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1. 发明申请

WO2012045503A1 OPTISCHE ABSCHIRM-VORRICHTUNG ZUM TRENNEN VON OPTISCHEN PFADEN 审中-公开
标题翻译：光防护装置，其中用于分离光路
公开(公告)号：WO2012045503A1
公开(公告)日：2012-04-12
申请号：PCT/EP2011/063620
申请日：2011-08-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SKULTETY-BETZ, Uwe , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SKULTETY-BETZ, Uwe , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01S17/08 , G01S7/481 , G01S7/483
CPC分类号： H01L27/14618 , G01B11/02 , G01J1/06 , G01S7/4813 , G01S7/4816 , G01S7/497 , G01S17/08 , H01L2224/16225
摘要： Es wird eine Sensoreinheit (33) zum Detektieren von Referenz- und Messstrahlung (7, 5) für ein Entfernungsmessgerät vorgestellt. Die Sensoreinheit (33) weist ein Sensorelement (3) und eine optische Abschirm-Vorrichtung (1) auf. Das Sensorelement (3) weist einen ersten Detektionsbereich (35) zum Detektieren von Messstrahlung (5) und einen zweiten Detektionsbereich (37) zum Detektieren von Referenzstrahlung (7) auf. Die optische Abschirm-Vorrichtung (1) ist in Bezug auf das Sensorelement (33) positioniert und fixiert und trennt den ersten und den zweiten Detektionsbereich (35, 37) optisch voneinander. Die optische Abschirm-Vorrichtung (1) weist ferner eine erste Ausnehmung (16) und eine zweite Ausnehmung (15) auf, die durchlässig für die optische Strahlung eines ersten Wellenlängenbereichs sind.
摘要翻译：有一个传感器单元（33），用于检测参考和测量辐射（7,5）提出了一个距离测量装置上。所述传感器单元（33）包括传感器元件（3）和光学屏蔽设备（1）。所述传感器元件（3）具有用于检测发射的辐射（5）和一个第二检测区域（37），用于检测基准放射线（7）的第一检测区域（35）。光屏蔽装置（1）被定位相对于所述传感器元件（33）和固定到和分开第一和彼此第二检测区域（35，37），其光学。所述光学屏蔽设备（1）还包括第一凹口（16）和第二凹部（15），它们是透明的，以第一波长范围的光辐射。

2. 发明申请

WO2007033851A1 INTERFEROMETRISCHE SCHICHTDICKENBESTIMMUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量厚度确定的
公开(公告)号：WO2007033851A1
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：PCT/EP2006/064954
申请日：2006-08-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BURGER, Kurt , BECK, Thomas , GROSSE, Stefan , SCHMIDTKE, Bernd , KALLMANN, Ulrich , JACKISCH, Sebastian , SPENNEMANN, Hartmut
发明人： BURGER, Kurt , BECK, Thomas , GROSSE, Stefan , SCHMIDTKE, Bernd , KALLMANN, Ulrich , JACKISCH, Sebastian , SPENNEMANN, Hartmut
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02
CPC分类号： G01B11/0675
摘要： Die Erfindung betrifft eine interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen von Schichtdicken von teiltransparenten Schichten auf Substraten, speziell von auf Kohlenstoff basierenden Verschleissschutzschichten, mit einer diese automatisch in ihrer Tiefenrichtung (Z) abtastenden Abtastvorrichtung, mittels derer eine Interferenzebene (IE) relativ zur Schichtstruktur verschiebbar ist, mit einem ein Weisslichtinterf erometer (WLI) und/oder ein wellenlängenscannendes Interf erometer (WLSI) aufweisenden Interf erometerteil (IT) . Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Auswerteverfahren.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量设备，用于在衬底上测量部分透明层的层厚度，尤其是基于碳的耐磨损，耐扫描与在其深度方向上自动地（Z）扫描装置，通过该干扰电平（IE）是相对于所述层结构可移位，以一个一个Weisslichtinterf erometer（WLI）和/或波长扫描INTERF erometer（WLSI）具有INTERF erometerteil（IT）。本发明还涉及一种相应的评价。

