专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2007147670A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SILIZIUMSUBSTRATS MIT VERÄNDERTEN OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN SOWIE EIN DERARTIGES SILIZIUMSUBSTRAT 审中-公开
标题翻译：用于生产硅衬底上具有改变的表面特性和这种硅衬底
公开(公告)号：WO2007147670A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/EP2007/054172
申请日：2007-04-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , LAERMER, Franz , KRONMUELLER, Silvia , FARBER, Paul , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , REICHENBACH, Ralf , SCHELLING, Christoph , FEYH, Ando
发明人： BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , LAERMER, Franz , KRONMUELLER, Silvia , FARBER, Paul , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , REICHENBACH, Ralf , SCHELLING, Christoph , FEYH, Ando
IPC分类号： H01L21/20
CPC分类号： H01L21/02008 , H01L21/02381 , H01L21/02529 , H01L21/02573 , H01L21/02601 , H01L21/02612 , H01L21/02656 , H01L21/02658 , H01L21/02667 , H01L33/346
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Siliziumsubstrats (1), umfassend die Schritte Bereitstellen eines Siliziumsubstrats mit einer im Wesentlichen ebenen Siliziumoberfläche, Herstellen einer porösen Siliziumoberfläche mit einer Vielzahl von Poren (2), insbesondere mit Makroporen und/oder Mesoporen und/oder Nanoporen, Aufbringen eines in das Silizium einzubringenden Füllmaterials, welches einen Durchmesser aufweist, der kleiner als ein Durchmesser der Poren (2) ist, Einbringen des Füllmaterials (3) in die Poren (2), gegebenenfalls Entfernen von überflüssigem Füllmaterial (3) von der Siliziumoberfläche, und Tempern des mit dem in die Poren (2) eingefüllten Füllmaterials (3) versehenen Siliziumsubstrats (1) bei einer Temperatur zwischen ca. 1000°C bis ca. 1400°C, um die erzeugten Poren (2) wieder zu schließen und das Füllmaterial (3) einzuschließen.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于制造的硅衬底（1），包括：提供具有基本上是平面的硅表面的硅衬底的步骤，准备具有多个孔（2）的多孔硅表面，特别是与大孔和/或孔，和/或纳米孔，施加到被引入到硅填料，其直径比直径的孔（2）的小，填充材料引入（3）进入所述孔（2），任选地除去从过量的填料（3）的硅表面，以及退火填充到孔中（2）（1）提供（3）硅衬底在温度为约1000℃至约1400℃的填充材料以关闭所创建的孔（2）再次，和括填充材料（3）。

2. 发明申请

WO2007107461A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDE HALBLEITERSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：一种用于生产半导体结构和适当的半导体结构
公开(公告)号：WO2007107461A1
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：PCT/EP2007/052227
申请日：2007-03-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , LAERMER, Franz , KRONMUELLER, Silvia , FARBER, Paul , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , REICHENBACH, Ralf , SCHELLING, Christoph , FEYH, Ando
发明人： BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , LAERMER, Franz , KRONMUELLER, Silvia , FARBER, Paul , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , REICHENBACH, Ralf , SCHELLING, Christoph , FEYH, Ando
IPC分类号： H01L21/225
CPC分类号： H01L21/228 , H01L21/02378 , H01L21/02381 , H01L21/02532 , H01L21/02658 , H01L21/02667 , H01L21/223 , H01L21/225 , H01L21/324
摘要： Die Erfindung schafft ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur mit den Schritten: Bereitstellen eines kristallinen Halbleitersubstrats (1); Vorsehen eines porösen Bereichs (10) angrenzend an einer Oberfläche (OF) des Halbleitersubstrats (1); Einbringen von einem Dotierstoff (12) in den porösen Bereich (10) von der Oberfläche (OF) aus; und thermisches Rekristallisieren des porösen Bereich (10) in einen kristallinen Dotierungsbereich (10') des Halbleitersubstrats (1), dessen Dotierungsart und/oder Dotierungskonzentration und/oder Dotierungsverteilung von derjenigen bzw. denjenigen des Halbleitersubstrat (1) abweicht. Die Erfindung schafft ebenfalls eine entsprechende Halbleiterstruktur.
摘要翻译：本发明提供了一种生产半导体结构，包括以下步骤的方法：提供一结晶半导体基板（1）; 所述半导体衬底的（OF）（1）提供多孔区（10）相邻的一个表面上; 从表面（OF）的引入掺杂剂（12）插入多孔区（10）; 偏离和所述半导体基板的在结晶杂质区（10“）的热重结晶多孔区（10）（1）中，从那个或那些半导体衬底的掺杂类型和/或掺杂浓度和/或掺杂分布（1）。本发明还提供了相应的半导体结构。

