位置合わせ精度やエッチング量に依存せずに決定することができる機械的振動子及びその機械的振動子の製造方法を提供する。ウエハを加工して製造される機械的振動子において、ＳＯＩウエハの支持基板で形成される基部１０１と、前記ＳＯＩウエハのシリコン薄膜から形成され、前記基部１０１から水平に突出したカンチレバーと成るべき構造体１０２とを備え、前記基部１０１と前記カンチレバーと成るべき構造体１０２の間にある埋め込み酸化膜１０３の一部を除去し、前記埋め込み酸化膜１０３が除去された前記基部１０１の先端１０５を含む少なくとも一部に前記カンチレバーと成るべき構造体１０２を直接接合させた前記基部１０１の先端１０５を起点としたカンチレバー１０４を具備する。
摘要翻译：机械振动器，其限定在基座的前端处的悬臂的起点，并且可以在不依赖于定位精度和蚀刻量的情况下确定悬臂的长度，以及机械振动器的制造方法。通过处理晶片产生的机械振动器包括形成有SOI晶片支撑基座的基座（101）和由SOI晶片硅薄膜形成并成为从基座（101）水平突出的悬臂的结构（102）其中，在所述基座（101）和所述结构（102）之间成为悬臂的掩埋氧化膜（103）的一部分被去除，并且从所述基座（101）的末端（105）开始的悬臂（104）并且直接连接到成为悬臂的结构（102）的至少一部分被提供到包括已经从其中去除了掩埋氧化膜（103）的基底（101）的末端（105）的部分。

7. 发明申请

WO2005119206A1 振動子の光励振Ｑ値コントロール方法および装置审中-公开
标题翻译：用于控制振动激光Q值的方法和装置
公开(公告)号：WO2005119206A1
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：PCT/JP2005/010128
申请日：2005-06-02
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 川勝英樹
发明人：川勝英樹
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q30/14 , G01Q10/06 , G01Q20/02
摘要：　振動子の光励振Ｑ値コントロールによって、速度計測により計測された速度を励起信号にフィードバックすることにより、減衰項をキャンセルし、感度向上を図ることができる振動子の光励振Ｑ値コントロール方法および装置を提供する。　光励振Ｑ値コントロール装置において、液体中に配置される振動子４と、この振動子４に照射される励起光１０および計測光１１とこの振動子４の励振光１１および計測光１１を出入射する光出入射部９と、この光出入射部９への励起光および計測光の供給部と、この光出入射部９からの計測光の戻り光に基づいて前記振動子のＱ値を見かけ上高め、前記振動子の位置と速度を検出する位置・速度検出部とを具備する。
摘要翻译：提供了一种用于控制光激发Q值的方法和装置，其能够通过将通过振动器光激发Q值控制将由速度计测量的速度反馈到激励信号来提高灵敏度，从而消除衰减项。光激发Q值控制装置包括设置在液体中的振动器（4），施加到振动器（4）的激发光（10）和测量光（11）和用于输入的光输入/输出单元（9）输出振动器（4）的激发光（10）和测量光（11），用于将激发光和测量光提供给光输入/输出单元（9）的供应单元，以及位置/速度检测单元，用于根据来自光输入/输出单元（9）的测量光的返回光明显增加振动器的Q值，并检测振动器的位置和速度。

8. 发明申请

WO2005111563A1 位相同期回路を用いた高感度力・質量検出方法および装置审中-公开
标题翻译：高灵敏度/质量检测方法和使用相位同步电路的器件
公开(公告)号：WO2005111563A1
公开(公告)日：2005-11-24
申请号：PCT/JP2005/008664
申请日：2005-05-12
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 川井茂樹 , 川勝英樹
发明人：川井茂樹 , 川勝英樹
IPC分类号： G01L1/10
CPC分类号： G01L1/10
摘要：　位相同期回路を用いて、位相雑音が低く純度の高い特性を有する局部発振器からの発振信号に機械的素子の振動信号を同期させることにより、機械的素子の位相雑音を低減させることができる位相同期回路を用いた高感度力・質量検出方法及び装置を提供する。　位相同期回路を用いた高感度力・質量検出装置において、位相調整器１０を含む機械的振動子１の発振回路と、この発振回路の発振信号の位相を検出する２値化回路５と、位相雑音が低く純度の高い特性を有する局部発振器７と、前記機械的振動子１の発振信号の位相と、前記局部発振器７からの発振信号の位相とを比較する位相比較器６と、この位相比較器６に接続されるループフィルタ８とを備え、前記位相比較器６の出力を前記ループフィルタ８を介して前記位相調整器１０にフィードバックし、機械的振動子１の位相雑音を低減する。
摘要翻译：提供了一种高灵敏度的力/质量检测方法和装置，其使用相位同步电路，其能够通过使机械元件的振动信号与来自具有低相位噪声的本地振荡器的振荡信号同步来降低机械元件的相位噪声并且通过使用相位同步电路具有高纯度特性。使用相位同步电路的高灵敏度的力/质量检测装置包括：包括相位调整单元（10）的机械振动器（1）的振动电路; 数字化电路（5），用于检测来自振动电路的振动信号的相位; 具有低相位噪声和高纯度特性的本地振荡器（7）; 相位比较器（6），用于将机械振动器（1）的振荡信号的相位与来自本地振荡器（7）的振荡信号的相位进行比较; 和连接到相位比较器（6）的环路滤波器（8）。相位比较器（6）的输出通过环路滤波器（8）反馈到相位调整单元（10），以减小机械振动器（1）的相位噪声。

