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1. 发明申请

WO2021117203A1 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム审中-公开
公开(公告)号：WO2021117203A1
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：PCT/JP2019/048822
申请日：2019-12-12
申请人：昭和電工マテリアルズ株式会社
发明人：新井　勇貴
IPC分类号： G01Q60/28
摘要：一実施形態に係る表面分析方法は、探針を備える走査型プローブ顕微鏡による試料表面の測定に基づくフォースカーブを取得するステップと、探針と試料表面との間の距離である探針－表面間距離によってフォースカーブを一階微分することで微分曲線を算出するステップと、微分曲線に基づいて、試料表面から、最遠のピークまでの距離を、試料表面を形成する有機材料の破断長として算出するステップと、破断長を出力するステップとを含む。

2. 发明申请

WO2011121097A2 METHOD AND DEVICE FOR ANALYSING MOLECULAR BONDS 审中-公开
标题翻译：方法和设备进行调查分子键
公开(公告)号：WO2011121097A2
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/EP2011055062
申请日：2011-03-31
申请人： UNIV MUENCHEN TECH , GEISLER MICHAEL , HUGEL THORSTEN , NETZ ROLAND
发明人： GEISLER MICHAEL , HUGEL THORSTEN , NETZ ROLAND
IPC分类号： G01Q60/28
CPC分类号： G01Q60/42 , C12Q1/6816 , G01Q60/28 , C12Q2565/601
摘要： A scanning force microscope (1) is used for a measurement process in order to analyse the molecular bond to a probe molecule (5) of individual molecules which are in a solution. To this end, the bond parameters can be determined for the adsorbed state of the probe molecule (5), wherein the probe molecule (5) is adsorbed on an adsorption surface (7), or for a desorbed state of the probe molecule (5).
摘要翻译：原子力显微镜（1）用于测定的方法来研究的分子结合，在溶液中单分子可用的探针分子（5）。结合参数可以为探针（5），其中，所述探针分子吸附在吸附面（7）（5）的吸附状态来确定，或者对于所述探针的解吸状态（5）。

3. 发明申请

WO2011121097A3 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG VON MOLEKÜLBINDUNGEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2011121097A3
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/EP2011/055062
申请日：2011-03-31
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT MÜNCHEN , GEISLER, Michael , HUGEL, Thorsten , NETZ, Roland
发明人： GEISLER, Michael , HUGEL, Thorsten , NETZ, Roland
IPC分类号： G01Q60/28 , G01N33/483 , B82Y15/00 , C12Q1/68
摘要： Ein Rasterkraftmikroskop (1) wird für ein Messverfahren verwendet, um die Molekülbindung von sich in Lösung befindenden Einzelmolekülen an ein Sondenmolekül (5) zu untersuchen. Die Bindungsparameter können dabei für den adsorbierten Zustand des Sondenmoleküls (5), in dem das Sondenmolekül (5) an einer Adsorptionsfläche (7) adsorbiert ist, oder für einen desorbierten Zustand des Sondenmoleküls (5) bestimmt werden.

4. 发明申请

WO2006097800A2 METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES 审中-公开
标题翻译：用于确定材料性质的方法和装置
公开(公告)号：WO2006097800A2
公开(公告)日：2006-09-21
申请号：PCT/IB2006000274
申请日：2006-02-10
申请人： UNIV KARLSRUHE TH FORSCHUNGSUN , SCHIMMEL THOMAS , MUELLER MATTHIAS
发明人： SCHIMMEL THOMAS , MUELLER MATTHIAS
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q60/24 , G01Q60/26 , G01Q60/28
CPC分类号： G01Q60/26 , G01Q60/28
摘要： A method of determining material properties of a contact formed between a measurement tip (3) of a microscopic probe (2) and a sample surface (7) of a sample material (6). According to the method, a distance modulation (DM) is applied for modulating a distance (d) between a support (4) of the microscopic probe (2) end the sample surface (7) in a direction (z) essentially normal to the sample surface (7) and wherein a normal force signal indicative of a normal force is measured and demodulated. In said method it is proposed that said material properties be determined using measurement data comprised in the demodulated normal force signal and related to a (concave) buckling deformation of the microscopic probe (2) relative to and away from the sample surface (7).
摘要翻译：确定在微观探针（2）的测量端（3）和样品材料（6）的样品表面（7）之间形成的接触材料性质的方法。根据该方法，施加距离调制（DM）以在基本上垂直于样品表面（7）的方向（z）处调制位于样品表面（7）的微观探针（2）的支撑体（4）之间的距离（d）样品表面（7），并且其中测量和解调表示法向力的法向力信号。在所述方法中，建议使用包含在解调的法向力信号中并与微观探针（2）相对于和远离样品表面（7）的（凹））屈曲变形相关的测量数据来确定所述材料特性。