3. 发明申请

WO2006114347A1 MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR SOWIE EIN ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械压力传感器和相应的方法
公开(公告)号：WO2006114347A1
公开(公告)日：2006-11-02
申请号：PCT/EP2006/060351
申请日：2006-03-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard
发明人： BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard
IPC分类号： G01L1/18 , G01L9/00
CPC分类号： G01L1/18 , G01L9/0052
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanischer Druck-/Kraftwandler beschrieben, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung. Dabei ist zur Herstellung des Kraftwandlers vorgesehen, wenigstens einen Piezowiderstand in ein massives Halbleitersubstrat einzubringen. Dabei ist vorgesehen, dass das Halbleitersubstrat wenigstens im Bereich der Piezowiderstände und in der späteren Nutzung frei von Kavernen, Gräben oder sonstigen nachträglich eingebrachten Strukturen ist und somit eine hohe Stabilität gegenüber Verformungen aufweist.. Anschliessend wird im Bereich des Piezowiderstands ein Körper auf das Halbleitersubstrat aufgebracht. Durch eine Krafteinwirkung auf den Körper soll im folgenden durch den wenigstens einen Piezowiderstand ein elektrisches Signal erzeugt werden, welches die Stärke der Krafteinwirkung repräsentiert. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, die Kugel mittels einer speziellen Haftschicht fest mit dem Halbleitersubstrat zu verbinden. Durch eine derartige feste und starre Verbindung lässt sich besonders einfach eine hohe Genauigkeit des Druck-/Kraftwandlers erreichen.
摘要翻译：利用本发明，微机械压力/力换能器被描述，以及用于其生产的方法。它提供了一种用于制备力传感器的在体半导体衬底引入至少一个压电电阻。它提供的是，半导体衬底中的压敏电阻器的面积和在从空腔，凹槽或任何其它随后引入结构并因此具有高稳定性的抗变形包含游离以后的使用是至少..接着，体被施加到半导体基板中压敏电阻的区域，通过作用于一个电信号的主体上的力，以在由所述至少一个压敏电阻器，其代表的力的强度以下来生成。根据本发明，为了通过一个特殊的键合层与所述半导体衬底的积分手段的球连接。通过这样的固定的和刚性的连接的压力/力传感器的精度高，特别容易到达。

4. 发明申请

WO2006114346A1 MIKROMECHANISCHER DRUCK-/KRAFTSENSOR SOWIE EIN ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械压力/力传感器和相应的方法
公开(公告)号：WO2006114346A1
公开(公告)日：2006-11-02
申请号：PCT/EP2006/060349
申请日：2006-03-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard
发明人： BENZEL, Hubert , ILLING, Matthias , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G01L1/18
摘要： Der vorliegende Druck-/Kraftwandler bzw. dessen Herstellungsverfahren basiert auf einem mittels gängiger Verfahren der Oberflächenmikromechanik hergestelltem Drucksensor und umfasst eine Membran über einer (Vakuum-)Kaverne, beispielsweise mit einer Höhe von einigen Mikrometern. Da die Kaverne geschlossen ist und nicht wie bei den mit der konventionellen KOH-Ätztechnik hergestellten Drucksensoren zur Membran abgewandten Seite der Kaverne offen ist, liegt für die Membran ein mechanischer Anschlag auf dem Substrat vor. Dadurch ergibt sich bei der Anwendung als Kraftsensor ein deutlich verbesserter Überlastschutz. Darüber hinaus ermöglicht die Ausgestaltung der Kaverne die Durchbiegung auf wenige Mikrometer zu begrenzen, so dass auch im Überlastfall die Dichtheit der Kaverne nicht beeinträchtigt wird, da bei einer entsprechend gestalteten Membransteifigkeit keine Spalte in der Membran entstehen kann.
摘要翻译：该压力/力传感器及其制造方法是基于由表面微加工和压力传感器的常规方法生产包括：在（真空）洞穴的隔膜，例如具有几微米的高度。由于空腔是封闭和腔侧不背离与常规KOH蚀刻技术压力传感器的准备隔膜是开放的，是用于隔膜，之前在所述衬底上的机械止动。这产生在应用程序作为一个力传感器基本上改进的过载保护的结果。另外，该腔室的构造允许偏转限制为几微米，因此，洞穴的密封性不即使在过载的情况下，受损的，因为可以在一个适当设计的膜刚度在膜没有间隙。

