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    • 6. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SOI-FELDEFFEKTTRANSISTORS UND SOI-FELDEFFEKTTRANSISTOR
    • 制造方法SOI场效应晶体管和SOI场效应晶体管
    • WO2003081675A1
    • 2003-10-02
    • PCT/DE2003/000933
    • 2003-03-20
    • INFINEON TECHNOLOGIES AGGÖTTSCHE, RalfPACHA, ChristianSCHULZ, ThomasSTEINHÖGL, Werner
    • GÖTTSCHE, RalfPACHA, ChristianSCHULZ, ThomasSTEINHÖGL, Werner
    • H01L29/786
    • H01L29/785H01L21/28123H01L29/6656H01L29/66772H01L29/66795H01L29/78642H01L29/78648H01L29/78654
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines SOI-Feldeffekttransistors und einen SOI-Feldeffekttransistor. Bei dem Verfahren zum Herstellen eines SOI-Feldeffekttransistors mit vorgegebenen Transistoreigenschaften wird eine lateral begrenzte Schichtenfolge mit einer Gate-isolierenden Schicht und einem Gate-Bereich auf einem Substrat ausgebildet. Ferner wird auf zumindest einem Teil der Seitenwände der lateral begrenzten Schichtenfolge eine Abstandshalter-Schicht mit vorgegebener Dicke ausgebildet. Mittels Einbringens von Dotierstoff in zwei Oberflächen-Bereiche des Substrats, an welche die Abstandshalter-Schicht angrenzt, werden zwei Source-/Drain-Bereiche mit einem vorgegebenen Dotierstoffkonzentrations-Profil ausgebildet, wobei die Schichtenfolge und die Abstandshalter-Schicht derart eingerichtet sind, dass sie eine Abschattungsstruktur zum Vermeiden des Einbringens von Dotierstoff in einen Oberflächen-Bereich des Substrats zwischen den beiden Source-/Drain-Bereichen bilden. Mittels Einstellens der Dicke der Abstandshalter-Schicht und mittels Einstellens des Dotierstoffkonzentrations-Profils werden die Transistor-Eigenschaften des SOI-Feldeffekttransistors eingestellt.
    • 本发明涉及一种用于制造SOI场效应晶体管的方法,以及SOI场效应晶体管。 在用于制造具有晶体管的特性给定的一个侧向界定层序列用的栅极绝缘层和形成在基板上的栅极区域中的SOI场效应晶体管的方法。 此外,形成在侧向界定层序列,具有预定厚度的间隔层的侧壁的至少一部分。 将掺杂剂引入到衬底内,其中两个表面区域的手段,间隔层相邻的两个源极/漏极区与预定的掺杂物浓度分布,其中,层的顺序和间隔层被布置成使得它们形成 形成遮蔽结构以避免引入的掺杂剂的到两个源/漏区之间的衬底的表面区域。 通过设置间隔层和SOI场效应晶体管的晶体管特性的厚度可以通过调节掺杂物浓度分布进行调整。