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    • 6. 发明申请
    • FELDEFFEKTTRANSISTOR MIT HETEROSCHICHTSTRUKTUR SOWIE ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN
    • 场效应晶体管,异质结构和相关方法
    • WO2005064686A1
    • 2005-07-14
    • PCT/EP2004/053132
    • 2004-11-26
    • INFINEON TECHNOLOGIES AGSCHRÜFER, Klaus
    • SCHRÜFER, Klaus
    • H01L29/786
    • H01L29/802H01L29/78684H01L29/78687Y10S438/933Y10S438/936
    • Die Erfindung betrifft einen Feldeffekttransistor mit Heteroschichtstruktur, wobei auf einem Trägermaterial, das als oberste Schicht eine entspannte monokristalline Halbleiterschicht (3) aus einem ersten Halbleitermaterial (Si) eine verspannte monokristalline Halbleiterschicht (4) ausgebildet wird, die eine Halbleiterlegierung (Ge x Si 1-x ) aufweist, wobei ein Anteil x eines zweiten Halbleitermaterials frei einstellbar ist. Auf der verspannten Halbleiterschicht (4) ist ferner eine Gate-Isolationsschicht (5) und eine Gate-Schicht (6) ausgebildet, wobei zum Festlegen eines undotierten Kanalgebiets (K) seitlich von der Gate-Schicht zumindest in der verspannten Halbleiterschicht (4) Drain-/Source-Gebiete (D, S) ausgebildet sind. Durch die freie Einstellbarkeit des Ge-Anteils x kann eine Einsatzpannung beliebig eingestellt werden, wodurch sich moderne Logik-Halbleiterbausteine realisieren lassen.
    • 本发明涉及一种场效应晶体管具有异质结构,其在载体材料,其作为顶层松弛单晶半导体层的第一半导体材料(Si)的具有应变单晶半导体层(4),其具有半导体合金(热克斯的Si1-x)的(3),其包括形成 其中,所述第二半导体材料的一小部分,x是可以自由调节。 在应变半导体层(4)还包括栅极绝缘层(5)和栅层(6),其特征在于,以在所述栅极层的至少在该应变半导体层的一侧定义一个未掺杂的沟道区域(K)(4)排水 形成/源极区(D,S) - 。 由于在Ge比例x的自由调节性是Einsatzpannung可以任意地设定,从而导致在现代逻辑半导体器件可被实现。