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1. 发明申请

WO2018036828A1 METROLOGY APPARATUS FOR MEASURING A STRUCTURE FORMED ON A SUBSTRATE BY A LITHOGRAPHIC PROCESS, LITHOGRAPHIC SYSTEM, AND METHOD OF MEASURING A STRUCTURE FORMED ON A SUBSTRATE BY A LITHOGRAPHIC PROCESS 审中-公开
标题翻译：用于通过光刻工艺测量在基板上形成的结构的计量设备，光刻系统以及通过光刻工艺测量在基板上形成的结构的方法
公开(公告)号：WO2018036828A1
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：PCT/EP2017/070302
申请日：2017-08-10
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： PANDEY, Nitesh
IPC分类号： G03F7/20 , G01N21/47 , G01N21/95
CPC分类号： G03F7/70633 , G01J1/0411 , G01J1/0488 , G01N21/9505 , G01N21/956 , G03F7/70191 , G03F7/70575 , G03F7/70625
摘要： Metrology apparatus and methods are disclosed. In one arrangement, a metrology apparatus comprises an optical system that illuminates a structure with measurement radiation and detects the measurement radiation scattered by the structure. The optical system comprises an array of lenses that focusses the scattered measurement radiation onto a sensor. A dispersive element directs scattered measurement radiation in each of a plurality of non-overlapping wavelength bands exclusively onto a different respective lens of the array of lenses.
摘要翻译：公开了计量装置和方法。在一种布置中，度量设备包括光学系统，该光学系统用测量辐射照射结构并检测由该结构散射的测量辐射。该光学系统包括将散射的测量辐射聚焦到传感器上的透镜阵列。色散元件仅将多个非重叠波长带中的每一个中的散射测量辐射引导到透镜阵列的不同透镜上。

2. 发明申请

WO2017095896A1 OPTICAL SENSOR FOR INTEGRATION OVER A DISPLAY BACKPLANE 审中-公开
标题翻译：用于集成显示背板的光学传感器
公开(公告)号：WO2017095896A1
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：PCT/US2016/064174
申请日：2016-11-30
申请人： SYNAPTICS INCORPORATED
发明人： FOMANI, Arash Akhavan , MIENKO, Marek , SMITH, Patrick , WICKBOLDT, Paul
IPC分类号： G01J1/04 , G02B27/14 , G06K9/00
CPC分类号： G06K9/00013 , G01J1/0214 , G01J1/0233 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0422 , G01J1/0429 , G01J1/0437 , G01J1/0488 , G01J1/0492 , G01J1/06 , G01J1/08 , G02F1/13318 , G02F1/13338 , G02F1/133512 , G02F1/133514 , G02F1/133528 , G02F1/133536 , G02F1/1368 , G06K9/0004 , G06K9/0008 , G06K2009/0006
摘要： Systems and methods for optical imaging are disclosed. An optical sensor for imaging a biometric input object on a sensing region includes a transparent layer having a first side and a second side opposite the first side; a set of apertures disposed above the first side of the transparent layer; a first set of reflective surfaces disposed below the second side of the transparent layer configured to receive light transmitted through the first set of apertures and to reflect the received light; a second set of reflective surfaces disposed above the first side of the transparent layer configured to receive the light reflected from the first set of reflective surfaces and to further reflect the light; and a plurality of detector elements positioned to receive the further reflected light from the second set of reflective surfaces.
摘要翻译：公开了用于光学成像的系统和方法。一种用于在感测区域上成像生物特征输入物体的光学传感器包括具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的透明层; 设置在透明层的第一侧上方的一组孔; 设置在所述透明层的所述第二侧下方的第一组反射表面，所述第一组反射表面被配置为接收透过所述第一组孔并且反射所述接收到的光的光; 设置在所述透明层的所述第一侧上方的第二组反射表面，所述第二组反射表面被配置为接收从所述第一组反射表面反射的光并且进一步反射所述光; 以及定位成接收来自第二组反射表面的进一步反射光的多个检测器元件。