5. 发明申请

WO2011138564A1 PROCEDES DE MESURE ET DE MODIFICATION DE SURFACE PAR MICROSCOPIE A SONDE LOCALE FONCTIONNANT EN MODE CONTINU CURVILIGNE, MICROSCOPE A SONDE LOCALE ET DISPOSITIF PERMETTANT LEURS MISES EN OEUVRE 审中-公开
标题翻译：表面测量方法和本地探针显微镜在连续光纤模式下的操作，本地探测显微镜和设备实现方法的实现
公开(公告)号：WO2011138564A1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/FR2011/051024
申请日：2011-05-05
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS , UNIVERSITE DU MAINE (LE MANS) , NOEL, Olivier , MAZERAN, Pierre-Emmanuel , NASRALLAH, Hussein
发明人： NOEL, Olivier , MAZERAN, Pierre-Emmanuel , NASRALLAH, Hussein
IPC分类号： G01Q60/26 , G01Q60/28
CPC分类号： G01Q60/26 , B82Y35/00 , G01Q60/28
摘要： L'invention porte sur des procédés de modification de surface et sur des procédés de mesures de forces d'adhésion et de différentes forces d'interactions (forces de frottement, forces d'adhésion) par microscopie à sonde locale fonctionnant en mode continu « curviligne » ainsi que sur un microscope à sonde locale et un dispositif permettant la mise en œuvre desdits procédés.
摘要翻译：本发明涉及表面改性的方法，通过在连续“曲线”模式下操作的局部探针显微镜测量粘附力和各种相互作用力（摩擦力，粘附力）的方法以及局部探针显微镜和设备实现所述方法。

6. 发明申请

WO2004018963A3 METHOD FOR DETERMINING TRIBOLOGICAL PROPERTIES OF A SAMPLE SURFACE USING A SCANNING MICROSCOPE (SEM) AND ASSOCIATED SCANNING MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：一种用于确定样品表面的摩擦学性能BY原子力显微镜（AFM）和相关RKM
公开(公告)号：WO2004018963A3
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：PCT/EP0309054
申请日：2003-08-14
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , REINSTAEDTLER MICHAEL , RABE UTE , ARNOLD WALTER
发明人： REINSTAEDTLER MICHAEL , RABE UTE , ARNOLD WALTER
IPC分类号： G01B21/30 , G01H3/00 , G01N29/22 , G01N29/34 , G01Q60/26 , G01Q60/28 , G12B21/20 , G01H3/12 , G01N29/06 , G01N29/24 , G12B21/22
CPC分类号： G01Q60/28 , G01H3/00 , G01N29/22 , G01N29/346 , G01N2291/02827 , G01N2291/101 , G01Q60/26
摘要： The invention concerns a method for examining the surface of samples using a scanning microscope (SEM) comprising a flexible beam with longitudinal extension, whereof the longitudinal measuring tip is arranged precisely relative to a sample surface by means of a fixing device, the spatial position of said measuring tip being sensed by a sensing unit. The microscope is further equipped with at least one ultrasound generator which initiates an oscillation at a give excitation frequency between the sample surface and the flexible beam, whereof the measuring tip is in contact with the sample surface, such that the oscillations imparted to the measuring tip are oriented laterally to the sample surface and perpendicularly to the length of the flexible beam. The torsional oscillations of the flexible beam are sensed and analyzed by means of an evaluation unit. The invention is characterized in that the generation of oscillations is such that the oscillations produced by the measuring tip have a higher harmonic vibration relative to the excitation frequency, the oscillation generation is produced at amplitudes which provoke torsional amplitudes in the flexible beam. Those torsional amplitudes have maximum values which form a substantially constant plateau, even when the torsional amplitudes increase, and, in the range of maximum values, said torsional amplitudes have resonance spectra which develop a dispersion capable of being determined by a plateau width. The method for examining a sample surface consists in using the resonance spectra and, preferably, the plateau value, the plateau width and/or the corresponding resonance spectra increase.
摘要翻译：公开了一种用于使用原子力显微镜（AFM），其具有超过一个测量末端沿其安装在所述悬臂的纵向延伸的操作性测定样品表面的方法，该位于相对于具体地约球样品表面装置和其空间位置由传感器单元检测，并且提供至少，与所述样品表面和探头末端之间的预定激发频率的振动激励的发起的超声波发生器，被带入与所述样品表面，以悬臂，使得探头尖端被激励在横向于样品表面并正交于所述悬臂取向振荡的纵向延伸和接触是在形成由评估单元检测和分析扭转振动的弹性梁。本发明的特征在于 - 所述振动激励发生，使得由具有激励频率的高次谐波分量，测量末端进行振荡， - 所述振荡激发与激发幅度，该悬臂Torsionsamplituden其Torsionsamplitudenmaxima内导致尽管增加的激励幅值进行接受大致恒定的平稳值，并找到他们的共振谱，其中通过平稳宽度决定Torsionsamplitudenmaxima的光谱谐振加宽的范围内，以及 - 对于所述样品表面的检查中，共振谱，优选平稳值，高原宽度和/或各自的共振谱的斜率用于是。

