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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM RASTERSONDENMIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHEN EINER MESSPROBE, MESSSYSTEM UND MESSSONDENSYSTEM
    • 方法GRID探针显微镜检查测量探头测量系统和探头系统的
    • WO2008138329A1
    • 2008-11-20
    • PCT/DE2008/000824
    • 2008-05-16
    • JPK INSTRUMENTS AGJAEHNKE, Torsten
    • JAEHNKE, Torsten
    • G01N13/10G12B21/02
    • G01Q70/06
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum rastersondenmikroskopischen Untersuchen einer Meßprobe. Bei dem Verfahren werden eine erste und eine zweite rastersondenmikroskopische Messung an der Messprobe mit einem Messsondensystem, bei dem eine Messsonde und eine andere Messsonde an einer gemeinsamen Messsondenaufnahme gebildet sind, ausgeführt, wobei während der ersten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in einer ersten Messstellung und die andere Messsonde in einer anderen Nicht-Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird, nach der ersten Messung mittels Verlagern relativ zur Messprobe die Messsonde aus der Messstellung in eine Nicht-Messstellung und die andere Messsonde aus der anderen Nicht-Messstellung in eine andere Messstellung gebracht werden und während der zweiten Messung relativ zu der Messprobe die Messsonde in der Nicht-Messstellung und die andere Messsonde in der anderen Messstellung gehalten werden und die Messprobe mit der anderen Messsonde rastersondenmikroskopisch untersucht wird. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Messsondensystem für ein Rastersondenmikroskop.
    • 本发明涉及一种用于测量样品的扫描探针显微镜检查的方法和装置。 在该方法中,第一和在其上形成上执行与探针系统测试样品的第二扫描探针显微镜测量的测量探头和另一探针到公共探针容器,其中第一测量相对于测量样品,在第一位置测量所述测量探针的过程中 而另一测量探头在不同的非测量位置被保持和测量样品是通过扫描探针显微镜用探针研究,所述第一测量装置相对于测量样品置换后,从其他非在非测量位置的测量位置,而另一测量探头的测量探头 测量位置移动到一个不同的测量位置和非测量位置的测量探针和在其它测量位置的另一个探针是相对于第二测量,并与其他探头的测定试样期间保持的测定试样是通过扫描探针显微镜研究。 本发明还涉及一种用于扫描探针显微镜的探针系统。
    • 4. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM UNTERSUCHEN EINES MESSOBJEKTES UND VORRICHTUNG
    • 方法进行调查测量物件与装置
    • WO2007041976A1
    • 2007-04-19
    • PCT/DE2006/001131
    • 2006-06-30
    • JPK INSTRUMENTS AGJÄHNKE, Torsten
    • JÄHNKE, Torsten
    • G01N13/10G12B21/20G12B21/22
    • G01Q10/06G01Q30/025G01Q30/06
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen eines Meßobjektes (2, 12), bei dem das Meßobjekt (2, 12) mit einer Meßsonde (10) einer Rastersondenmeßeinrichtung rastersondenmikroskopisch untersucht wird und bei dem zumindest ein Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) in einem optischen Meßsystem zugeordneten Beobachtungsbereich optisch mit dem optischen Meßsystem untersucht wird, wobei eine durch die rastersondenmikroskopische Untersuchung verursachte Verlagerung des zumindest einen Teilabschnittes (1) des Meßobjektes (2, 12) aus dem Beobachtungsbereich heraus korrigiert wird, derart, daß der zumindest eine verlagerte Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) mit Hilfe einer Nachstelleinrichtung, welche die Verlagerung charakterisierende Datensignale verarbeitet, wieder in dem Beobachtungsbereich angeordnet wird.
    • 本发明涉及一种方法,用于检查测量对象(2,12),其中具有Rastersondenmeßeinrichtung的测量探头(10)的测量对象(2,12)由扫描型探针显微镜观察,并且其中至少一部分部分(1)的测量对象(2,12 在光学测量系统观察区域相关联)在光学上与光学测量系统,其特征在于,由在至少一个部分截面的扫描探针显微镜检查位移观察(1)从所述观察区域出测量对象(2,12)的进行校正,使得所述至少一个 移测量对象(2,12)通过一调节装置,其处理的位移数据表征信号的装置的一部分(1)被再次置于在观察区域。
    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN EINES VERLAGERBAREN BAUTEILS IN EINEM UNTERSUCHUNGSSYSTEM
    • 用于在调查系统中定位可发布组件的方法和设备
    • WO2007036222A2
    • 2007-04-05
    • PCT/DE2006/001722
    • 2006-09-29
    • JPK INSTRUMENTS AGKNEBEL, DetlefJÄHNKE, Torsten
    • KNEBEL, DetlefJÄHNKE, Torsten
    • G01N1/00
    • G01Q70/04G01N35/04G01N2035/0491G01Q10/04
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Positionieren eines verlagerbaren Bauteils in einem Untersuchungssystem, insbesondere einem Meß- oder Analysesystem, wobei bei dem Verfahren das verlagerbare Bauteil mit Hilfe eines an das verlagerbare Bauteil gekoppelten Aktorelementes aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung verlagert wird, indem das Aktorelement mittels einer Antriebskraft bewegt wird, und das verlagerbare Bauteil über ein mit dem verlagerbaren Bauteil in Verbindung stehendes Feststellbauteil mit einer das verlagerbare Bauteil in der Endstellung feststellenden Feststellkraft beaufschlagt wird, indem das Feststellbauteil zumindest teilweise in einen Vorrat eines Mediums eintaucht und in dem Medium mittels Überführen des Mediums aus einem flüssigen Zustand in einen verfestigten Zustand fixiert wird, wobei das Medium mittels Beaufschlagen mit einer Stellgröße aus dem flüssigen Zustand in den verfestigten Zustand überführt wird.