3. 发明申请

WO2016157939A1 光電センサ审中-公开
标题翻译：光电传感器
公开(公告)号：WO2016157939A1
公开(公告)日：2016-10-06
申请号：PCT/JP2016/051241
申请日：2016-01-18
申请人：パナソニックデバイスSUNX 株式会社
发明人：市川　博貴 , 落合　隆幸
IPC分类号： H01H35/00 , G01V8/12 , H01L31/02
CPC分类号： G01J1/42 , G01J1/0411 , G01V8/12 , H01H35/00 , H01L31/02
摘要：　光が透過する集光レンズ（６１）が設けられた樹脂製のケース（１０）には、集光レンズ（６１）の焦点位置に配置される光電素子（３３）が実装された回路基板（３１）が収容されている。回路基板（３１）は、集光レンズ（６１）を透過した光が通過する貫通孔（３１ｃ）を有する。また、光電素子（３３）は、回路基板（３１）における集光レンズ（６１）と反対側の裏面（３１ｂ）に実装されて貫通孔（３１ｃ）を通過した光を受光する。
摘要翻译：设置有透光的聚光透镜（61）的树脂壳体（10）容纳设置在聚光透镜（61）的焦点处的光电元件（33）的电路基板（31）被安装。电路板（31）具有通过聚光透镜（61）透过的光通过的通孔（31c）。光电元件（33）安装在与聚光透镜（61）相反的一侧的电路板（31）的后表面（31b）上，并且接收已通过通孔（31c）的光。

4. 发明申请

WO2016146263A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR QUANTITATIVEN ERFASSUNG DES LEISTUNGSANTEILS EINES STRAHLUNGSHINTERGRUNDS EINES GEPULSTEN LASERS 审中-公开
标题翻译：方法和设备辐射性能的份额脉冲激光器的背景的定量检测
公开(公告)号：WO2016146263A1
公开(公告)日：2016-09-22
申请号：PCT/EP2016/000474
申请日：2016-03-16
申请人： UNIVERSITÄT STUTTGART
发明人： PIEHLER, Stefan , DANNECKER, Benjamin , NEGEL, Jan Philipp
IPC分类号： G01J1/42 , G01J1/04
CPC分类号： G01J1/0411 , G01J1/0407 , G01J1/0414 , G01J1/4257 , H01S3/0014 , H01S3/067 , H01S3/1305 , H01S2301/085
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur quantitativen Erfassung des Leistungsanteils eines Strahlungshintergrunds eines gepulsten Lasers. Zudem betrifft die Erfindung eine Verwendung eines sättigbaren Elements. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Modulieren eines von dem Laser ausgesandten Messstrahls (3) mit Hilfe eines sättigbaren Elements (13) in Abhängigkeit von der Fluenz des Messstrahls (3); Detektieren der Leistung des von dem sättigbaren Element (13) modulierten Messstrahls (5) mit Hilfe eines Modulationsstrahl-Leistungsdetektors (15); und Ermitteln des Leistungsanteils des Strahlungshintergrunds des gepulsten Lasers auf Basis der detektierten Leistung des durch das sättigbare Element (13) modulierten Messstrahls (5).
摘要翻译：本发明涉及一种用于脉冲激光的背景辐射的功率部分的定量检测的方法和装置。本发明还涉及一种使用可饱和元件。本发明的方法包括以下步骤：调制从所发出的光，所述激光测量光束（3）通过在测量光束（3）的能量密度的函数的可饱和元件（13）的装置; 由调制光束功率检测器（15）的装置检测所述可饱和元件（13）的调制测量光束（5）的功率; 以及确定所述脉冲激光的背景辐射的功率分量调制由可饱和元件（13）的测量光束基于检测到的性能（5）。

