专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2015032442A1 METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING VACUUM PRESSURE 审中-公开
标题翻译：测量真空压力的方法和装置
公开(公告)号：WO2015032442A1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：PCT/EP2013/068564
申请日：2013-09-09
申请人： INFICON GMBH
发明人： WÜEST, Martin , BERG, Christian
IPC分类号： G01M99/00 , G05B23/02 , G01L21/00 , G01L9/00 , G01L13/02
CPC分类号： G01L21/02 , G01L9/0072 , G01L9/0075 , G01L13/025 , G01L21/00 , G01M99/00
摘要： Vacuum pressure of a gas in a compartment (1) is measured. The vacuum pressure is established by a pump arrangement (3,5) with a pulsating pumping effect (g(t)). The shape of the resulting pulsation of the pressure (p(t)) in compartment (1) is exploited (15) as an indication of the operation status of the pump arrangement (3, 5).
摘要翻译：测量室（1）中气体的真空压力。真空压力通过具有脉动泵送效应（g（t））的泵装置（3,5）建立。利用（15）作为泵装置（3,5）的操作状态的指示，将隔室（1）中的压力（p（t））产生的脉动的形状用作（15）。

2. 发明申请

WO2012141460A3 APPARATUS FOR MEASURING THE DEGREE OF VACUUM OF A MULTISTAGE VACUUM HEAT-INSULATING MEMBER, AND MEASUREMENT METHOD USING SAME 审中-公开
标题翻译：用于测量多孔真空绝热构件的真空度的装置以及使用其的测量方法
公开(公告)号：WO2012141460A3
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：PCT/KR2012002671
申请日：2012-04-09
申请人： LG HAUSYS LTD , HAN JUNG PIL , JEONG JONG KYON , BANG SON CHEAL , HWANG SUNG SEOCK
发明人： HAN JUNG PIL , JEONG JONG KYON , BANG SON CHEAL , HWANG SUNG SEOCK
IPC分类号： G01L21/00 , G01B11/16
CPC分类号： G01L21/00 , G01B11/16
摘要： The present invention relates to an apparatus for measuring the degree of vacuum of a multistage vacuum heat-insulating member and to a measurement method using same. To this end, the present invention provides an apparatus for measuring the degree of vacuum of a multistage vacuum heat-insulating member comprising: a chamber in which a plurality of vacuum heat-insulating members are accommodated and which forms a sealed space; a shelf arranged within the chamber so as to support the plurality of vacuum heat-insulating members in a plurality of layers; a displacement sensor for sensing the displacement of each outer shell of the vacuum heat-insulating members stacked on the shelf; and vacuum means connected to the chamber so as to regulate the pressure of the internal space of the chamber. In addition, a method for measuring the degree of vacuum of a vacuum heat-insulating member, including a core and an outer shell covering the core, comprises placing and sealing a plurality of vacuum heat-insulating members into the internal space of a chamber, evacuating the internal space of the chamber, and measuring the displacement of the outer shell of the vacuum heat-insulating member caused by the variation in pressure, to thereby verify whether or not the vacuum heat-insulating member is damaged.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量多级真空绝热构件的真空度的装置及其使用方法。为此，本发明提供一种用于测量多级真空绝热构件的真空度的装置，包括：容纳多个真空绝热构件并形成密封空间的室; 设置在所述室内的搁架，以便支撑所述多个真空绝热构件的多个层; 位移传感器，用于感测层叠在搁板上的真空绝热构件的每个外壳的位移; 以及连接到所述室的真空装置，以便调节所述室的内部空间的压力。此外，包括芯和覆盖芯的外壳的真空绝热构件的真空度的测量方法包括将多个真空绝热构件放置和密封到室的内部空间中，排空室的内部空间，并且测量由压力变化引起的真空绝热构件的外壳的位移，从而验证真空绝热构件是否损坏。

3. 发明申请

WO2007082395A1 VAKUUMMESSZELLE MIT MEMBRAN 审中-公开
标题翻译：与脂膜真空测量计
公开(公告)号：WO2007082395A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/CH2006/000656
申请日：2006-11-23
申请人： INFICON GMBH , WÜEST, Martin
发明人： WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L9/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L19/0636 , G01L9/0047 , G01L9/0075 , G01L21/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuummesszelle mit einer zwischen zwei flachen Gehäuseteilen (1, 4) angeordneten Membran (2, 41), wobei das erste Gehäuseteil (1) einen Referenzvakuumraum (10) und das zweite Gehäuseteil (4) einen Messvakuumraum (9) mit Anschlussmitteln (5) zur Verbindung mit dem zu messenden Medium bildet und Mittel zur Messung der Membranauslenkung vorgesehen sind wobei die Membranoberfläche (41a) , welche dem zu messenden Medium ausgesetzt ist, als strukturierte Oberfläche ausgebildet ist, derart dass eine Spannungsverbiegung durch auf der Membran abgelagertes Material vom Messmedium wesentlich verringert wird.
摘要翻译：本发明涉及一种真空测量细胞与两者之间的扁平壳体部分（1,4）设置在膜（2，41），其中，所述第一壳体部分（1）的参考真空室（10）和第二壳体部件（4）具有一个测量真空室（9），其具有连接装置（5）用于连接到所述介质的形式进行测量和装置，用于测量所述隔膜设置有被暴露于介质中测得的膜的表面（41A），形成为结构化表面，使得Spannungsverbiegung通过在膜材料沉积从周围的介质显著降低。