    • 本发明涉及一种用于在检查系统,尤其是我ROAD定位可移位的部件的方法和装置 - 或分析系统,其特征在于,借助可移动部件加上移动部件中的一个的过程 致动器元件从一个起始位置移动到由致动器元件通过一个驱动力而移动,并用与该移动部件在端部位置宣告可移动部件锁定部件将关联的可移动部件的端部位置,锁紧力是由所施加的 锁定构件至少部分地浸入在介质中的储存器并且在由导航用途的装置中的介质是固定拉尔状态到凝固的状态,其中通过将所述介质的操作&oUML ;; Berf导航用途带领介质出从FL导航中使用的FL导航用途ROAD的 ssigen状态在d 固化状态。

    • 9. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING A MOVABLE PART IN A TEST SYSTEM
    • METHOD AND APPARATUS FOR在测定系统中定位移动部件
    • WO2007036222A3
    • 2007-09-07
    • PCT/DE2006001722
    • 2006-09-29
    • JPK INSTRUMENTS AGKNEBEL DETLEFJAEHNKE TORSTEN
    • KNEBEL DETLEFJAEHNKE TORSTEN
    • G01N1/00G01Q10/04G01Q70/04G12B5/00
    • G01Q70/04G01N35/04G01N2035/0491G01Q10/04
    • The invention relates to a method and a device for positioning a movable part in a test system, particularly a measuring system or analysis system. According to said method, the movable part is displaced from a starting position into a final position with the aid of an actuating element that is coupled to the movable part by moving the actuating element by means of a driving force, and the movable part is impinged upon by a locking force that locks the movable part in the final position via a locking part connected to the movable part by dipping the locking part at least in part into a supply of a medium and fixing the locking part in the medium by converting the medium from a liquid state into a solid state, the medium being converted from the liquid state into the solid state by impinging the same with a manipulated variable.
    • 本发明涉及一种用于在检验系统,特别是测量或分析的系统,其特征在于,可移动部件是由一联接到从起始位置可移动部件的致动器元件的装置移动到结束位置的过程中定位可移位的部件的方法和装置 由致动器元件通过一个驱动力移动,并且可移动部件被通过一个相关的施加与所述移动部件锁定部件与所述移动部件在端部位置由锁定构件至少部分地浸入在介质中的贮存器和在锁定力宣告 由其中所述介质是通过从所述液体状态施加操纵变量到凝固状态的装置传送的介质的变换手段的介质从液体状态固定成凝固状态。
    • 10. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM AUFNEHMEN EINER MESSPROBE
    • 设备,用于取得的测量探头
    • WO2006012893A1
    • 2006-02-09
    • PCT/DE2005/001395
    • 2005-08-04
    • JPK INSTRUMENTS AGSÜNWOLDT, OlafKNEBEL, Detlef
    • SÜNWOLDT, OlafKNEBEL, Detlef
    • G02B21/34
    • G01Q30/14G01N21/03G01N21/0303G01N21/0332
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufnehmen einer Messprobe, insbesondere Probenhalter, für eine kombinierte Untersuchung der Messprobe mit einem Messverfahren und einem anderen Messverfahren, welches von dem Messverfahren verschieden ist, mit einem flächigen Präpartionsbauteil (1) aus einem transparenten Material mit einer Präparationsfläche, auf die die Messprobe aufpräparierbar ist, wobei auf einer Seite des Präparationsbauteils (1) ein Messweg zum heranführen einer das Messverfahren ausführenden Messeinrichtung und auf einer gegenüberliegenden Seite des Präparationsbauteils (1) ein anderer Messweg zum Heranführen einer das andere Messverfahren ausführenden anderen Messeinrichtung an die Messprobe gebildet sind und wobei auf der einen Seite gegen das Präparationsbauteil (1) ein Stütz- und Abdeckelement (3a) gedrückt ist, welches eine Öffnung (5) aufweist, durch die hindurch der Messweg gebildet ist.
    • 本发明涉及一种装置,用于接收一个测量样本,特别是样品保持器,用于与测量方法和其它测量方法,它是从具有平面的测量方法不同的样品的组合检查Präpartionsbauteil(1)由具有预备区域的透明材料的 到该测定用试样是aufpräparierbar,其中,在所述制备构件的一侧(1)具有引入的测量方法导出测量装置和对润滑剂组分的相对侧上的测量路径(1)用于推进一个其它测量方法导出其它测量装置到不同的测量路径 测定样品中形成,并且其中,关于对组分(1)的制备一侧和支撑盖(3A)被压,其具有(5)形成,通过该测量路径中的开口。