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    • 2. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES
    • 用于确定材料性质的方法和装置
    • WO2006097800A2
    • 2006-09-21
    • PCT/IB2006000274
    • 2006-02-10
    • UNIV KARLSRUHE TH FORSCHUNGSUNSCHIMMEL THOMASMUELLER MATTHIAS
    • SCHIMMEL THOMASMUELLER MATTHIAS
    • G01Q10/00G01Q60/24G01Q60/26G01Q60/28
    • G01Q60/26G01Q60/28
    • A method of determining material properties of a contact formed between a measurement tip (3) of a microscopic probe (2) and a sample surface (7) of a sample material (6). According to the method, a distance modulation (DM) is applied for modulating a distance (d) between a support (4) of the microscopic probe (2) end the sample surface (7) in a direction (z) essentially normal to the sample surface (7) and wherein a normal force signal indicative of a normal force is measured and demodulated. In said method it is proposed that said material properties be determined using measurement data comprised in the demodulated normal force signal and related to a (concave) buckling deformation of the micro­scopic probe (2) relative to and away from the sample surface (7).
    • 确定在微观探针(2)的测量端(3)和样品材料(6)的样品表面(7)之间形成的接触材料性质的方法。 根据该方法,施加距离调制(DM)以在基本上垂直于样品表面(7)的方向(z)处调制位于样品表面(7)的微观探针(2)的支撑体(4)之间的距离(d) 样品表面(7),并且其中测量和解调表示法向力的法向力信号。 在所述方法中,建议使用包含在解调的法向力信号中并与微观探针(2)相对于和远离样品表面(7)的(凹))屈曲变形相关的测量数据来确定所述材料特性。
    • 8. 发明申请
    • METHOD FOR DETERMINING TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF A SAMPLE SURFACE USING A SCANNING MICROSCOPE (SEM) AND ASSOCIATED SCANNING MICROSCOPE
    • 一种用于确定样品表面的摩擦学性能BY原子力显微镜(AFM)和相关RKM
    • WO2004018963A3
    • 2004-08-12
    • PCT/EP0309054
    • 2003-08-14
    • FRAUNHOFER GES FORSCHUNGREINSTAEDTLER MICHAELRABE UTEARNOLD WALTER
    • REINSTAEDTLER MICHAELRABE UTEARNOLD WALTER
    • G01B21/30G01H3/00G01N29/22G01N29/34G01Q60/26G01Q60/28G12B21/20G01H3/12G01N29/06G01N29/24G12B21/22
    • G01Q60/28G01H3/00G01N29/22G01N29/346G01N2291/02827G01N2291/101G01Q60/26
    • The invention concerns a method for examining the surface of samples using a scanning microscope (SEM) comprising a flexible beam with longitudinal extension, whereof the longitudinal measuring tip is arranged precisely relative to a sample surface by means of a fixing device, the spatial position of said measuring tip being sensed by a sensing unit. The microscope is further equipped with at least one ultrasound generator which initiates an oscillation at a give excitation frequency between the sample surface and the flexible beam, whereof the measuring tip is in contact with the sample surface, such that the oscillations imparted to the measuring tip are oriented laterally to the sample surface and perpendicularly to the length of the flexible beam. The torsional oscillations of the flexible beam are sensed and analyzed by means of an evaluation unit. The invention is characterized in that the generation of oscillations is such that the oscillations produced by the measuring tip have a higher harmonic vibration relative to the excitation frequency, the oscillation generation is produced at amplitudes which provoke torsional amplitudes in the flexible beam. Those torsional amplitudes have maximum values which form a substantially constant plateau, even when the torsional amplitudes increase, and, in the range of maximum values, said torsional amplitudes have resonance spectra which develop a dispersion capable of being determined by a plateau width. The method for examining a sample surface consists in using the resonance spectra and, preferably, the plateau value, the plateau width and/or the corresponding resonance spectra increase.