7. 发明申请

WO0190761A3 METHODS OF SAMPLING SPECIMENS FOR MICROANALYSIS 审中-公开
标题翻译：采样样品微量分析方法
公开(公告)号：WO0190761A3
公开(公告)日：2002-05-30
申请号：PCT/US0116185
申请日：2001-05-18
申请人： IMAGO SCIENT INSTR , KELLY THOMAS F , MARTENS RICHARD L , GOODMAN STEVEN L
发明人： KELLY THOMAS F , MARTENS RICHARD L , GOODMAN STEVEN L
IPC分类号： B81B1/00 , B81C1/00 , G01N1/32 , G01Q30/20 , G01Q60/26 , G01Q60/28 , G01Q70/00 , G12B21/00
CPC分类号： G01N1/32 , Y10T436/25
摘要： Methods of sampling specimens for microanalysis, particularly microanalysis by atom probe microscopy, include steps of forming a study specimen in a first study object (as by use of focused ion beam milling); removing the study specimen from the study object; situating the study specimen on a second study object; and microanalyzing the study specimen. Where the first study object is of particular interest for study, the study specimen may be taken from a functional portion of the first study object so that microanalysis will provide information regarding this functional portion. Where the second study object is of particular interest for study, the second study object may be subjected to manufacturing processes (e.g., deposition of layers of materials) after the study specimen is situated thereon so that the study specimen will provide information regarding the results of the manufacturing process. The study specimen may have study regions formed thereon which are particularly suitable for study by atom probes, e.g., regions bearing raised protrusions, at virtually any point during the process, thereby greatly enhancing the speed and efficiency of specimen preparation.
摘要翻译：用于微量分析的样品取样方法，特别是通过原子探针显微镜进行微量分析的方法包括在第一研究对象中（如通过使用聚焦离子束研磨）形成研究样品的步骤; 从研究对象中取出研究标本; 将研究样本置于第二个研究对象上; 并微观分析研究样本。如果第一研究对象对于研究特别感兴趣，则研究样本可以从第一研究对象的功能部分获取，使得微量分析将提供关于该功能部分的信息。在第二研究对象特别感兴趣的研究中，第二研究对象可以在研究样本位于其上之后进行制造过程（例如，材料层的沉积），使得研究样本将提供关于制造过程。研究样本可以具有在其上形成的研究区域，其特别适合于在原子探针（例如，具有凸起突起的区域）的研究中，在该过程中的几乎任何点，从而大大提高了样品制备的速度和效率。

