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    • 6. 发明申请
    • ガス原子内包フラーレンの製造装置及び製造方法並びにガス原子内包フラーレン
    • 用于生产含有富勒烯的气体的方法和装置,以及含有富勒烯的气体
    • WO2004089822A1
    • 2004-10-21
    • PCT/JP2004/005012
    • 2004-04-07
    • 株式会社イデアルスター畠山 力三平田 孝道笠間 泰彦表 研次
    • 畠山 力三平田 孝道笠間 泰彦表 研次
    • C01B31/02
    • B82Y30/00B82Y40/00C01B32/15C01B32/152H05H1/46H05H2001/4652H05H2001/4697
    •  より収率性よくガス内包フラーレンを製造することが可能な内包フラーレンの製造方法及び製造装置を提供すること。 内包対象原子を含むガス630を内部に導入するためのガス導入口650を有してプラズマを発生するためのプラズマ発生室611と、前記プラズマ発生室611と連通してプラズマ流660を形成し該プラズマ流660中へフラーレン651を導入できるようにした真空容器610とを有し、該真空容器610内のプラズマ発生室611側にプラズマ流中の電子のエネルギーを制御するための手段(エネルギー制御手段)604を設けると共に、下流側に内包対象原子イオンの速度を調整することによりフラーレンイオンと結合させて内包フラーレンを形成する電位体609を設けたことを特徴とする。
    • 公开了能够以更高的产率生产含气体的富勒烯的方法和装置。 该装置的特征在于包括用于产生等离子体的等离子体产生室(611),该室具有供应端口(650),用于将包含在富勒烯中的物体原子的气体(630)供应到室中,以及真空 与等离子体产生室(611)连通的容器(610),用于形成引入富勒烯(651)的等离子体流(660) 通过进一步包括用于控制等离子体流中的电子能量的装置(能量控制装置)(604),该装置设置在真空容器(610)中的等离子体产生室(611)附近的位置; 并且还包括通过调节所述物体原子离子的流速使得所述物体原子离子与富勒烯离子结合而在下游形成含气体富勒烯的电位体(609)。
    • 10. 发明申请
    • イオン注入方法、及び、イオン注入装置
    • 离子植入系统和离子植入系统
    • WO2005066385A1
    • 2005-07-21
    • PCT/JP2005/000072
    • 2005-01-06
    • 株式会社イデアルスター笠間 泰彦表 研次横尾 邦義
    • 笠間 泰彦表 研次横尾 邦義
    • C23C14/48
    • B82Y10/00B82Y30/00B82Y40/00C01B32/15C01B32/152C23C14/0605C23C14/48H01J37/32412H01L51/0046H01M8/1016H01M2300/0091Y02E10/549Y02P70/521Y02P70/56
    •  内包原子イオンに加速電極を用いて加速エネルギーを与え、堆積基板上に予め形成しておいた空のフラーレン膜に内包原子を注入する内包フラーレンの製造方法では、イオンビームを構成する荷電粒子が同一極性のイオンである内包原子イオンのみであるので、荷電粒子間で斥力が働き、特に、低エネルギーのイオン注入においてイオンビームが発散するため、フラーレン膜に高密度のイオンを注入することが困難で、内包フラーレンの収率が低いという問題があった。  内包原子イオンからなる荷電粒子及び該内包原子イオンと反対極性の荷電粒子とを含むプラズマを、磁場発生手段により発生させた均一磁場により、堆積基板上の空のフラーレン膜まで輸送し、該堆積基板に印加したバイアス電圧により内包原子に加速エネルギーを与え、該フラーレン膜に内包原子を注入することにした。プラズマを構成する荷電粒子間に引力が働きプラズマが発散しないので、低エネルギーのイオン注入においても、高密度のイオン注入が可能であり、内包フラーレンの収率を向上できる。
    • 在内面富勒烯制造方法中,通过使用加速电极对原子离子加速能量,将原子注入到预先在积聚基板上形成的空的富勒烯膜中。 该常规方法存在的问题是,由于构成离子束的带电粒子只是具有相同极性的原子离子,因此排斥力在带电粒子之间起作用,特别是在注入低能量离子时,离子束扩散。 因此,难以将高密度离子注入到富勒烯膜中,内面富勒烯的产率低。 包含要包含的原子离子的带电粒子和具有与要包含的原子离子相反极性的带电粒子的等离子体通过由磁场产生装置产生的均匀的磁场而被携带到积聚基板上的空的富勒烯。 通过施加到积聚基板的偏置电压将加速能量施加到要被包含的原子,并将原子注入到富勒烯膜中。 由于吸引力在构成等离子体的带电粒子与等离子体之间发挥功能,所以不会扩散,即使在注入低能量离子的情况下也能够注入高密度的离子,从而提高了内嵌式富勒烯的产率。