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1. 发明申请

WO2011032819A1 SYSTEM FOR MECHANICAL CHARACTERIZATION OF MATERIALS AND BIOLOGICAL SAMPLES IN THE SUB-MILLINEWTON FORCE RANGE 审中-公开
标题翻译：机械力学特性的系统和材料和生物样品在小米顿顿力范围内
公开(公告)号：WO2011032819A1
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：PCT/EP2010/062606
申请日：2010-08-30
申请人： FEMTOTOOLS GMBH , BEYELER, Felix , MUNTWYLER, Simon
发明人： BEYELER, Felix , MUNTWYLER, Simon
IPC分类号： G02B21/32 , G01L1/14 , H01J37/26
CPC分类号： G01Q30/025 , B81C99/003 , B82Y35/00 , G01B9/04 , G01N2203/0089 , G01N2203/0286 , G02B21/32
摘要： The mechanical characterization system consists of three main parts: A sub-millinewton resolution capacitive force sensor; at least one micromanipulator with position measurement capabilities and a microscope The sensitive axis of the force sensor is via adaptor pieces adjustably connected to the micromanipulator at any angle relative to the sample holder.
摘要翻译：机械表征系统由三个主要部分组成：亚毫分辨率电容力传感器; 至少一个具有位置测量能力的显微操纵器和显微镜力传感器的敏感轴是通过适配器片相对于样品架以任意角度可调节地连接到显微操纵器。

2. 发明申请

WO2016036422A1 INTERNALLY GENERATED DFT STEPPED HYSTERESIS SWEEP FOR ELECTROSTATIC MEMS 审中-公开
标题翻译：用于静电MEMS的内部生成DFT步进式滞后扫描
公开(公告)号：WO2016036422A1
公开(公告)日：2016-03-10
申请号：PCT/US2015/027201
申请日：2015-04-23
申请人： CAVENDISH KINETICS, INC
发明人： HUFFMAN, James Douglas , KHIEU, Cong Quoc , VAN KAMPEN, Robertus Petrus , SMAYLING, Karl, F. , JOSHI, Vikram
IPC分类号： B81C99/00
CPC分类号： B81C99/003 , B81B2201/016 , B81B2207/015 , G01R27/2605 , H01G5/16 , H01L23/5228 , H01L29/93
摘要： The present invention generally relates to a mechanism for testing a MEMS hysteresis. A power management circuit may be coupled to the electrodes that cause the movable plate that is disposed between the electrodes in a MEMS device to move. The power management circuit may utilize a charge pump, a comparator and a resistor ladder.
摘要翻译：本发明一般涉及一种用于测试MEMS滞后的机构。功率管理电路可以耦合到电极，其使得设置在MEMS器件中的电极之间的可移动板移动。电源管理电路可以使用电荷泵，比较器和电阻梯。

3. 发明申请

WO2015082377A1 A METHOD AND A CONTROLLER FOR A MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE 审中-公开
标题翻译：一种用于微机电系统（MEMS）装置的方法和控制器
公开(公告)号：WO2015082377A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/EP2014/076052
申请日：2014-12-01
申请人： UNIVERSITY COLLEGE DUBLIN NATIONAL UNIVERSITY OF IRELAND, DUBLIN , UNIVERSITAT POLITÈCNICA DE CATALUNYA
发明人： DOMINGUEZ-PUMAR, Manuel , GORRETA, Sergi , PONS-NIN, Joan , FEELY, Orla , BLOKHINA, Elena , O'CONNELL, Diarmuid
IPC分类号： B81B7/00 , B81C99/00
CPC分类号： B81B7/008 , B81C99/003 , B81C99/005
摘要： A controller for a micro-electromechanical system (MEMS) device incorporating a dielectric layer and a voltage supply contact is disclosed. The controller includes a capacitance sensor operatively connected to the MEMS device to selectively measure a capacitance of the MEMS device. An actuation controller is interposed in a feedback loop between the capacitance sensor and the device voltage supply, the actuation controller being arranged to successively select between one of two voltage waveforms during actuation of the MEMS device. A first of the waveforms comprises a voltage of a given polarity to be applied for a majority of the waveform time and a voltage of an opposite polarity to be applied for a minority of the waveform time. A second of the waveforms comprises the voltage of the opposite polarity for the majority of the waveform time and the voltage of the given polarity for the minority of the waveform time. The actuation controller is arranged to measure the capacitance during the waveform time before and after a transition between the given and the opposite polarity and to select a succeeding waveform by comparing a difference ΔC in measured capacitances C+ and C- and a threshold capacitance Cth corresponding to desired device charge.
摘要翻译：公开了一种用于结合介电层和电压供应触点的微机电系统（MEMS）装置的控制器。控制器包括可操作地连接到MEMS器件的电容传感器，以选择性地测量MEMS器件的电容。致动控制器插入在电容传感器和器件电压源之间的反馈回路中，致动控制器布置成在MEMS器件的致动期间连续地选择两个电压波形中的一个之间。波形中的第一个包括要在波形时间的大部分中施加的给定极性的电压和在少数波形时间中施加相反极性的电压。波形中的第二个波形包括波形时间大部分时间相反极性的电压以及波形时间的少数部分给定极性的电压。致动控制器被布置成在给定和相反极性之间的转变之前和之后的波形时间期间测量电容，并且通过将测量的电容C +和C中的差ΔC与对应于测量电容C的阈值电容Cth进行比较来选择后续波形所需设备充电。