5. 发明申请

WO2016124169A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR STRAHLDIAGNOSE AN LASERBEARBEITUNGS-OPTIKEN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR BEAM诊断激光加工OPTICS
公开(公告)号：WO2016124169A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/DE2016/000036
申请日：2016-02-03
申请人： PRIMES GMBH MESSTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG
发明人： KRAMER, Reinhard , MÄRTEN, Otto , WOLF, Stefan
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/082 , B23K26/70 , G01J1/42 , G01J1/04 , B23K26/046
CPC分类号： B23K26/705 , B23K26/04 , B23K26/046 , B23K26/082 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0448 , G01J1/4257 , G01J9/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung geometrischer Parameter eines Laserstrahls. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, welche ein optisches System, eine Einrichtung zur Auskopplung von Strahlung, eine Strahldiagnose-Einrichtung, und ein Reflektor-Element beinhaltet. Das optische System ist zur Fokussierung eines Laserstrahls in einen Bearbeitungs-Bereich ausgebildet. Die Einrichtung zur Auskopplung von Strahlung ist ausgebildet zur Auskopplung von Strahlung, die in einer dem Laserstrahl entgegengesetzten Richtung durch das optische System läuft. Das Reflektor-Element hat eine erste Fläche, die teilreflektierend und gekrümmt ist. Das Reflektor-Element ist positionierbar in einem Positionier-Bereich zwischen dem optischen System und dem Bearbeitungs-Bereich. Dabei ist die Krümmung der ersten Fläche des Reflektor-Elements gleich einer mittleren Krümmung einer Wellenfront des vom optischen System fokussierten Laserstrahls im Positionier-Bereich des Reflektor-Elements. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bestimmung geometrischer Parameter eines Laserstrahls.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于确定激光束的几何参数。为了这个目的，提出一种装置，其包括光学系统，用于辐射，光束诊断装置，和一个反射器元件耦合出。该光学系统被设计为将激光束聚焦到一个处理区域。辐射耦合输出的装置适于通过光学系统在相反的方向上耦合出辐射传递到的激光束。所述反射器元件具有第一表面，该表面是部分反射的和弯曲的。反射器元件被定位在光学系统和加工区域之间的定位范围。这里，反射器元件的第一表面的曲率等于在反射器元件的定位部分的波前聚焦的激光束从光学系统的平均曲率。本发明还涉及一种用于确定激光束的几何参数的方法。

6. 发明申请

WO2015146152A1 統合装置审中-公开
标题翻译：集成设备
公开(公告)号：WO2015146152A1
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：PCT/JP2015/001668
申请日：2015-03-24
申请人：株式会社デンソー
发明人：牧野　一起
IPC分类号： G01W1/12 , G01N21/17 , G01W1/14
CPC分类号： G01J1/0411 , B60R11/04 , B60R2011/0026 , G01J1/02 , G01J1/0266 , G01J1/0271 , G01J1/0407 , G01J2001/0485 , G01J2001/4266
摘要：　日射用レンズ部（４２）は、仰角範囲のうちの低仰角側の光を取り込むための低仰角面（４３）と、低仰角面（４３）に隣接すると共に日射検出素子（４１）に対向する対向面（４４）と、仰角範囲のうちの高仰角側の光を取り込むための高仰角面（４５）と、を有している。また、日射用レンズ部（４２）は、高仰角面（４５）と対向面（４４）とに隣接する反射面（４６）を備えている。これにより、日射用レンズ部（４２）に入射した太陽光の一部が反射面（４６）に反射して日射検出素子（４１）に導かれるので、反射面（４６）で反射した低仰角側の日射光が増加する。したがって、日射検出素子（４１）で検出される低仰角側の日射量のピークの範囲を広げることができる。これにより、車載製品と日射センサとを一体化させるに際し、フロントガラスの傾斜角度によって日射センサの仰角特性が受ける影響を低減することができる。
摘要翻译：阳光透镜部分（42）设置有用于在仰角范围的低仰角侧摄入的低仰角表面（43），与该仰角范围相邻的相对表面（44）低仰角表面（43）并且与太阳光检测元件（41）相对，以及用于在仰角范围的高仰角侧摄入的高仰角表面（45）。此外，阳光透镜部（42）设置有与高仰角面（45）和相对面（44）相邻的反射面（46）。结果，入射到阳光透镜部分（42）的太阳光的一部分被反射面（46）反射并被引导到太阳光检测元件（41），因此低仰角侧阳光的量，由反射面（46）反射的面积增加。因此，可以扩大由太阳光检测元件（41）检测到的低仰角侧太阳光量峰值的范围，因此可以减小挡风玻璃的倾斜角对集成车载产品和阳光传感器时的阳光传感器的仰角特性。