8. 发明申请

WO01090761A2 METHODS OF SAMPLING SPECIMENS FOR MICROANALYSIS 审中-公开
标题翻译：采样样品微量分析方法
公开(公告)号：WO01090761A2
公开(公告)日：2001-11-29
申请号：PCT/US2001/016185
申请日：2001-05-18
IPC分类号： B81B1/00 , B81C1/00 , G01N1/32 , G01Q30/20 , G01Q60/26 , G01Q60/28 , G01Q70/00 , G01N100
CPC分类号： G01N1/32 , Y10T436/25
摘要： Methods of sampling specimens for microanalysis, particularly microanalysis by atom probe microscopy, include steps of forming a study specimen in a first study object (as by use of focused ion beam milling); removing the study specimen from the study object; situating the study specimen on a second study object; and microanalyzing the study specimen. Where the first study object is of particular interest for study, the study specimen may be taken from a functional portion of the first study object so that microanalysis will provide information regarding this functional portion. Where the second study object is of particular interest for study, the second study object may be subjected to manufacturing processes (e.g., deposition of layers of materials) after the study specimen is situated thereon so that the study specimen will provide information regarding the results of the manufacturing process. The study specimen may have study regions formed thereon which are particularly suitable for study by atom probes, e.g., regions bearing raised protrusions, at virtually any point during the process, thereby greatly enhancing the speed and efficiency of specimen preparation.
摘要翻译：用于微量分析的样品取样方法，特别是通过原子探针显微镜进行微量分析的方法包括在第一研究对象中（如通过使用聚焦离子束研磨）形成研究样品的步骤; 从研究对象中取出研究标本; 将研究样本置于第二个研究对象上; 并微观分析研究样本。如果第一研究对象对于研究特别感兴趣，则研究样本可以从第一研究对象的功能部分获取，使得微量分析将提供关于该功能部分的信息。在第二研究对象特别感兴趣的研究中，第二研究对象可以在研究样本位于其上之后进行制造过程（例如，材料层的沉积），使得研究样本将提供关于制造过程。研究样本可以具有在其上形成的研究区域，其特别适合于在原子探针（例如，具有凸起突起的区域）的研究中，在该过程中的几乎任何点，从而大大提高了样品制备的速度和效率。

9. 发明申请

WO00040946A1 METHOD AND DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY DETERMINING THE ADHESION, FRICTION, AND OTHER MATERIAL PROPERTIES OF A SAMPLE SURFACE 审中-公开
标题翻译：方法和装置分子，样品表面的摩擦和其它材料性质的同时测定
公开(公告)号：WO00040946A1
公开(公告)日：2000-07-13
申请号：PCT/DE2000/000003
申请日：2000-01-04
IPC分类号： G01N13/00 , G01N19/02 , G01N19/04 , G01Q20/02 , G01Q60/26 , G01Q60/28 , G01N13/16 , G01N19/00
CPC分类号： G01Q60/26 , G01N19/02 , G01N19/04 , G01Q20/02 , G01Q60/28
摘要： The invention relates to a method for the location-resolved, simultaneous detection of adhesion and friction and optionally of other material properties of a sample surface (30) to be examined. To this end a raster probe (1) is used which comprises a raster probe microscope. Said raster probe (1) and/or the sample (25) with the sample surface (30) to be examined are displaced until the raster probe (1), at a position (34) of the sample surface (30) to be examined, interacts in a defined manner with the same. The raster probe (1) and/or the sample (25) are subjected to a vertical oscillation and a measuring signal is recorded which characterizes the deformation of the raster probe (1). In addition, a second measuring signal is recorded which characterizes the deformation of the raster probe (1), whereby the raster probe (1) and/or the sample (25) are subjected to a horizontal and/or vertical oscillation. The desired material properties are now determined from both of these measuring signals using an appropriate evaluation device. The raster probe (1) and/or the sample (25) are displaced once again in order to record the entire surface area to be examined, and are brought into contact with the sample surface (30) in the above-described manner in order to repeat the described measuring procedure at the next position to be examined. The invention also relates to a suitable raster probe microscope for carrying out this method.
摘要翻译：本发明涉及一种用于粘附和摩擦和样品表面（30）的其它材料性质任选的位置分辨，同时检测的方法来进行检查。为此光栅探针（1）的使用包括扫描探针显微镜。所述扫描探针（1）和/或所述样品（25）与所述样品表面（30）要被检查被移动，直到光栅探针（1），在样品表面的一个位置（34）（30）要被检查，间作用在具有相同限定的方式。扫描探针（1）和/或所述样品（25）进行上下方向的振动和测量信号被记录表征光栅探针（1）的变形。此外，第二测量信号被记录表征光栅探针（1），由此所述扫描探针（1）和/或所述样品（25）进行的水平和/或垂直振荡的变形。期望的材料属性现在确定性使用在适当的评价装置两者论文测量信号的开采。扫描探针（1）和/或所述样品（25），以便记录的整个表面区域再次移位到被检查，并且被带入，以便所述样品表面（30）在上述方式接触重复在下一个位置描述的测量程序进行审查。因此本发明涉及到一个合适的扫描探针显微镜用于执行该方法。

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