4. 发明申请

WO2014041331A1 TORSIONAL AND LATERAL STIFFNESS MEASUREMENT 审中-公开
标题翻译：扭转和横向刚度测量
公开(公告)号：WO2014041331A1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/GB2013/052167
申请日：2013-08-15
申请人： UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF ST ANDREWS
发明人： HAEHNER, Georg , PARKIN, John
IPC分类号： G01N3/32 , G01Q40/00 , G01M5/00
CPC分类号： G01N3/02 , B81B2203/0118 , B81C99/003 , G01M5/0041 , G01M5/0058 , G01M5/0066 , G01N3/32 , G01N3/62 , G01N2203/0005 , G01N2203/0023 , G01N2203/0048 , G01N2203/0055 , G01N2203/0254 , G01N2203/0286 , G01N2203/0688 , G01Q40/00
摘要： A method for determining a spring constant/rigidity of a cantilever of a known shape, the method involving: measuring a resonance frequency of the cantilever in a plurality of static equilibrium positions in which the shape of the cantilever is different and determining a spring constant and/or rigidity of the cantilever using the measured frequencies. The resonance frequency may be at least one of a torsional and lateral resonance frequency.
摘要翻译：一种用于确定已知形状的悬臂的弹簧常数/刚度的方法，所述方法包括：在悬臂的形状不同并确定弹簧常数的多个静态平衡位置中测量悬臂的共振频率，并且 /或使用测量的频率的悬臂的刚性。共振频率可以是扭转和侧向共振频率中的至少一个。

5. 发明申请

WO2013151425A1 CALIBRATION OF A MECHANICAL PROPERTY OF SPM CANTILEVERS 审中-公开
标题翻译：标准化机器人机械性能的校准
公开(公告)号：WO2013151425A1
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：PCT/NL2013/050210
申请日：2013-03-22
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人： SADEGHIAN MARNANI, Hamed
IPC分类号： G01Q40/00 , B81C99/00 , G01N29/036 , B82Y35/00
CPC分类号： G01Q40/00 , B81C99/003 , B82Y35/00 , G01N29/036 , G01N29/30 , G01N2291/0427
摘要： A method is presented for calibrating a cantilever, such as a scanning probe microscope cantilever (10) (SPM cantilever). The cantilever to be calibrated comprises at least a first and a second layer (14, 16) having a mutually different thermal expansion coefficient, the method comprising the steps of - controllably causing (S1) a temperature distribution along the cantilever, - measuring (S2) a spatial state of the cantilever, - computing (S3) a mechanical property from the observed spatial state caused by controllably changing the temperature. Also a calibration arrangement and a scanning probe microscope provided with the calibration arrangement are presented.
摘要翻译：提出了一种用于校准悬臂的方法，如扫描探针显微镜悬臂（10）（SPM悬臂梁）。要校准的悬臂包括具有相互不同的热膨胀系数的至少第一和第二层（14,16），该方法包括以下步骤： - 可控制地使（S1）沿着悬臂的温度分布， - 测量（S2 ）悬臂的空间状态， - 计算（S3）由可控地改变温度引起的观察到的空间状态的机械特性。还提出了配备有校准装置的校准装置和扫描探针显微镜。

