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    • 6. 发明申请
    • 不揮発性記憶素子
    • 非易失性存储元件
    • WO2010064410A1
    • 2010-06-10
    • PCT/JP2009/006515
    • 2009-12-01
    • パナソニック株式会社神澤好彦三谷覚魏志強高木剛片山幸治
    • 神澤好彦三谷覚魏志強高木剛片山幸治
    • H01L27/10H01L45/00H01L49/00
    • H01L27/101H01L45/08H01L45/1233H01L45/146H01L45/1625
    •  本発明の不揮発性記憶素子は、第1電極(103)と、第2電極(109)と、第1電極と第2電極との間に配設され、第1電極と第2電極との間に印加される電気的信号に基づいて可逆的に抵抗値が変化する抵抗変化層(106)と、第1電極と第2電極との少なくとも一方は白金を含む白金含有層(107)を備え、抵抗変化層は少なくとも、白金含有層と物理的に接触しない第1の酸素不足型遷移金属酸化物層(104)と、第1の酸素不足型遷移金属酸化物層と白金含有層との間に配設され白金含有層と物理的に接触する第2の酸素不足型遷移金属酸化物層(105)とを備え、第1の酸素不足型遷移金属酸化物層に含まれる酸素不足型遷移金属酸化物をMO x 、第2の酸素不足型遷移金属酸化物層に含まれる酸素不足型遷移金属酸化物をMO y と表したとき、x<yを満たし、白金含有層は膜厚が1nm以上23nm以下であって抵抗変化層と物理的に接触している。
    • 公开了一种设置有第一电极(103),第二电极(109)和可变电阻层(106)的非易失性存储元件,可变电阻层(106)被放置在第一电极和第二电极之间并且具有可逆的变化 施加在第一电极和第二电极之间的电信号。 第一电极和/或第二电极设置有含有铂的含铂层(107)。 可变电阻层设置有至少一个不与含铂层物理接触的第一贫氧过渡金属氧化物层(104)和与第二贫氧过渡金属氧化物层(105)物理接触的第二贫氧过渡金属氧化物层(104) 并且位于第一贫氧过渡金属氧化物层和含铂层之间。 当第一贫氧过渡金属氧化物层中含有的贫氧过渡金属氧化物以MOx表示,并且第二贫氧过渡金属氧化物层中所含的贫氧过渡金属氧化物以MOy表示时, y,并且含铂层具有至少1nm且不大于23nm的膜厚度,并且与可变电阻层物理接触。
    • 8. 发明申请
    • 抵抗変化素子の駆動方法、初期処理方法、及び不揮発性記憶装置
    • 用于驱动电阻变化元件,初始处理方法和非易失性存储器件的方法
    • WO2010038442A1
    • 2010-04-08
    • PCT/JP2009/005017
    • 2009-09-30
    • パナソニック株式会社村岡俊作高木剛三谷覚片山幸治
    • 村岡俊作高木剛三谷覚片山幸治
    • G11C13/00H01L27/10H01L45/00H01L49/00
    • G11C13/0007G11C13/0033G11C13/0064G11C13/0069G11C2013/0073G11C2013/0083G11C2013/009G11C2213/31G11C2213/32G11C2213/34
    •  安定した動作が可能な抵抗変化素子の駆動方法及びその方法を実施する不揮発性記憶装置を提供する。第1の極性の書き込み電圧パルスを抵抗変化層(3)に与えて、抵抗変化層(3)の抵抗状態を高から低へ変化させる書き込み過程と、この第1の極性とは異なる第2の極性の消去電圧パルスを抵抗変化層(3)に与えて、抵抗変化層(3)の抵抗状態を低から高へ変化させる消去過程とを有し、第1回目から第N回目(Nは1以上)までの書き込み電圧パルスの電圧値をVw1とし、第(N+1)回目以降の書き込み電圧パルスの電圧値をVw2とした場合に|Vw1|>|Vw2|を満たし、且つ、第1回目から第M回目(Mは1以上)までの消去電圧パルスの電圧値をVe1とし、第(M+1)回目以降の消去電圧パルスの電圧値をVe2とした場合に|Ve1|>|Ve2|を満たしており、第M回目の消去過程の次に第(N+1)回目の前記書き込み過程が続く。
    • 提供一种用于驱动能够稳定操作的电阻变化元件的方法和实现该方法的非易失性存储器件。 该方法包括通过向电阻变化层(3)施加第一极性的写入电压脉冲来将电阻变化层(3)的电阻状态从高电阻状态改变为低电阻状态的写入步骤, 以及擦除步骤,通过将不同于第一极性的第二极性的擦除电压脉冲施加到电阻变化层,将电阻变化层(3)的电阻状态从低电阻状态改变为高电阻状态 3),其中| Vw1 |> | Vw2 | 满足Vw1是第一至第N(N是一个或多个)写入电压脉冲的电压值,Vw2是第(N + 1)个和后续写入电压脉冲的电压值| Ve1 | > | Ve2的| 满足,其中Ve1是第一至第M的电压值(M是一个或多个)擦除电压脉冲,Ve2是第(M + 1)个和随后的擦除电压脉冲的电压值,并且 (N + 1)写入步骤在第M擦除步骤之后。