7. 发明申请

WO2014188756A1 光センサおよび表示装置审中-公开
标题翻译：光学传感器和显示设备
公开(公告)号：WO2014188756A1
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：PCT/JP2014/055606
申请日：2014-03-05
申请人：シャープ株式会社
发明人：井上　高広 , 佐藤　秀樹 , 杉本　浩一朗
IPC分类号： G01J1/02 , G01J1/42 , G01J1/44 , G01V8/12 , G02F1/133 , G09G5/00 , H01H35/00 , H03K17/945
CPC分类号： H03K17/943 , G01J1/0411 , G01J1/0492 , G01J1/4204 , G01J5/0025 , G01J5/0896 , G01V8/20 , G09G3/3406 , G09G3/3611 , G09G5/10 , G09G2320/0626 , G09G2320/0666 , G09G2330/021 , G09G2360/144 , G09G2360/145 , H03K2217/94108
摘要：　近接検知や照度測定において、外乱となる光に起因する悪影響を抑制できる光センサを提供するために、光センサ（１）は、受光して光電流を発生させる複数の受光素子を含む受光素子群（ＰＤＧ）と、受光素子を選択する受光素子選択部（１１）と、受光素子の分光特性を設定する分光特性設定部（１２）と、受光素子から発生した光電流を待ち受け、受光量を計算する受光量計算部（１３）とを備える。
摘要翻译：为了提供一种光学传感器，其中可以在接近检测和照度测量中抑制由于受到干扰的光的不利影响，光学传感器（1）设置有：包括多个光接收的光接收元件组（PDG）元件，其接收光并产生光电流; 光接收元件选择单元（11），其选择光接收元件; 设置光接收元件的光谱特性的光谱特性设定单元（12）以及光接收量计算单元，其接收由所述光接收元件产生的光电流，并计算光接收量。

8. 发明申请

WO2014075652A1 SENSOR ZUR ERKENNUNG UND LOKALISIERUNG VON LASERSTRAHLUNGSQUELLEN 审中-公开
标题翻译：传感器检测和隔离激光辐射源
公开(公告)号：WO2014075652A1
公开(公告)日：2014-05-22
申请号：PCT/DE2013/000656
申请日：2013-11-06
申请人： EADS DEUTSCHLAND GMBH
发明人： GÜHNE, Tobias
IPC分类号： G01S3/784 , G01S7/48 , G01J3/28
CPC分类号： G01J3/0229 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/4257 , G01S3/784 , G01S7/4804
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Erkennung und Lokalisierung von Laserstrahlungsquellen mit - einem im Bildfeld einer abbildenden Optik (20) angeordneten strahlungsempfindlichen Detektors (30), - einer mit dem Detektor (30) verbundenen elektronischen Bildverarbeitungseinrichtung (40), und - einem im Strahlengang angeordneten optischen Beugungselement (10). Erfindungsgemäß sind die Beugungseigenschaften des optischen Beugungselements (10) derart ausgebildet, dass einfallendes Laserlicht in unterschiedlichen Wellenlängenbändern Beugungsmuster unterschiedlicher Form erzeugt, und die elektronische Signalauswertungseinrichtung (40) derart eingerichtet ist, dass sie die unterschiedlichen Formen der Beugungsmuster erkennt und auswertet.
摘要翻译：本发明涉及一种用于与激光辐射源的检测和定位的传感器 - 布置成一个在成像光学部件的像场（20）的辐射敏感探测器（30）， - 具有连接到所述电子图像处理装置（40）的检测器（30）一个，以及 - 一个布置在光束路径衍射光学元件（10）。根据本发明，衍射光学元件（10）的衍射特性被设计不同形状的产生，使得入射激光衍射图案在不同的波长带，并且电子信号评估机构（40）被布置成使得它识别的衍射图案和分析的不同的形状。