9. 发明申请

WO2009139238A1 ダイナミックモードＡＦＭ装置审中-公开
标题翻译：动态模式AFM装置
公开(公告)号：WO2009139238A1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：PCT/JP2009/057158
申请日：2009-04-08
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 川勝英樹 , 小林大
发明人：川勝英樹 , 小林大
IPC分类号： G01N13/16
CPC分类号： G01Q60/34
摘要：　探針－試料間距離を自動的に求めることができる自動制御系を構成し、高速に試料表面の原子を同定することができるダイナミックモードＡＦＭ装置を提供する。　ダイナミックモードＡＦＭ装置において、カンチレバー２と試料１を相対的に３次元走査するスキャナ３と、前記カンチレバー２の撓み振動のあるモードの共振周波数の交流信号を発生する手段８と、前記共振周波数で前記カンチレバー２に撓み振動を励起する手段９と、前記撓み振動の周波数よりも低い第２の周波数の交流信号を発生する手段１０と、前記第２の周波数で前記カンチレバー２の探針２Ａ－試料１間距離を変調する手段１１と、前記共振周波数の変動を検出する手段５と、前記カンチレバー２の振動を検出する手段４と、前記共振周波数の変動を検出する手段５の検出信号に含まれる前記探針２Ａ－試料１間距離の変調信号に同期した変動成分を検出する手段６を備え、前記変動成分の強度と極性から前記共振周波数の探針２Ａ－試料１間距離に対する傾きを求める。
摘要翻译：提供了一种动态模式AFM装置，其中形成自动控制系统，其可以自动确定探针样本距离，从而快速识别样品表面的原子。动态模式AFM装置包括扫描器（3），其相对于三维扫描悬臂（2）和样品（1）; 产生具有悬臂（2）的弯曲振动模式的共振频率的交流信号的装置（8）; 使用共振频率来激励悬臂（2）中的弯曲振荡的装置（9）; 产生具有低于所述弯曲振荡的频率的第二频率的AC信号的装置（10）; 使用所述第二频率来调制所述悬臂（2）的探针（2A）与所述样品（1）之间的距离的装置（11）; 检测谐振频率变化的装置（5）; 检测悬臂（2）的摆动的装置（4）; 以及检测与探测器（2A）和样本（1）之间的距离的调制信号同步的方差分量的装置（6），该信号被包括在检测方差的装置（5）的检测信号中在谐振频率。根据方差分量的强度和极性确定谐振频率相对于探针（2A）和样品（1）之间的距离的梯度。

10. 发明申请

WO2006093210A1 ホモダインレーザ干渉計プローブ及びそれを用いた変位計測システム审中-公开
标题翻译： HOMODYNE激光干涉仪探头和位移测量系统
公开(公告)号：WO2006093210A1
公开(公告)日：2006-09-08
申请号：PCT/JP2006/303935
申请日：2006-03-02
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 川勝英樹
发明人：川勝英樹
IPC分类号： G01B11/00 , G01B21/30
CPC分类号： G01B9/0205 , G01B9/02056 , G01B2290/15 , G01Q20/02
摘要：　構造が簡単で、安価で、かつ簡便な調整で容易に所定の性能が得られるホモダインレーザ干渉計プローブ及びそれを用いた変位計測システムを提供する。　ホモダインレーザ干渉計プローブであって、光を導く光ファイバー１と、この光ファイバー１からの光を受けるコリメートレンズ２と、このコリメートレンズ２からの光を受けて、この光を直線偏光から円偏光に変換する４分の１波長板３と、この４分の１波長板３からの光を基準光と計測光とに分けるビームスプリッタ４と、このビームスプリッタ４からの基準光を受ける第１の焦点レンズ５と、この第１の焦点レンズ５からの基準光を反射する反射ミラー６と、前記ビームスプリッタ４からの計測光を受ける第２の焦点レンズ７とを備え、前記反射ミラー６からの基準光を同一の経路をたどって計測手段に戻すとともに、前記第２の焦点レンズ７からの計測光を測定対象物８に照射してこの測定対象物８からの計測光（信号光）を同一の経路をたどって測定手段に戻す。　
摘要翻译：提供了一种结构简单的低成本零差激光干涉仪探头，能够通过简单的调整容易地获得预定的性能。还公开了使用零差激光干涉仪探针的位移测量系统。零差激光干涉仪探头包括用于引导光的光纤（1），用于接收来自光纤（1）的光的准直透镜（2），用于接收来自准直仪的光的1/4波片（3）透镜（2）并将来自直线偏振光的光转换成圆偏振光;分束器（4），用于将来自1/4波长板（3）的光分成参考光和测量光;第一焦点用于接收来自分束器（4）的参考光的透镜（5），用于反射来自第一聚焦透镜（5）的参考光的反射镜（6）和用于接收测量光的第二焦距透镜从分束器（4）。来自反射镜（6）的参考光沿着相同的路线返回到测量装置。来自第二焦点透镜（7）的测量光被施加到测量对象（8），并且来自测量对象（8）的测量光（信号光）沿着相同的路线被返回到测量装置。

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