    • 9. 发明申请
    • 抵抗変化素子の駆動方法及び不揮発性記憶装置
    • 驱动电阻变化元件的方法和非易失性存储器件
    • WO2010109876A1
    • 2010-09-30
    • PCT/JP2010/002125
    • 2010-03-25
    • パナソニック株式会社村岡俊作高木剛三谷覚片山幸治
    • 村岡俊作高木剛三谷覚片山幸治
    • H01L27/10G11C13/00H01L45/00H01L49/00
    • G11C13/0007G11C13/0069G11C2013/0083G11C2213/72G11C2213/79H01L45/08H01L45/1233H01L45/146H01L45/1625
    •  第1の極性の書き込み電圧パルスを金属酸化物層(3)に与えて金属酸化物層(3)の抵抗状態を高から低へ変化させて書き込み状態にする書き込み過程と、第1の極性とは異なる第2の極性の消去電圧パルスを金属酸化物層(3)に与えて金属酸化物層(3)の抵抗状態を低から高へ変化させて消去状態にする消去過程と、第1回目の書き込み過程の前に、第2の極性の初期電圧パルスを金属酸化物層(3)に与えて金属酸化物3の初期状態の抵抗値を変化させる初期過程とを有し、金属酸化物層(3)の初期状態の抵抗値をR0、書き込み状態の抵抗値をRL、消去状態の抵抗値をRHとし、初期電圧パルスの電圧値をV0、書き込み電圧の電圧値をVw、消去電圧パルスの電圧値をVeとした場合に、R0>RH>RL、且つ|V0|>|Ve|≧|Vw|を満たす。
    • 一种驱动电阻变化元件的方法,包括:将金属氧化物层(3)施加第一极性的写入电压脉冲以将金属氧化物层(3)的电阻状态从高变为低的写入处理 以便设置写入状态; 将与第一极性不同的第二极性的擦除电压脉冲施加到金属氧化物层(3)的擦除处理,以将金属氧化物层(3)的电阻状态从低位改变为高,以将 擦除状态; 以及在第一次执行写入处理之前将金属氧化物层(3)施加第二极性的初始电压脉冲的初始过程,以改变金属氧化物(3)的初始状态的电阻值 ); 其中,在金属氧化物层(3)的初始状态的电阻值为R0的情况下,写入状态的电阻值为RL,擦除状态的电阻值为RH,初始电压脉冲的电压值 为V0,写入电压的电压值为Vw,擦除电压脉冲的电压值为Ve,R0> RH> RL,| V0 |> | Ve | = | Vw | 满意
    • 10. 发明申请
    • 抵抗変化型不揮発性記憶装置
    • 电阻变化非易失性存储器件
    • WO2009141857A1
    • 2009-11-26
    • PCT/JP2008/003769
    • 2008-12-15
    • パナソニック株式会社島川一彦神澤好彦三谷覚村岡俊作
    • 島川一彦神澤好彦三谷覚村岡俊作
    • H01L27/10H01L45/00H01L49/00
    • H01L27/101G11C13/0007G11C2213/32G11C2213/79H01L27/2436H01L45/08H01L45/1233H01L45/1253H01L45/146H01L45/1625
    • メモリセルのトランジスタのサイズを最適化可能とした抵抗変化型不揮発性記憶装置を提供する。 下部電極(309a)と上部電極(309c)と両電極間に与えられる極性の異なる電気的信号に基づいて可逆的に変化する抵抗変化層(309b)とからなる抵抗変化素子(309)と、半導体基板(301)と2つのN型拡散層領域(302a、302b)とからなるトランジスタ(317)とを直列に接続してなるメモリセル(300)を備え、抵抗変化層(309b)は酸素不足型の遷移金属の酸化物を含み、下部電極(309a)と上部電極(309c)は、異なる元素からなる材料によって構成され、下部電極(309a)の標準電極電位V 1 と上部電極(309c)の標準電極電位V 2 と前記遷移金属の標準電極電位V t とがV t <V 2 かつV 1 <V 2 なる関係を満足し、下部電極(309a)とN型拡散層領域(302b)とが接続されている。
    • 提供一种能够优化存储单元的晶体管的尺寸的电阻变化非易失性存储器件。 电阻变化非易失性存储器件包括通过串联连接包括下电极(309a),上电极(309c)和电阻变化层(309b)的电阻变化元件(309)构成的存储单元(300) 根据施加在两个电极之间的不同极性的电信号,以及包括半导体衬底(301)和两个N型扩散层区域(302a,302b)的晶体管(317)而变化。 电阻变化层(309b)含有过渡金属的氧缺乏氧化物,下部电极(309a)和上部电极(309c)由不同的元素构成的材料形成,下部电极的标准电极电位V1a ),上电极(309c)的标准电极电位V2和过渡金属的标准电极电位Vt满足Vt2和V12的关系,下电极(309a)和N型扩散层区域(302b) )连接。