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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM UNTERSUCHEN EINES MESSOBJEKTES UND VORRICHTUNG
    • 方法进行调查测量物件与装置
    • WO2007041976A1
    • 2007-04-19
    • PCT/DE2006/001131
    • 2006-06-30
    • JPK INSTRUMENTS AGJÄHNKE, Torsten
    • JÄHNKE, Torsten
    • G01N13/10G12B21/20G12B21/22
    • G01Q10/06G01Q30/025G01Q30/06
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen eines Meßobjektes (2, 12), bei dem das Meßobjekt (2, 12) mit einer Meßsonde (10) einer Rastersondenmeßeinrichtung rastersondenmikroskopisch untersucht wird und bei dem zumindest ein Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) in einem optischen Meßsystem zugeordneten Beobachtungsbereich optisch mit dem optischen Meßsystem untersucht wird, wobei eine durch die rastersondenmikroskopische Untersuchung verursachte Verlagerung des zumindest einen Teilabschnittes (1) des Meßobjektes (2, 12) aus dem Beobachtungsbereich heraus korrigiert wird, derart, daß der zumindest eine verlagerte Teilabschnitt (1) des Meßobjektes (2, 12) mit Hilfe einer Nachstelleinrichtung, welche die Verlagerung charakterisierende Datensignale verarbeitet, wieder in dem Beobachtungsbereich angeordnet wird.
    • 本发明涉及一种方法,用于检查测量对象(2,12),其中具有Rastersondenmeßeinrichtung的测量探头(10)的测量对象(2,12)由扫描型探针显微镜观察,并且其中至少一部分部分(1)的测量对象(2,12 在光学测量系统观察区域相关联)在光学上与光学测量系统,其特征在于,由在至少一个部分截面的扫描探针显微镜检查位移观察(1)从所述观察区域出测量对象(2,12)的进行校正,使得所述至少一个 移测量对象(2,12)通过一调节装置,其处理的位移数据表征信号的装置的一部分(1)被再次置于在观察区域。
    • 2. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN EINES VERLAGERBAREN BAUTEILS IN EINEM UNTERSUCHUNGSSYSTEM
    • 用于在调查系统中定位可发布组件的方法和设备
    • WO2007036222A2
    • 2007-04-05
    • PCT/DE2006/001722
    • 2006-09-29
    • JPK INSTRUMENTS AGKNEBEL, DetlefJÄHNKE, Torsten
    • KNEBEL, DetlefJÄHNKE, Torsten
    • G01N1/00
    • G01Q70/04G01N35/04G01N2035/0491G01Q10/04
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Positionieren eines verlagerbaren Bauteils in einem Untersuchungssystem, insbesondere einem Meß- oder Analysesystem, wobei bei dem Verfahren das verlagerbare Bauteil mit Hilfe eines an das verlagerbare Bauteil gekoppelten Aktorelementes aus einer Ausgangsstellung in eine Endstellung verlagert wird, indem das Aktorelement mittels einer Antriebskraft bewegt wird, und das verlagerbare Bauteil über ein mit dem verlagerbaren Bauteil in Verbindung stehendes Feststellbauteil mit einer das verlagerbare Bauteil in der Endstellung feststellenden Feststellkraft beaufschlagt wird, indem das Feststellbauteil zumindest teilweise in einen Vorrat eines Mediums eintaucht und in dem Medium mittels Überführen des Mediums aus einem flüssigen Zustand in einen verfestigten Zustand fixiert wird, wobei das Medium mittels Beaufschlagen mit einer Stellgröße aus dem flüssigen Zustand in den verfestigten Zustand überführt wird.
    • 本发明涉及一种用于在检查系统,尤其是我ROAD定位可移位的部件的方法和装置 - 或分析系统,其特征在于,借助可移动部件加上移动部件中的一个的过程 致动器元件从一个起始位置移动到由致动器元件通过一个驱动力而移动,并用与该移动部件在端部位置宣告可移动部件锁定部件将关联的可移动部件的端部位置,锁紧力是由所施加的 锁定构件至少部分地浸入在介质中的储存器并且在由导航用途的装置中的介质是固定拉尔状态到凝固的状态,其中通过将所述介质的操作&oUML ;; Berf导航用途带领介质出从FL导航中使用的FL导航用途ROAD的 ssigen状态在d 固化状态。

    • 6. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES MESSSYSTEMS MIT EINEM RASTERSONDENMIKROSKOP UND MESSSYSTEM
    • 一种用于操作测量系统用探针显微镜和GRID测量系统
    • WO2007076828A1
    • 2007-07-12
    • PCT/DE2006/002298
    • 2006-12-21
    • JPK INSTRUMENTS AGJÄHNKE, TorstenHAGGERTY, Michael
    • JÄHNKE, TorstenHAGGERTY, Michael
    • G12B21/20G01N13/10
    • G01Q40/00G01Q30/06
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betreiben eines Messsystems mit einem Rastersondenmikroskop, insbesondere einem Rasterkraftmikroskop sowie ein Meßsystem zum rastersondenmikroskopischen und zum optischen Untersuchen einer Meßprobe. Bei dem Verfahren werden auf einer Anzeigevorrichtung eine mit Hilfe einer optischen Aufnahmeeinrichtung aufgenommene, optische Abbildung eines Messabschnitts einer zu untersuchenden Messprobe dargestellt, eine Auswahl einer Position in der optischen Abbildung erfasst und für eine Rastersondenmessung eine Messsonde, die für die Rastersondenmessung konfiguriert ist, mittels einer die Messsonde und die Messprobe relativ zueinander bewegenden Verlagerungsvorrichtung zu einer Messposition verlagert, die der in der optischen Abbildung ausgewählten Position gemäß einer Koordinatentransformation zugeordnet ist, indem die Verlagerungsvorrichtung der Koordinatentransformation entsprechend gesteuert wird, wobei mit der Koordinatentransformation eine zuvor ermittelte Zuordnung zwischen einem Koordinatensystem der optischen Abbildung und einem Koordinatensystem eines von Verlagerungspositionen der Messsonde und der Messprobe aufgespannten Raumes gebildet ist, wobei die Verlagerungspositionen die Messposition umfassen.
    • 本发明涉及一种用于操作一个测量系统的扫描探针显微镜,尤其是扫描力显微镜,以及用于扫描探针显微镜和用于光学检测的测试样品的测量系统的方法。 在该方法中,一个记录的光拾取装置的帮助下,被检查者的测定试样的测定部的光学成像显示所示的显示装置上,检测选择的光学图像和用于扫描探针测量,测量探头,其被配置为扫描探针测量,位置的通过的装置 置换探针和测量样本相对运动传递装置,其与根据由所述坐标变换的所述移置装置的坐标变换在光学成像位置所选择的相关联的相应控制的测量位置,预先在光学的坐标系之间确定与坐标变换的映射 画面和由探针和测定试样的空间换档位置跨越的平面的坐标系中形成,所述换档位置 测量位置包括。