3. 发明申请

WO2005008173A1 OPTISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：光学测量装置
公开(公告)号：WO2005008173A1
公开(公告)日：2005-01-27
申请号：PCT/DE2004/001038
申请日：2004-05-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LINDNER, Michael , DRABAREK, Pawel , OFEN, Rolf , DUVOISIN, Marc-Henri , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： LINDNER, Michael , DRABAREK, Pawel , OFEN, Rolf , DUVOISIN, Marc-Henri , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02065 , G01B9/02003 , G01B9/02027 , G01B9/0209 , G01B2290/30 , G01B2290/45
摘要： Die erfindungsgemässe optische Messeinrichtung (1) ist mit mindestens einer optischen Ausgabeeinheit (11) zur Ausgabe mindestens eines optischen Ausgangssignals und mindestens einer optischen Empfangseinheit (71) zum Empfang eines optischen Messsignals, die zu einer Zuordnung des mindestens einen optischen Messsignals zu mindestens einem der optischen Ausgangssignale mittels eines optischen Multiplexers (31) ausgebildet ist, versehen. Der Multiplexer wird durch Faserkoppler oder durch Strahlteiler in Verbindung einem Gitter oder einem Linsenarray realisiert. Die Ausgabeeinheit enthält mehrere über Faser angekoppelte Interferometer (11) zur Messung der Reflexion eines Objekts, um z.B. dessen Oberflächenbeschaffenheit zu bestimmen.
摘要翻译：本发明的光学测量装置（1）具有至少一个视觉输出单元（11），用于接收光的测量信号输出至少一个光输出信号和至少一个光接收单元（71），从而导致所述至少一个光学测量信号的指派到光中的至少一个通过光学多路复用器（31）来形成输出信号被提供。多路复用器由光纤耦合器或分束器组合的网格，或透镜阵列来实现。输出单元包括多个通过光纤干涉仪（11），耦合用于测量物体的反射率，以例如以确定其表面纹理。

4. 发明申请

WO2004065897A2 INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置
公开(公告)号：WO2004065897A2
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/DE2004/000065
申请日：2004-01-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LINDNER, Michael , THOMINET, Vincent , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： LINDNER, Michael , THOMINET, Vincent , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02065 , G01B9/02057 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G02B26/06
摘要： Es wird eine interferometrische Messvorrichtung, insbesondere zur Formvermessung einer Oberfläche eines Objektes (O) vorgeschlagen. Diese weist eine kurzkohärente elektromagnetische Strahlung abgebende Strahlungsquelle (LQ), ein Bauelement, insbesondere einen Strahlteiler (ST), zum Bilden eines über einen Objektlichtweg (OL) zu dem Objekt (O) geleiteten Objektstrahls und eines über einen Referenzlichtweg (RL) zu einer Referenzebene (R) geleiteten Referenzstrahls, und ein Aufnahmeelement (BA), mit dem eine von dem Objekt (O) und der Referenzebene (R) zurückgeworfene und zur Interferenz gebrachte elektromagnetische Strahlung aufnehmbar ist, auf. Dabei ist ein adaptives optisches Element (AOE) vorgesehen, mit dessen Hilfe die Abbildung des Objektes (O) auf das Aufnahmeelement (BA) und/oder die Wellenfront des Referenzstrahls und/oder die optische Weglänge in dem Referenzlichtweg (RL) und/oder dem Objektlichtweg (OL) beeinflussbar ist.
摘要翻译：
有一个干涉测量装置，特别是对于Formver＆害羞;测量表面＆AUML;枝提出了一个对象（O）。这具有kurzkoh BEAR养老金发射电磁辐射的辐射源（LQ），组件，特别是一个分束器（ST），用于形成一个OVER物体的光路（OL）的对象（O）导致物体光束和一个在参考光路（RL）的基准平面（R）涉及Refe＆害羞; ENCE光束，和一个接收元件（BA），与所述对象（O）和用于导航使用ckgeworfene所述基准平面（R）中的一个，并提请干扰ELEC＆害羞; tromagnetic辐射是账款，上。在这种情况下，其中设置在所述对象（O）到所述接收构件的所述图像的自适应光学元件（AOE）由装置（BA）和/或参考光束和/或参考光的光路长度BEAR长度的波阵面（RL）和/ 或对象（OL）可能受到影响。

