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1. 发明申请

WO2023068388A1 레이저 조사위치가 조절되는 레이저 솔더링 장치 및 이를 포함하는 솔더링 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2023068388A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2021/014539
申请日：2021-10-19
申请人： 최병찬 , 강기석 , (주)레이저발테크놀러지
发明人： 최병찬 CHOI, Byoung Chan , 강기석 KANG, Ki Seok
IPC分类号： B23K26/08 , B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/03 , B23K101/36
摘要： 본 발명은, 제어부, 복수의 대상체를 이송하는 이송부, 상기 이송부 상에 위치된 상기 대상체를 솔더링 하기 위하여 상기 제어부의 제어에 의해 동작되고, 레이저 빔에 의하여 상기 솔더링을 수행하여 접합면을 형성하는 솔더부 및 상기 레이저 빔이 조사되는 솔더볼이 수용되는 적어도 하나 이상의 노즐부를 포함하고, 상기 솔더부로부터 조사되는 상기 레이저 빔은 상기 솔더볼의 중심선을 기준으로 편심되어 조사가능 하도록 조절될 수 있는 레이저 솔더링 장치가 제공된다.

2. 发明申请

WO2022243917A1 A DEVICE AND A METHOD FOR OPTICAL ENGRAVING OF A DIFFRACTION GRATING ON A WORKPIECE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022243917A1
公开(公告)日：2022-11-24
申请号：PCT/IB2022/054660
申请日：2022-05-19
申请人： BOEGLI-GRAVURES SA
发明人： BOEGLI, Charles , DUMITRU, Gabriel , DROZ, Alain , TONIN, Mario
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/08 , B23K26/352 , B23K26/362 , B42D25/435 , G02B5/18 , B44B5/02 , B44C1/22 , G03H1/02 , B23K37/04 , B23K103/04 , B23K103/00
摘要： A device for engraving a diffraction grating on a workpiece, comprises an optical set-up comprising alaser, a beam forming device, a beam splitting device, and a focusing head. The laser is configured tooutput a laser beam. The beam forming device is configured to control a diameter of and a lightintensity distribution in the laser beam, and output a primary laser beam. The beam splitting deviceis configured for a splitting of the primary laser beam into a plurality of split beams for theengraving. The focusing head comprises a microscope objective lens (109) configured to focus therespective split beams in respective foci on the workpiece, an auto-focusing system configured toproduce a positioning signal for adjusting and maintaining a distance between the microscopeobjective lens and the workpiece in order to maintain the respective foci of the split beams on theworkpiece and output the positioning signal; and a micro-actuator configured to receive thepositioning signal and adjust the distance between the microscope objective lens and the workpiece,whereby the auto-focusing system and the micro-actuator are operationally connected in a closed-loop. The device for engraving further comprises a positioning device configured to perform arelative positioning between the workpiece in the respective foci of the split beams, and the opticalset-up; and a controller configured to control the positioning device and the laser according toengraving instructions for the diffraction grating.

3. 发明申请

WO2022183295A1 METHOD OF WELDING OPTICAL COMPONENTS AND ASSOCIATED OPTICAL DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022183295A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/CA2022/050307
申请日：2022-03-03
申请人： THE GOVERNING COUNCIL OF THE UNIVERSITY OF TORONTO
发明人： HERMAN, Peter Robert , LI, Jianzhao , VOROBYEV, Oleg Borisovich
IPC分类号： G02B7/00 , B23K26/04 , B23K26/24 , B23K26/324 , B23K26/0622 , G02B6/36 , G05B15/02
摘要： The optical device can have a support member and an optical component having an elongated surface, the elongated surface having a curvilinear cross-section defined transversally to a length of the elongated surface, the elongated surface bonded to the support member by a seam extending along the length, the seam having a cross-section area defined transversally to the length, the cross-section area of the seam including a portion of a material of the optical component fused with a portion of a material of the support member.