5. 发明申请

WO2007071515A1 MIKROMECHANISCHER KAPAZITIVER DRUCKWANDLER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译： MICRO机械电容式压力转换器和方法
公开(公告)号：WO2007071515A1
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：PCT/EP2006/068758
申请日：2006-11-22
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , SCHELLING, Christoph , BRASAS, Joerg
发明人： BENZEL, Hubert , ARMBRUSTER, Simon , LAMMEL, Gerhard , SCHELLING, Christoph , BRASAS, Joerg
IPC分类号： G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0073
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen kapazitiven Druckwandlers bzw. ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikromechanisches Bauelement beschrieben. Zunächst wird dabei eine erste Elektrode in einem dotierten Halbleitersubstrat erzeugt. In einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Membran mit einer zweiten Elektrode an der Oberfläche des Halbleitersubstrats erzeugt. Weiterhin ist vorgesehen, dass eine erste Schicht, die vorzugsweise aus dielektrischem Material besteht, auf die Membran und das Halbleitersubstrat aufgebracht wird. Mittels dieser ersten Schicht werden die Membran und das Halbleitersubstrat des fertigen mikromechanischen kapazitiven Druckwandlers direkt oder indirekt miteinander mechanisch verbunden. Weiterhin wird zwischen der ersten und der zweiten Elektrode eine vergrabene Kaverne in dem Halbleitersubstrat erzeugt. Mit einem nachfolgenden Ätzschritt durch Öffnungen in der ersten Schicht wird abschließend die Membran aus dem Halbleitersubstrat herausgelöst, wobei die mechanische Verbindung von der Membran zum Halbleitersubstrat mittels der ersten Schicht erfolgt. Diese mechanische Verbindung erlaubt der Membran bzw. der zweiten Elektrode eine bewegliche Aufhängung oberhalb der ersten Elektrode.
摘要翻译：与本发明的用于制造微机械电容式压力传感器或者用此方法微机械部件制造的产品的方法进行说明。首先，虽然形成在掺杂的半导体衬底中的第一电极。在进一步的处理步骤中，半导体衬底的表面上产生具有第二电极的膜。它进一步提供的是一个第一层，其优选地由介电材料被施加到所述隔膜和所述半导体衬底。通过该第一层，所述隔膜和所述成品微机械电容式压力传感器直接或间接地连接到彼此机械的所述半导体衬底的装置。此外，形成在第一和第二电极之间的半导体衬底的掩埋空腔。通过在所述第一层中的开口的后续蚀刻步骤中，将膜最终从半导体基底上除去，膜的机械连接通过所述第一层进行对半导体衬底。这种机械连接允许所述隔膜和所述第二电极是所述第一电极的上方的可动悬浮液。