5. 发明申请

WO2011029646A1 PHOTONENDETEKTOR MIT PARALYSIERBAREM PHOTONEN-EMPFINDLICHEM ELEMENT, INSBESONDERE SPAD, SOWIE ENTFERNUNGSMESSGERÄT MIT SOLCHEM PHOTONENDETEKTOR 审中-公开
标题翻译：与PARALYSIERBAREM光子敏感的因素，特别是SPAD，和距离测量装置与这样的光子探测器光子探测器
公开(公告)号：WO2011029646A1
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：PCT/EP2010/060232
申请日：2010-07-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/497 , G01S17/10 , H01L31/107 , G01J1/44 , G01S7/489
CPC分类号： G01S7/4816 , G01J1/04 , G01J1/0403 , G01J1/0411 , G01J1/0418 , G01J1/0437 , G01J1/0448 , G01J1/22 , G01J1/42 , G01S7/489 , G01S7/497 , G01S17/10 , G02F2203/52
摘要： Es wird ein Photonendetektor (1) vorgeschlagen, der zusätzlich zu einem paralysierbaren Photonen-empfindlichen Element (5) ein Photonentransmissionselement (7) aufweist. Der Photonendetektor ist dabei dazu ausgelegt, eine durch das Photonentransmissionselement (7) transmittierte und auf das Photonenempfindliche Element (5) auftreffende Photonenintensität beispielsweise durch Ändern einer Absorptionseigenschaft oder einer Defokussierungseigenschaft des Photonentransmissionselements (7) zu variieren. Auf diese Weise kann das paralysierbare Photonen-empfindliche Element, das beispielsweise als SPAD (Single Photon Avalanche Diode) ausgebildet sein kann, stets nahe dem optimalen Arbeitsbereich und unterhalb eines Paralysierungsbereiches betrieben werden. Es wird ferner ein Entfernungsmessgerät mit einem solchen Photonendetektor beschrieben.
摘要翻译：还提出了具有除了paralysierbaren光子敏感元件的光子检测器（1）（5）是一个光子传输元件（7）。该光子检测器适于通过发射的光子传递元件（7）和所述光子敏感元件（5），以改变入射的光子强度，例如，通过改变吸收特性或Defokussierungseigenschaft光子传输元件，以提供（7）。以这种方式，paralysierbare光子敏感元件，例如，如SPAD（单光子雪崩二极管）可以可以形成，始终接近最佳工作范围并且低于Paralysierungsbereiches操作。它与这样的光子检测器的距离测量设备进一步描述的。

6. 发明申请

WO2009037036A1 DIODENLASER MIT EINER EINRICHTUNG ZUR STRAHLFORMUNG 审中-公开
标题翻译：与设备用于光束整形二极管
公开(公告)号：WO2009037036A1
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：PCT/EP2008/059608
申请日：2008-07-22
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HERDEN, Werner , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： HERDEN, Werner , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G02B6/42 , H01S5/40 , F02P23/04
CPC分类号： H01S5/4025 , F02P23/04 , G02B6/2552 , G02B6/3652 , G02B6/3696 , G02B6/421 , G02B6/425 , H01S5/005
摘要： Es werden ein Diodenlaser mit einer Strahlformungseinrichtung und ein Verfahren zur Herstellung derselben beschrieben. Der Diodenlaser (340) umfasst mindestens einen Diodenlaserbarren (31), wobei der Diodenlaserbarren (31) eine Vielzahl von Emittern (342) aufweist, wobei die Emitter (342) in Richtung ihrer Längsachse nebeneinander angeordnet sind. Der Diodenlaser umfasst eine dem Diodenlaserbarren (31) zugeordnete Strahlformungseinrichtung für den aus dem Diodenlaserbarren (31) austretenden Laserstrahl (24), wobei die Strahlformungseinrichtung eine Lichtleitereinrichtung (28) mit mehreren Fasern (68) ausweist in welche der Laserstrahl eingekoppelt wird. Die maximale Dicke (D) der Lichtleiterfasern (68) an ihrem dem Diodenlaserbarren (31) zugewandten Ende ist deutlich kleiner als deren Breite (B).
摘要翻译：有描述用光束整形装置和用于生产其的方法同样的，二极管激光器。二极管激光器（340）包括至少一个二极管激光器条（31），其中所述二极管激光器条（31）的多个发射器（342），其中，所述发射器（342）被布置在邻近其纵向轴线的方向上的。二极管激光器包括一个二极管激光条（31）与所述光束成形装置用于从所述激光二极管条（31）相关联的出射激光束（24），所述光束成形装置包括一个具有多个纤维（68）标识，其中所述激光束被耦合在光导（28）。面对的端光纤（68）在其一个二极管激光条（31）的最大厚度（D）比宽度（B）小得多。

7. 发明申请

WO2006015917A1 VERFAHREN ZUM VERMESSEN VON OBERFLÄCHEN MITTELS EINER INTERFEROMETRISCHEN ANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：方法测量面由干涉测量装置来
公开(公告)号：WO2006015917A1
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：PCT/EP2005/053142
申请日：2005-07-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Vermessen von Oberflächen mittels einer interferometrischen Anordnung, insbesondere Heterodyninterferometer, mit mindestens zwei unterschiedlichen Wellenlängen, bei dem Abstandsdaten aus Interferenzmustern gewonnen werden. Eine zuverlässige Bewertung der Abstandsdaten beispielsweise hinsichtlich einer Gut-Schlecht-Erkennung bzw. Ausreissererkennung wird dadurch erreicht, dass die Zuverlässigkeit der Abstandsdaten durch Bilden mindestens eines Entscheidungskriteriums überprüft wird, das aus Interferenzkontrasten bei mindestens zwei Wellenlängen hergeleitet wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于使用干涉装置，特别是外差测量表面的方法，具有至少两个不同的波长，可以在从干涉图案的距离数据来得到。的距离数据的可靠的评价，例如，在一个好 - 坏检测的术语或异常值的实现在于所述距离数据的可靠性是通过形成至少一个决策标准，这是从干扰衍生检查对比至少两种波长。