4. 发明申请

WO2022176671A1 レーザ加工システムおよびレーザ加工方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022176671A1
公开(公告)日：2022-08-25
申请号：PCT/JP2022/004657
申请日：2022-02-07
申请人：株式会社アマダ
发明人：小久保　英之 , 茂知野　英子
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/02 , B23K26/04
摘要：レーザ加工システム１は、レーザ加工装置６０と、レーザ加工の前処理を行うマーキング装置２０とを備える。マーキング装置２０は、板金が積載されたパレットが設置されるとパレット上における所定の積載基準位置とパレット上の板金の位置とのずれ量を検出し、当該ずれ量に基づいてマーキング処理の実行位置を補正するための補正値を算出し、当該補正値に基づいて実行位置を補正してマーキング処理を行う。レーザ加工装置６０は、マーキング装置２０から補正値の情報を取得し、取得した補正値に基づいて実行位置を補正して、マーキング処理実行後のパレット上の板金にレーザ加工処理を行う。

5. 发明申请

WO2022128998A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR FOKUSLAGEN-BESTIMMUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2022128998A1
公开(公告)日：2022-06-23
申请号：PCT/EP2021/085618
申请日：2021-12-14
申请人： PRIMES GMBH MESSTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG
发明人： KRAMER, Reinhard , MÄRTEN, Otto , WOLF, Stefan , ROSSNAGEL, Johannes , HÄNSEL, Marc , NIEDRIG, Roman
IPC分类号： B23K26/035 , B23K26/04 , B23K26/064 , B23K26/066 , B23K26/70 , G01J1/42
摘要： Die Erfindung betrifft eine Strahlanalysevorrichtung (10) zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71) eines Energiestrahls oder eines aus einem Energiestrahl ausgekoppelten Probenstrahls (70), die eine Strahlformungseinrichtung (12), einen Detektor (40), und eine Auswertungseinrichtung (45) umfasst. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, eine Intensitätsverteilung (81) des Energiestrahls (77) oder des ausgekoppelten Probenstrahls (70) in einer Modulations-Ebene (19) mit einer zwei-dimensionalen Übertragungsfunktion zu modulieren zur Bildung eines modulierten Probenstrahls (79). Die Übertragungsfunktion weist entlang einer ersten lateralen Richtung (31) wenigstens zwei Kontraststufen (32, 33) mit einem Abstand a zueinander in Form von Übergängen zwischen wenigstens einem Sperrbereich (25) und wenigstens einem Durchlassbereich (21) auf. Die Strahlformungseinrichtung (12) ist eingerichtet, zur Formung einer Intensitätsverteilung (83) auf dem Detektor (40) mit mindestens zwei Kontrastmerkmalen (92, 93) entlang der ersten lateralen Richtung (31), den modulierten Probenstrahl (79) entlang einer Propagationsstrecke auf den Detektor (40) zu führen. Die Auswertungseinrichtung (45) ist eingerichtet zur Bestimmung eines Abstandes a entlang der ersten lateralen Richtung (31) zwischen Positionen der Kontrastmerkmale (92, 93) auf dem Detektor (40) und zur Bestimmung einer axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf dem Abstand a und/oder zur Bestimmung einer Änderung der axialen Position des Strahlfokus (71) basierend auf einer Änderung des Abstandes a. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Verfahren zur Bestimmung einer axialen Position eines Strahlfokus (71).

6. 发明申请

WO2022080446A1 レーザ加工システム及び制御方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022080446A1
公开(公告)日：2022-04-21
申请号：PCT/JP2021/038028
申请日：2021-10-14
申请人：ファナック株式会社
发明人：森　敦
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/08 , B23K26/082
摘要：制御点の修正を簡易に行うことができるレーザ加工システムを提供すること。レーザ加工システムは、ワークに対してレーザ光を走査可能なスキャナと、前記スキャナを前記ワークに対して移動させる移動装置と、前記スキャナを制御するスキャナ制御装置と、を備え、前記スキャナ制御装置は、前記移動装置を停止した状態で、予め設定された制御点を修正するための制御点修正用軌跡を前記ワークに照射するように前記スキャナを制御する軌跡制御部を有し、前記制御点修正用軌跡は、前記レーザ光の光軸方向のずれを特定するための所定の長さと、前記制御点の位置及び制御点によって定義される座標系の方向を特定するための所定の形状と、を有する。