9. 发明申请

WO2014073254A1 光検出装置审中-公开
标题翻译：光检测装置
公开(公告)号：WO2014073254A1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：PCT/JP2013/072386
申请日：2013-08-22
申请人：シャープ株式会社
发明人：渡邉　由紀夫
IPC分类号： G01N21/64 , G01J1/04 , G02B3/04 , G02B3/08
CPC分类号： G01J1/0411 , G01J1/0422 , G01J1/0488 , G01N21/645 , G01N21/6456 , G01N21/6486 , G01N2021/6478 , G01N2201/06113 , G01N2201/0638 , G01N2201/10 , G01N2201/103 , G02B17/08 , G02B19/0028
摘要：　光検出装置は、測定対象物(１６)からの光を集光する対物レンズ素子(１７)と、上記対物レンズ素子(１７)によって集光された光を検出する光検出素子とを備え、上記対物レンズ素子(１７)は、屈折によって光を集光する中央部分(２８)と、この中央部分(２８)の周辺に位置して反射によって光を集光する周辺部分(２９)とを含んでいる。こうして、通常の凸レンズでは集光できないような大きな放射角度の光をも集めることができ、集光効率を高めて上記光検出素子による感度アップを図ることができる。
摘要翻译：该光检测装置设置有：收集来自被测量对象物（16）的光的物镜元件（17）。以及光检测元件，其检测通过物镜元件（17）收集的光。物镜元件（17）包括通过折射收集光的中心部分（28）和通过位于中心部分（28）周边的反射而收集光的外围部分（29））。因此，可以收集不能通过普通凸透镜收集的光，因此可以通过光检测元件提高采光效率，从而提高发光角度大，灵敏度高的光。

10. 发明申请

WO2013121366A1 SCANNING DEPTH ENGINE 审中-公开
标题翻译：扫描深度发动机
公开(公告)号：WO2013121366A1
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：PCT/IB2013/051189
申请日：2013-02-14
申请人： PRIMESENSE LTD.
发明人： SHPUNT, Alexander , ERLICH, Raviv , MOR, Zafrir
IPC分类号： G01B11/22 , G01B11/10
CPC分类号： G06F3/011 , B23P19/04 , G01J1/0411 , G01J1/44 , G01J2001/4466 , G01S7/4812 , G01S7/4817 , G01S7/4865 , G01S7/4868 , G01S17/10 , G01S17/42 , G01S17/89 , G02B27/0961 , G06T15/00 , H01S3/0071 , H01S5/02248 , H01S5/02288 , H01S5/02296 , H01S5/4012 , H01S5/4075 , H01S5/423 , Y10T29/49002
摘要： Mapping apparatus (22) includes a transmitter 44, which emits a beam comprising pulses of light, and a scanner (46), which is configured to scan the beam (38), within a predefined scan range, over a scene. A receiver (48) receives the light reflected from the scene and generates an output indicative of a time of flight of the pulses to and from points in the scene. A processor (42) is coupled to control the scanner so as to cause the beam to scan over a selected window (32, 34, 36) within the scan range and to process the output of the receiver so as to generate a 3D map of a part of the scene that is within the selected window.
摘要翻译：映射设备（22）包括发射包括光脉冲的光束的发射器44和被配置成在场景中的预定扫描范围内扫描光束（38）的扫描器（46）。接收器（48）接收从场景反射的光，并产生指示脉冲到场景中的点的飞行时间的输出。处理器（42）被耦合以控制扫描仪，以便使得光束在扫描范围内的选定窗口（32,34,36）上扫描并处理接收器的输出，以便产生在所选窗口内的场景的一部分。

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