8. 发明申请

WO2012126659A1 MESSVORRICHTUNG UND MESSGERÄT ZUR MEHRDIMENSIONALEN VERMESSUNG EINES ZIELOBJEKTES 审中-公开
标题翻译：测量装置和测量装置对目标对象的多维测量
公开(公告)号：WO2012126659A1
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：PCT/EP2012/051719
申请日：2012-02-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , EISELE, Andreas , SCHMIDTKE, Bernd , KALLMANN, Ulrich
发明人： EISELE, Andreas , SCHMIDTKE, Bernd , KALLMANN, Ulrich
IPC分类号： G01S17/42 , G01S17/89 , G01S7/486
CPC分类号： G01C3/08 , G01S7/4863 , G01S17/42 , G01S17/89
摘要： Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10), insbesondere eine handgehaltene Messvorrichtung, zur mehrdimensionalen Vermessung eines Zielobjektes, wobei die Messung der Entfernung zu einzelnen Objektpunkten des Zielobjektes sequentiell erfolgt, insbesondere mittels eines phasen-messenden Systems erfolgt, die zumindest aufweist: eine Sendeeinrichtung (12) zur Aussendung optischer Messstrahlung (13) auf das Zielobjekt (15) hin; eine Empfangseinrichtung (14) mit einer Detektionsfläche (110) zur Detektion von von dem Zielobjekt (15) zurücklaufender optischer Messstrahlung (16); ein scannendes System, zur Umlenkung der optischen Messstrahlung, und eine Auswerteeinrichtung (36) zur Bestimmung von Entfernungsmesswerten. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Detektionsfläche (110) der Empfangseinrichtung eine Vielzahl von Pixeln (111) aufweist, wobei jedes Pixel (111) mindestens eine SPAD (101) aufweist und wobei jedes der Vielzahl von Pixeln (111) mit der Auswerteeinrichtung (36) verbunden ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Messgerät mit eine derartigen Messvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种测量装置（10），特别是用于目标对象的多维测量，其特征在于，所述目标对象的每个对象点的距离的测量通过一个相位测量系统来进行的顺序，尤其是手持式测量装置发生时，至少包括：发送装置（12 ）（用于发射光学测量光束13），以所述目标对象（15）向下; 具有用于检测运行从光学测量辐射（16）的目标物体（15）背面的检测表面（110），接收装置（14）; 用于偏转光学测量辐射的扫描系统，和评估装置（36），用于距离测量值的确定。根据本发明，提出的是，接收装置的检测面（110）包括多个像素（111），每个像素（111）具有至少一个SPAD（101），并且其中每一个所述多个像素（111）到所述评估装置的（36）连接。此外，本发明涉及一种具有这样的测量装置的仪表。

