在用于胶片室（28）与至少两个真空泵（20，22），其用于胶片室（28）的交替抽真空形成，泵送速度和ouml的泵系统的疏散的装置（10）; 第一真空泵的根（20）GR＆ouml;道路他比第二真空泵（22）和从所述第一真空泵（20）可达到的最终压力是比所述第二真空泵的下部（22）。

连接到质谱仪（12），用于氢气或氦气，一个与所述质谱仪的分析甲SCHN导航用途ffellecksucher（12）的涡轮分子泵（14）和它的出口（18）与背衬泵（20） 和多个所述抽吸管路（38，40），其具有SCHN导航用途ffelsonde，与入口（16）的涡轮分子泵（14）的特征在于至少三个级真空泵（28），输入级（22），所述前级泵 （20）和在夹板固定节流阀（46）的涡轮分子泵的所述出口（18）（14）连接，其特征在于，相邻级（22，24,26）在每种情况下一个中间入口的真空泵（28）的（34之间， 36设置），每个中间入口（34，36）与所述SCHN导航用途ffelsonde的不同抽吸管线被连接和吸入线路（38中的至少一个，40）和吸入线路（38）连接到涡轮分子泵（14的入口（16）），用于 Erzielun g的不同气流。