6. 发明申请

WO2013083534A2 INERTIAL ANGULAR SENSOR OF BALANCED MEMS TYPE AND METHOD FOR BALANCING SUCH A SENSOR 审中-公开
标题翻译：平衡微机电系统的惯性角度传感器及平衡这种传感器的方法
公开(公告)号：WO2013083534A2
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：PCT/EP2012/074290
申请日：2012-12-03
申请人： SAGEM DEFENSE SECURITE
发明人： JEANROY, Alain
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , B81B3/0021 , B81B7/02 , B81C99/0025 , B81C99/003 , B81C99/0045
摘要： Inertial angular sensor of MEMS type comprising a support (1) of at least two masses (2) which are mounted movably with respect to the support, at least one electrostatic actuator (3) and at least one electrostatic detector (4). The masses (2) are suspended in a frame (6) itself connected by suspension means to the support. The actuator and the detector are designed to respectively produce and detect a vibration of the masses. Method for balancing such a sensor provided with at least one load detector mounted between the frame and the support and with at least one electrostatic spring (8) placed between the frame and one of the masses and slaved so as to ensure dynamic balancing of the sensor as a function of a measurement signal of the load sensor.
摘要翻译： MEMS类型的惯性角度传感器包括相对于支撑件可移动地安装的至少两个质量块（2）的支撑件（1），至少一个静电致动器（3）和至少一个静电检测器（4）。质量块（2）悬挂在框架（6）中，框架本身通过悬挂装置连接到支撑件。致动器和检测器被设计成分别产生和检测质量的振动。用于平衡这种传感器的方法，所述传感器设置有安装在所述框架和所述支撑件之间的至少一个负载检测器，并且具有至少一个静电弹簧（8），所述静电弹簧放置在所述框架和所述质量块中的一个之间并且从属于所述传感器，作为负载传感器的测量信号的函数。

7. 发明申请

WO2016168974A1 SYSTEMS AND METHODS FOR THERMALLY REGULATING SENSOR OPERATION 审中-公开
标题翻译：用于热调节传感器操作的系统和方法
公开(公告)号：WO2016168974A1
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：PCT/CN2015/076996
申请日：2015-04-20
申请人： SZ DJI TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人： PAN, Guoxiu , SHI, Renli
IPC分类号： G05D23/30 , G01C25/00 , B64C39/00
CPC分类号： G01P21/00 , B64C39/00 , B64C39/024 , B64C2201/027 , B64C2201/108 , B64C2201/146 , B64D43/00 , B81B7/0087 , B81B2201/0242 , B81C99/003 , G01C25/005 , G01D3/036 , G01D18/008 , G01K13/00 , G05D1/0011 , G05D23/19
摘要： Systems and methods are provided for calibrating and regulating the temperature of a sensor (101). One or more temperature adjusting devices (102) can be provided to regulate the temperature of the sensor (101). One or more of the temperature adjusting devices (102) can be provided to perform a calibration to determine a relationship between sensor bias and sensor temperature. The one or more temperature adjusting devices (102) can be built into the sensor (101).
摘要翻译：提供了用于校准和调节传感器（101）的温度的系统和方法。可以提供一个或多个温度调节装置（102）以调节传感器（101）的温度。可以提供一个或多个温度调节装置（102）以执行校准以确定传感器偏压和传感器温度之间的关系。一个或多个温度调节装置（102）可以内置在传感器（101）中。

8. 发明申请

WO2014091435A1 DETECTING FAILURE OF SCANNING MIRROR 审中-公开
标题翻译：检测扫描镜的故障
公开(公告)号：WO2014091435A1
公开(公告)日：2014-06-19
申请号：PCT/IB2013/060839
申请日：2013-12-12
申请人： PRIMESENSE LTD.
发明人： SHPUNT, Alexander
IPC分类号： G02B26/08 , B81C99/00
CPC分类号： G01M11/005 , B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , B81C1/00015 , B81C99/003 , G01N27/00 , G01R31/026 , G02B26/0833 , H01L21/306
摘要： A method for monitoring includes providing a device (64) including a first part (46) and a second part (72) and a movable joint (70) connecting the first part to the second part. An electrical characteristic of a conductive path (80) crossing the movable joint is measured, and a remedial action is initiated in response to detecting a change of the electrical characteristic.
摘要翻译：一种用于监视的方法包括提供包括第一部分（46）和第二部分（72）的装置（64）和将第一部分连接到第二部分的可移动接头（70）。测量与可移动接头交叉的导电路径（80）的电特性，并且响应于检测到电特性的变化而启动补救动作。