9. 发明申请

WO2012123152A1 MESSVORRICHTUNG ZUR MESSUNG EINER ENTFERNUNG ZWISCHEN DER MESSVORRICHTUNG UND EINEM ZIELOBJEKT MIT HILFE OPTISCHER MESSSTRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：测量器具，用于测量测量装置和目标对象之间的距离。通过光辐射测量法
公开(公告)号：WO2012123152A1
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：PCT/EP2012/051085
申请日：2012-01-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , EISELE, Andreas , SCHMIDTKE, Bernd , SCHNITZER, Reiner
发明人： EISELE, Andreas , SCHMIDTKE, Bernd , SCHNITZER, Reiner
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/486
CPC分类号： G01S7/481 , G01S7/4814 , G01S7/4816 , G01S7/4863 , G01S7/4914 , G01S7/497 , G01S17/08 , G01S17/36
摘要： Es wird eine Messvorrichtung (10) zur optischen Messung einer Entfernung zu einem Zielobjekt (15), insbesondere ein handgehaltenes Messgerät, Die Erfindung betrifft eine solche Messvorrichtung (10) mit einer Sendeeinrichtung (12) zur Aussendung optischer Messstrahlung (13) auf ein Zielobjekt (15) hin; einer Empfangseinrichtung (14) mit einer Detektionsfläche (110) zur Detektion von von dem Zielobjekt (15) zurücklaufender optischer Messstrahlung (16), wobei die Detektionsfläche (110) eine Vielzahl von Pixeln (111) aufweist, wobei jedes Pixel (111) zumindest ein lichtempfindliches Element (101) aufweist, sowie mit einer Referenzeinrichtung mit einer Detektionsfläche zur Detektion einer vorrichtungsinternen Referenzstrahlung. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Detektionsfläche (117) der Referenzeinrichtung eine Vielzahl von Pixeln (127) aufweist, wobei jedes Pixel (127) zumindest ein lichtempfindliches Element (107) aufweist
摘要翻译：它是用于光学测量到目标对象（15）的距离，特别是手持式测量仪表的测量装置（10），本发明涉及一种具有用于发射光学测量射束（13）的发送装置（12）这样的测量装置（10）（在目标物体上 15）下; 具有有一个用于从目标物体（15）检测的检测表面（110）的接收装置（14）的反向电流光学测量辐射（16），其中，所述探测表面（110）的多个像素（111），每个像素（111）的至少一个包括光敏元件（101）以及具有用于检测设备内部基准放射线的检测表面的基准装置。根据本发明，提出的是，参考装置的检测面（117）包括多个像素（127），每个像素（127）包括至少一个光敏元件（107）

10. 发明申请

WO2011042290A1 OPTISCHES ENTFERNUNGSMESSGERÄT MIT KALIBRIERUNGSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：具有校准装置光学式测距装置
公开(公告)号：WO2011042290A1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：PCT/EP2010/063774
申请日：2010-09-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SCHMIDTKE, Bernd
发明人： EISELE, Andreas , WOLST, Oliver , SCHMIDTKE, Bernd
IPC分类号： G01C15/00 , G01C25/00 , G01S17/36 , G01S17/32 , G01S7/497
CPC分类号： G01C15/002 , G01C25/00 , G01S7/497 , G01S17/32
摘要： Es wird eine Messvorrichtung (10) zur optischen Messung einer Entfernung zu einem Zielobjekt (15) beschrieben. Die Messvorrichtung weist eine Sendeeinrichtung (12) zur Aussendung periodisch modulierter optischer Messstrahlung (13) auf das Zielobjekt hin, eine Empfangseinrichtung (14) zur Detektion von von dem Zielobjekt (15) zurücklaufender optischer Messstrahlung (16) und eine Auswerteeinrichtung (36) zum Empfangen und Auswerten von Detektionssignalen der Empfangseinrichtung (14) auf. Außerdem weist die Messvorrichtung eine Kalibriereinrichtung (80) zum Kalibrieren der Messvorrichtung auf, wobei die Kalibriereinrichtung dazu ausgelegt ist, die Messvorrichtung basierend auf einer Detektion von unkorrelierter Strahlung, die mit der von der Sendeeinrichtung ausgesendeten modulierten Messstrahlung nicht korreliert, zu kalibrieren. Die unkorrelierte Strahlung kann hierbei in Form von Hintergrundstrahlung vorliegen. Alternativ kann unkorrelierte Messstrahlung von der Sendeeinrichtung ausgestrahlt und von der Empfangseinrichtung detektiert werden. Aufgrund der vorzugsweise fehlenden Modulation der zur Kalibrierung verwendeten Strahlung können Zeitdauern von Unter-Perioden, während derer bei der eigentlichen Entfernungsmessung Detektionssignale kumuliert werden, hinsichtlich ihrer Länge kalibriert werden. Auf diese Weise können systembedingte systematische Fehler bei der Entfernungsmessung reduziert werden.
摘要翻译：中描述了一种测量装置（10），用于光学测量到目标对象（15）的距离。该测量装置包括：用于从所述目标对象（15）的反向电流光学测量辐射（16）和分析装置（36）检测，用于接收发射周期调制的光学测量辐射（13）到目标对象进行的接收装置（14），一传送装置（12）和评估所述接收装置（14）的检测信号。此外，测量设备包括用于校准测量装置，其中所述校准装置适于校准基于检测不相关的辐射，不与由发送装置调制的测量辐射的发射相关联的测量装置的校准装置（80）。不相关的辐射可以在这种情况下是在背景辐射的形式。可替换地，不相关的测量辐射可以从发射机发射和由接收设备检测到。由于优选地用于校准的缺乏的辐射的调制可以在此期间，在实际的距离测量的检测信号被累积子周期期间被校准相对于它们的长度。通过这种方式，可以减少在距离测量系统相关的系统误差。

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