6. 发明申请

WO2004028957A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械结构和方法
公开(公告)号：WO2004028957A1
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/DE2003/000703
申请日：2003-03-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LAMMEL, Gerhard , ARMBRUSTER, Simon , SCHAEFER, Frank , BENZEL, Hubert
发明人： LAMMEL, Gerhard , ARMBRUSTER, Simon , SCHAEFER, Frank , BENZEL, Hubert
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81C2201/0115
摘要： Es wird ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei ein Hohlraum (10) und ein Bereich porösen Siliziums (11) vorgesehen ist, wobei der Bereich porösen Siliziums (11) zur Absenkung des Druckes in dem Hohlraum (10) vorgesehen ist.
摘要翻译：公开了一种微机械部件和用于制造微机械部件的方法，其中提供一个腔（10）和多孔硅（11）的区域中，其中，用于在所述腔的压力降低多孔硅（11）的区域（10）提供。

7. 发明申请

WO2014066768A2 COMBINED PRESSURE AND HUMIDITY SENSOR 审中-公开
标题翻译：组合式压力和湿度传感器
公开(公告)号：WO2014066768A2
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：PCT/US2013/066825
申请日：2013-10-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LAMMEL, Gerhard , WAFFENSCHMIDT, Sybille , FEYH, Ando , O'BRIEN, Gary , GRAHAM, Andrew
发明人： LAMMEL, Gerhard , WAFFENSCHMIDT, Sybille , FEYH, Ando , O'BRIEN, Gary , GRAHAM, Andrew
IPC分类号： G01L19/00
CPC分类号： G01N27/041 , G01D3/0365 , G01L19/0038 , G01L19/0092 , G01L19/141 , G01L19/143 , G01L19/147 , G01N27/223 , H01L2224/16225 , H01L2224/32145 , H01L2224/48091 , H01L2224/73253 , H01L2224/73265 , H01L2924/15174 , H01L2924/00014
摘要： A sensor device package includes a pressure sensor and a humidity sensor mounted on the same substrate and in the same housing with light protection for the pressure sensor a media opening for gas exchange for the humidity sensor. Light protection and rapid response times are provided through strategic positioning of the media opening, strategic arrangement of the pressure sensor, humidity sensor, and the media opening, and/or the use of opaque materials.
摘要翻译：一种传感器装置包括一个压力传感器和一个湿度传感器，该传感器和湿度传感器安装在相同的基板上，同时在相同的外壳中，具有用于压力传感器的光保护，用于湿度传感器的气体交换通过介质打开的策略性定位，压力传感器的策略布置，湿度传感器和介质打开，和/或使用不透明材料来提供光保护和快速响应时间。

8. 发明申请

WO2006081888A2 MIKROMECHANISCHES SENSORELEMENT ZUR MESSUNG EINER BESCHLEUNIGUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械传感器元件FOR MEASURING MAKING的加速度和方法
公开(公告)号：WO2006081888A2
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：PCT/EP2005/056525
申请日：2005-12-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , SCHAEFER, Frank , LAMMEL, Gerhard
发明人： BENZEL, Hubert , SCHAEFER, Frank , LAMMEL, Gerhard
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00
CPC分类号： B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensorelement (4) zur Messung einer Beschleunigung und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensorelementes, wobei das Sensorelement (4) mindestens aufweist: ein Substrat (5), eine auf dem Substrat(5) ausgebildete Membran (10), unterhalb der eine Kaverne (12) ausgebildet ist, eine in der Membran (10) ausgebildete Öffnung (25), die sich bis zu der Kaverne (12) erstreckt, eine auf oder in der Membran (10) ausgebildete Beschleunigungsmasse, vorzugsweise ein Lötbump (22), und einen in der Membran (10) ausgebildeten Piezowiderstand (14) zur Messung mindestens einer Auslenkung der Membran (10). Auf dem Substrat kann weiterhin ein Drucksensor mit entsprechender Membran, Kaverne und Piezowiderstand ausgebildet werden, so dass ein kombinierter Beschleunigungs- und Drucksensor, vorzugsweise auch eine Auswerteschaltung, kostengünstig auf einem Chip ausgebildet werden kann, der nachfolgend in Flip-Chip-Technik auf einem Montagesubstrat befestigt werden kann.
摘要翻译：
本发明涉及一种微机械传感器元件（4），用于测量的加速度，以及用于制造这种传感器元件的方法，所述传感器元件（4）至少包括：一个基板（5），一个（在基板上 5）形成在膜（10）形成下方这就形成了（在膜10）＆Ouml的空腔（12）;开口（25），其延伸到所述空腔（12），一个上或在膜（10）训练加速度质量，优选为L＆ouml; tbump（22），和一个形成在所述膜（10）的压电电阻器（14），以测量至少在隔膜（10）的偏转。在基板上，一个压力传感器可以进一步与合适的膜腔和压电电阻形成，使得组合的加速度和压力传感器，并且优选地还评估电路，成本导航可使用便宜的瑞士的芯片，其上随后向倒装芯片技术可以连接到安装基板上。