    • 公开了一种用于使用原子力显微镜(AFM),其具有超过一个测量末端沿其安装在所述悬臂的纵向延伸的操作性测定样品表面的方法,该位于相对于具体地约球样品表面装置和其空间位置由传感器单元检测,并且 提供至少,与所述样品表面和探头末端之间的预定激发频率的振动激励的发起的超声波发生器,被带入与所述样品表面,以悬臂,使得探头尖端被激励在横向于样品表面并正交于所述悬臂取向振荡的纵向延伸和接触 是在形成由评估单元检测和分析扭转振动的弹性梁。 本发明的特征在于 - 所述振动激励发生,使得由具有激励频率的高次谐波分量,测量末端进行振荡, - 所述振荡激发与激发幅度,该悬臂Torsionsamplituden其Torsionsamplitudenmaxima内导致尽管增加的激励幅值进行 接受大致恒定的平稳值,并找到他们的共振谱,其中通过平稳宽度决定Torsionsamplitudenmaxima的光谱谐振加宽的范围内,以及 - 对于所述样品表面的检查中,共振谱,优选平稳值,高原宽度和/或各自的共振谱的斜率用于 是。
    • 9. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG TRIBOLOGISCHER EIGENSCHAFTEN EINER PROBENOBERFLÄCHE MITTELS EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS (RKM) SOWIE EIN DIESBEZÜGLICHES RKM
    • 一种用于确定样品表面的摩擦学性能BY原子力显微镜(AFM)和相关RKM
    • WO2004018963A2
    • 2004-03-04
    • PCT/EP2003/009054
    • 2003-08-14
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG e. V.REINSTÄDTLER, MichaelRABE, UteARNOLD, Walter
    • REINSTÄDTLER, MichaelRABE, UteARNOLD, Walter
    • G01B7/00
    • G01Q60/28G01H3/00G01N29/22G01N29/346G01N2291/02827G01N2291/101G01Q60/26
    • Beschrieben wird ein Verfahren zur Untersuchung einer Probenoberfläche mittels eines Rasterkraftmikroskops (RKM), das einen über eine Längserstreckung verfügenden Federbalken aufweist, längs dessen eine Messspitze angebracht ist, die über Steilmittel relativ zur Probenoberfläche gezielt angeordnet und deren räumliche Lage mit einer Sensoreinheit erfasst wird, sowie wenigstens einen Ultraschallwellengenerator vorsieht, der mit einer vorgebbaren Anregungsfrequenz eine Schwingungsanregung zwischen der Probenoberfläche und dem Federbalken, dessen Messspitze in Kontakt mit der Probenoberfläche gebracht wird, derart initiiert, dass die Messspitze in lateral zur Probenoberfläche und orthogonal zur Längserstreckung des Federbalkens orientierte Oszillationen angeregt wird und dass in dem Federbalken sich ausbildende Torsionsschwingungen erfasst und mittels einer Auswerteeinheit analysiert werden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, - dass die Schwingungsanregung derart erfolgt, dass die von der Messspitze ausgeführten Oszillationen höher harmonische Schwingungsanteile zur Anregungsfrequenz aufweisen, - dass die Schwingungsanregung mit Anregungsamplituden durchgeführt wird, die innerhalb des Federbalkens zu Torsionsamplituden führen, deren Torsionsamplitudenmaxima trotz zunehmenden Anregungsamplituden einen weitgehend konstanten Plateauwert annehmen und deren Resonanzspektren im Bereich der Torsionsamplitudenmaxima eine spektrale resonante Verbreiterung erfahren, die durch eine Plateaubreite bestimmbar ist, und - dass zur Untersuchung der Probenoberfläche die Resonanzspektren, vorzugsweise der Plateauwert, die Plateaubreite und/oder die Steigung der jeweiligen Resonanzspektren verwendet werden.