7. 发明申请

WO2022076805A1 APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE FAILURE ANALYSIS 审中-公开
公开(公告)号：WO2022076805A1
公开(公告)日：2022-04-14
申请号：PCT/US2021/054147
申请日：2021-10-08
申请人： GATAN, INC.
发明人： COYLE, Steven Thomas , HOSMAN, Thijs C. , HUNT, John Andrew , HASSEL-SHEARER, Michael Patrick
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/04 , B23K26/064 , H01L21/302
摘要： A pulsed laser apparatus for milling a sample is described. The apparatus includes a pulsed laser, a scan head for scanning a beam from the pulsed laser across the sample aan F-theta lens for focusing the scanned beam onto the sample and a confocal detector for detecton of ablation depth. Methods of pulsed laser milling are also described.

8. 发明申请

WO2022055062A1 레이저 가공 시스템 및 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2022055062A1
公开(公告)日：2022-03-17
申请号：PCT/KR2021/004300
申请日：2021-04-06
申请人： 주식회사 필옵틱스
发明人： 심상원 , 황도연 , 남유진 , 류상길 , 유성주 , 최민환
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/08 , B23K26/04
摘要： 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 시스템은, 레이저 빔을 방출하는 레이저 유닛; 상기 레이저 빔의 진행 경로에 배치되어 입사되는 상기 레이저 빔이 베셀 빔으로 출사시키는 광학 유닛; 상기 광학 유닛에서 출사되는 베셀 빔으로 가공하는 피가공물이 장착되는 스테이지; 및 상기 레이저 유닛, 상기 광학 유닛, 및 상기 스테이지의 작동을 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 광학 유닛은, 출사되는 베셀 빔의 초점 라인을 상기 피가공물에 위치시키며, 상기 피가공물에 위치된 초점 라인이 소정 범위 이동되도록 구성된다.

9. 发明申请

WO2021239155A1 光学变焦对焦镜头及其机械结构、光学结构及其使用方法审中-公开
公开(公告)号：WO2021239155A1
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：PCT/CN2021/097539
申请日：2021-05-31
申请人：方强
发明人：方笑尘
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/02 , G02B7/04
摘要：一种光学变焦对焦镜头及其机械结构、光学结构及其使用方法，变焦对焦激光镜头的光学结构，使用两块透镜组成的准直镜头和两块透镜组成的聚焦镜头各自独立进行变焦和对焦，极大的改善了设计灵活性，简化了设计过程；变焦对焦激光镜头的机械结构，使用具有自润滑材料的透镜框（21,22）、套管（5）、凸轮（6）的套管式机械结构取代传统机械结构，结构简单、体积小；透镜框（21,22）与套管（5）之间是面接触，且石墨等自润滑材料的导热性极好，该结构的导热能力得到极大提高，可以方便的将水冷做在套管内部，彻底解决系统的冷却问题，解除热问题对系统最大使用功率的限制。

10. 发明申请

WO2021211960A1 STATIC AND DYNAMIC CALIBRATION FOR COHERENCE IMAGING MEASUREMENT SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021211960A1
公开(公告)日：2021-10-21
申请号：PCT/US2021/027672
申请日：2021-04-16
申请人： IPG PHOTONICS CORPORATION
发明人： KANKO, Jordan A. , CHEN, Hui-Chi , MOEMEN, Moemen Y. , WEBSTER, Paul J.L.
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/04 , B23K26/042
摘要： Systems and methods for static and dynamic calibration may be used to provide alignment of a measurement beam from a coherence imaging (CI) measurement system relative to a processing beam from a material processing system. In these systems and methods, a calibration measurement output may be obtained from the CI measurement system and/or from an auxiliary sensor. Future measurements performed by the CI measurement system may be modified based on, at least in part, the calibration measurement output.

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