9. 发明申请

WO2012126693A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM MESSEN VON MAGNETFELDERN 审中-公开
标题翻译：设备和方法测量磁性FIELDS
公开(公告)号：WO2012126693A1
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：PCT/EP2012/053037
申请日：2012-02-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHATZ, Frank , FARBER, Paul , WEISS, Stefan , LAMMEL, Gerhard , BENNINI, Fouad
发明人： SCHATZ, Frank , FARBER, Paul , WEISS, Stefan , LAMMEL, Gerhard , BENNINI, Fouad
IPC分类号： G01R33/05
CPC分类号： G01R33/02 , G01R15/148 , G01R33/04 , G01R33/05 , G01R33/18
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen eines Magnetfelds mit einem ummagnetisierbares Kernmaterial aufweisenden Kern (1) und einer Erregerspule zum Ummagnetisieren des Kernmaterials, wobei das ummagnetisierbare Kernmaterial als eine Schicht oder als mehrere zueinander beabstanded angeordnete Schichten (12, 14, 16) ausgebildet ist und der Kern (10) eine maximale Gesamtausdehnung G mit 2,5 mm ≥ G ≥ 0,2 mm aufweist, ein Verhältnis von Länge zu Breite aufweist, das größer oder gleich dem Wert zwanzig ist und eine Dicke D mit 2 μm ≥ D ≥ 0,2 μm aufweist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Verfahren zum Messen eines Magnetfelds.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于测量磁场与ummagnetisierbares芯材料，其包含芯部（1）和芯材，其中，所述ummagnetisierbare芯材料被形成为层或作为多个相互的磁化反转的励磁线圈分开一段距离设置的层（12，14，16）和所述芯（10）具有最大的总延伸=2.5毫米sGG = 0.2mm时，具有长度的长宽比大于或等于该值20，并用2微米的厚度D = D = 0 具有2微米。本发明还涉及一种用于测量磁场的相应方法。

10. 发明申请

WO2011023495A1 MAGNETFELDSENSOR 审中-公开
标题翻译：磁传感器
公开(公告)号：WO2011023495A1
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：PCT/EP2010/061277
申请日：2010-08-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LAMMEL, Gerhard , WEISS, Stefan
发明人： LAMMEL, Gerhard , WEISS, Stefan
IPC分类号： G01R33/00
CPC分类号： G01R33/0035
摘要： Ein Magnetfeldsensor zum Messen eines Magnetfeldes an einem Sensorort, weist auf: eine Leiterplatte aus elektrisch isolierendem Material; ein Magnetfeldsensorelement, das auf der Leiterplatte angeordnet und über elektrische Kontakte (3, 5) mit auf der Leiterplatte vorgesehenen ersten Leiterbahnen verbunden ist; und mindestens eine zweite Leiterbahn zum Erzeugen eines Prüfmagnetfelds, die auf der Leiterplatte vorgesehen ist und bei Anlegen eines Kalibrierstroms am Sensorort ein vorbestimmtes Prüfmagnetfeld erzeugt.
摘要翻译：用于在传感器位置测量磁场的磁场传感器，包括：由电绝缘材料制成的电路板; 其被布置在所述电路板上并电接触的磁场传感器元件（3,5）连接到设置在第一导体轨迹的电路板; 和用于生成Prüfmagnetfelds，其被提供在所述印刷电路板，并生成预定的测试时在传感器位置处应用校准电流的磁性的至少一个第二导体。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式