    • 描述的是用于测定Probenoberfl&AUML的方法;枝装置原子力显微镜(AFM),其具有导航用途包括收缩弹簧梁,L&AUML的;计算值的L BEAR纵向延伸设有其中一个探针尖端附接到导航用途NGS,所述 过球装置相对于ProbenoberflÄ枝针对性和其RÄ umliche位置与传感器单元,以及提供至少设置有Probenoberfl&AUML之间的预定激发频率的振动激励的超声波发生器检测;枝和弹簧条,其测量尖端与接触 被带到澈,在这样一种方式,测量末端侧向给Probenoberfl BEAR启动;所述Probenoberfl&AUML表面且垂直于LÄ面向所述悬臂振荡的纵向延伸被激发并在形成扭转及由评估单元分析的弹簧束检测。 本发明的特征在于 - 所述振动激励发生,使得从所述测量末端导航用途执行艰辛振荡Hö所述具有用于所述激励频率的谐波分量, - 所述振动激励用的激励幅值进行导航用途是HRT,悬臂到Torsionsamplituden˚F导航使用的内部 ;铅其Torsionsamplitudenmaxima尽管增加的激励幅值假定基本恒定的平稳值,找到在由一高原宽度决定Torsionsamplitudenmaxima的光谱谐振加宽的范围其共振谱,以及 - 对于Probenoberfl&AUML的调查;枝共振谱,优选平稳值,该 可以使用平台宽度和/或各个共振谱的斜率。

    • 10. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY DETERMINING THE ADHESION, FRICTION, AND OTHER MATERIAL PROPERTIES OF A SAMPLE SURFACE
    • 方法和装置分子,样品表面的摩擦和其它材料性质的同时测定
    • WO00040946A1
    • 2000-07-13
    • PCT/DE2000/000003
    • 2000-01-04
    • G01N13/00G01N19/02G01N19/04G01Q20/02G01Q60/26G01Q60/28G01N13/16G01N19/00
    • G01Q60/26G01N19/02G01N19/04G01Q20/02G01Q60/28
    • The invention relates to a method for the location-resolved, simultaneous detection of adhesion and friction and optionally of other material properties of a sample surface (30) to be examined. To this end a raster probe (1) is used which comprises a raster probe microscope. Said raster probe (1) and/or the sample (25) with the sample surface (30) to be examined are displaced until the raster probe (1), at a position (34) of the sample surface (30) to be examined, interacts in a defined manner with the same. The raster probe (1) and/or the sample (25) are subjected to a vertical oscillation and a measuring signal is recorded which characterizes the deformation of the raster probe (1). In addition, a second measuring signal is recorded which characterizes the deformation of the raster probe (1), whereby the raster probe (1) and/or the sample (25) are subjected to a horizontal and/or vertical oscillation. The desired material properties are now determined from both of these measuring signals using an appropriate evaluation device. The raster probe (1) and/or the sample (25) are displaced once again in order to record the entire surface area to be examined, and are brought into contact with the sample surface (30) in the above-described manner in order to repeat the described measuring procedure at the next position to be examined. The invention also relates to a suitable raster probe microscope for carrying out this method.
    • 本发明涉及一种用于粘附和摩擦和样品表面(30)的其它材料性质任选的位置分辨,同时检测的方法来进行检查。 为此光栅探针(1)的使用包括扫描探针显微镜。 所述扫描探针(1)和/或所述样品(25)与所述样品表面(30)要被检查被移动,直到光栅探针(1),在样品表面的一个位置(34)(30)要被检查 ,间作用在具有相同限定的方式。 扫描探针(1)和/或所述样品(25)进行上下方向的振动和测量信号被记录表征光栅探针(1)的变形。 此外,第二测量信号被记录表征光栅探针(1),由此所述扫描探针(1)和/或所述样品(25)进行的水平和/或垂直振荡的变形。 期望的材料属性现在确定性使用在适当的评价装置两者论文测量信号的开采。 扫描探针(1)和/或所述样品(25),以便记录的整个表面区域再次移位到被检查,并且被带入,以便所述样品表面(30)在上述方式接触 重复在下一个位置描述的测量程序进行审查。 因此本发明涉及到一个合适的扫描探针显微镜用于执行该方法。