9. 发明申请

WO2013188131A1 MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM AND METHODS OF USE 审中-公开
标题翻译：微电子系统及其使用方法
公开(公告)号：WO2013188131A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/US2013/043595
申请日：2013-05-31
申请人： PURDUE RESEARCH FOUNDATION
发明人： CLARK, Jason, V.
IPC分类号： B81B7/00 , G01C19/56 , G01P15/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81C99/003 , B81C99/0045 , G01C19/5755 , G01K11/00 , G01P15/097 , G01P21/00 , G01P2015/0871 , G01Q20/00 , G01Q40/00
摘要： Methods of measuring displacement of a movable mass in a microelectro- mechanical system (MEMS) include driving the mass against two displacement-stopping surfaces and measuring corresponding differential capacitances of sensing capacitors such as combs. A MEMS device having displacement-stopping surfaces is described. Such a MEMS device can be used in a method of measuring properties of an atomic force microscope (AFM) having a cantilever and a deflection sensor, or in a temperature sensor having a displacement-sensing unit for sensing a movable mass permitted to vibrate along a displacement axis. A motion-measuring device can include pairs of accelerometers and gyroscopes driven 90° out of phase.
摘要翻译：在微机电系统（MEMS）中测量可移动质量块的位移的方法包括对两个位移停止表面驱动质量，并测量诸如梳状物之类的感测电容器的对应差分电容。描述了具有位移停止表面的MEMS器件。这种MEMS器件可以用于测量具有悬臂和偏转传感器的原子力显微镜（AFM）的性质的方法中，或者在具有位移感测单元的温度传感器中使用，该位移检测单元用于感测允许沿着位移轴。运动测量装置可以包括驱动90°异相的加速度计和陀螺仪对。

10. 发明申请

WO2012072818A1 VERFAHREN ZUR VERMESSUNG EINES MIKRO-ELEKTROMECHANISCHEN HALBLEITERBAUTEILS 审中-公开
标题翻译：法测量微机电半导体组件的
公开(公告)号：WO2012072818A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/EP2011/071762
申请日：2011-12-05
申请人： ELMOS SEMICONDUCTOR AG , BINKHOFF, Peter
发明人： BINKHOFF, Peter
IPC分类号： H01L21/66 , B81C99/00
CPC分类号： G01L9/0098 , B81C99/003 , B81C99/005 , G01L27/002 , G01R31/275 , G01R31/2887 , G01R31/2891
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Uberprüfung eines Drucksensors mit einem reversibel verformbaren, insbesondere reversibel verbiegbaren Messelement (18), das ein Messsignal mit einer von dem Grad seiner Verformung abhängigen Größe liefert, dahingehend, ob der Drucksensor einem geforderten Maximaldruck standhält, der um einen vorgebbaren Faktor größer ist als ein Nenndruck, für den der Drucksensor ausgelegt ist. Bei dem Verfahren wird ein zum zu überprüfenden Drucksensor baugleicher Referenzdrucksensor bereitgestellt, der ein reversibel verformbares, insbesondere reversibel verbiegbares Messelement (18) aufweist, welches ein Messsignal mit einer von dem Grad seiner Verformung abhängigen Größe liefert, wobei bis zu einem vorbestimmten Grad einer reversiblen Verformung des Messelements (18) die Abhängigkeit der Größe des Messsignal von der reversiblen Verformung des Messelements (18) als Weg/Druck-Kennlinie bekannt ist und wobei der für ein Zerbrechen des Messelements (18) erforderliche kritische Druck größer ist als der geforderte Maximaldruck, dem der zu überprüfende Drucksensor standhalten soll. Es wird ein weggesteuert vorbewegbarer Auslenkstößel (32) bereitgestellt, wobei der Auslenkstößel (32) mit Ausnahme des Referenzdrucksensors oder eines zu überprüfenden Drucksensors frei von einem mit ihm in Wirkverbindung stehenden Sensor zur Ermittlung der zur Vorbewegung des Auslenkstößels (32) jeweils erforderlichen Kraft ist. Der Auslenkstößel (32) wird in Kontakt mit dem Messelements (18) des Referenzdrucksensors gebracht und anschließend unter reversibler Verformung des Messelements (18) weggesteuert vorbewegt. Das Messelement (18) wird durch den weggesteuert vorbewegten Auslenkstößel (32) in zunehmendem Maße verformt, bis das Messelement (18) bricht. Es werden die von dem Messelement (18) bei zunehmender Verformung desselben gelieferten Messsignale erfasst. Der von dem Auslenkstößel (32) vom Beginn der reversiblen Verformung des Messelements (18) an bis zum Zerbrechen des Messelements (18) zurückgelegte Weg wird ermittelt. Die Größe des Messsignals bei maximaler reversibler Verformung des Messelements (18), ohne dass dieses zerbrochen war, wird als kritisches Messsignal ermittelt Anhand der bekannten Weg/Druck-Kennlinie des Referenzdrucksensors wird die Größe des dem kritischen Messsignal entsprechenden kritischen Drucks oder die Größe eines diesen Druck repräsentierenden Parameters ermittelt. Das Messelement (18) mindestens eines zu überprüfenden Drucksensors mittels des weggesteuert vorbewegten Auslenkstößels (32) wird bis zu einem vorgebbaren Grad reversibel verformt und dabei wird seine Weg/Druck-Kennlinie erstellt. Anhand eines Vergleichs der erstellten Weg/Druck-Kennlinie des zu überprüfenden Drucksensors mit der bekannten Weg/Druck-Kennlinie des Referenzdrucksensors wird erkannt, ob das Messelement (18) des zu überprüfenden Drucksensors dem geforderten Maximaldruck standhält oder bei diesem zerbrechen wurde bzw. bereits zerbrochen wäre.
摘要翻译：本发明涉及一种用于与提供的测量信号的频率依赖于它的变形量的程度，作为对压力传感器是否能够承受所要求的最大压力时，可预定的方式的可逆变形，特别是可逆地可弯曲的测量元件（18）的压力传感器的乌伯检查的过程比的量，压力传感器被设计的标称压力的因素。在该方法中，为相同的基准压力传感器的检查压力传感器被提供，其包括可逆地可变形的，特别是可逆地可弯曲的测量元件（18），其提供具有频率依赖于其变形量的程度的测量信号，其中至多可逆变形的预定程度所述测量元件（18）作为路径/压力特性曲线是已知的测量元件（18）的可逆变形的测量信号的大小的依赖，并且其中，所述传感元件的破损（18）所需的临界压力大于所要求的最大压力时，承受压力传感器进行检查。本发明提供一种路径vorbewegbarerAuslenkstößel（32），其中，所述Auslenkstößel（32）与所述参考压力传感器的异常或检查压力传感器是力 - 自由与它可操作地连接从一个所需的传感器，用于分别检测所述Auslenkstößels（32）的推进。所述Auslenkstößel（32）与所述测量元件（18），然后在测量元件的可逆变形（18）的路径先进接触带来的基准压力传感器。所述测量元件（18）由所述位移控制vorbewegtenAuslenkstößel（32）变形，以增加的程度，直到所述测量元件（18）断裂。应当认识到随着由测量元件（18）提供的相同的测量信号的变形。从所述Auslenkstößel（32），以从测量元件（18）的可逆变形开始时的测量元件的距离（18）的破碎行进被确定。与测量元件（18）的最大可逆变形的测量信号的大小，而没有这个被打破，是基于参考压力传感器，相应的临界测量信号临界压力的大小或这些尺寸的已知距离/压力特性曲线上确定的临界测量信号表示确定的压力参数。所述测量元件（18），至少一个压力传感器，以通过路径vorbewegtenAuslenkstößels（32）的装置进行检查，以可预定的程度被创建其路径/压力特性曲线而可逆地变形。基于所述路径/压力特性曲线的比较待测试压力传感器与检测开始所述参考压力传感器的已知距离/压力特性曲线是否测量元件（18）进行检查时，压力传感器能承受所要求的最大压力或在此已被打破或已经断裂会。

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