4. 发明申请

WO2015032443A1 METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING PRESSURE, ESPECIALLY VACUUM PRESSURE 审中-公开
标题翻译：测量压力，特殊真空压力的方法和装置
公开(公告)号：WO2015032443A1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：PCT/EP2013/068566
申请日：2013-09-09
申请人： INFICON GMBH
发明人： BERG, Christian , WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L21/00 , G01N33/00
CPC分类号： G01L21/02 , G01L9/12 , G01L21/00 , G01N33/0062
摘要： A pressure step (ps) is applied to the interior of a compartment (1). By means of a sensor (5) which monitors the pressure within compartment (1), besides of the prevailing pressure level (Psτ), the transient step response oscillation frequency (fTSR) is registered as indicative of the gas or gas mixture present in the compartment (1).
摘要翻译：压力步骤（ps）施加到隔室（1）的内部。通过监测隔室（1）内的压力的传感器（5），除了当前的压力水平（Psτ）之外，瞬态阶跃响应振荡频率（fTSR）被记录为存在于气体或气体混合物中的气体或气体混合物隔间（1）。

5. 发明申请

WO2013108993A1 착유기 자동 점검 장치 및 방법 审中-公开
标题翻译：自动检查机的设备及方法
公开(公告)号：WO2013108993A1
公开(公告)日：2013-07-25
申请号：PCT/KR2012/010838
申请日：2012-12-13
申请人： 송용복 , 조용석
发明人： 송용복 , 조용석
IPC分类号： A01J5/007 , A01J5/00
CPC分类号： G01M99/008 , A01J5/007 , G01L21/00 , G01M99/005
摘要： 본 발명은 착유 작업 도중에 실시간으로 착유기의 이상 여부 또는 파손 상태를 확인할 수 있게 하는 착유기 자동 점검 장치에 관한 것이다. 본 발명의 착유기 자동 점검 장치 (50)는, 제 1 진공 호스 (30a) 를 통해 전달되는 진공 압력을 측정하는 제 1 진공 센서 (510); 제 2 진공 호스 (30b) 를 통해 전달되는 진공 압력을 측정하는 제 2 진공 센서 (520); 상기 제 1 진공 센서 (510) 및 상기 제 2 진공 센서 (520) 를 통해 측정된 진공 압력의 파형에 관한 데이터들을 분석하여 맥동기 (20) 의 이상 여부 또는 밀크 유닛 (40) 의 이상 여부를 판정하는 착유기 상태 분석 프로그램 (531) 이 저장된 메모리부 (530); 상기 착유기 상태 분석 프로그램 (531) 에 의해 분석된 결과 데이터를 표시하는 디스플레이부 (540); 및 상기 제 1 진공 센서 (510), 상기 제 2 진공 센서 (520), 상기 메모리부 (530), 및 상기 디스플레이부 (540) 의 상호 작용 및 신호의 흐름을 제어하는 제어부 (560) 를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于自动检查挤奶机的装置，其可以在挤奶操作期间实时检查挤奶机的异常或损坏。根据本发明的用于自动检查挤奶机（50）的装置包括：用于测量通过第一真空软管（30a）传送的真空压力的第一真空传感器（510）; 用于测量通过第二真空软管（30b）传送的真空压力的第二真空传感器（520）; 用于通过分析关于测量的真空压力的波形的数据的用于确定波轮（20）或牛奶单元（40）中的异常的挤奶机状态分析程序（531）的存储部分（530）通过第一真空传感器（510）和第二真空传感器（520）; 用于显示由挤奶机状态分析程序（531）分析的分析结果数据的显示部分（540）; 以及用于控制第一真空传感器（510），第二真空传感器（520），存储部分（530）和显示部分之间的相互作用和信号流动的控制部分（560）。

6. 发明申请

WO2008154760A1 VAKUUMMESSZELLENANORDNUNG MIT HEIZUNG 审中-公开
标题翻译：加热真空测量计安排
公开(公告)号：WO2008154760A1
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：PCT/CH2008/000257
申请日：2008-06-09
申请人： INFICON GMBH , HANSELMANN, Hansjakob , CHRISTOFFEL, Claudio , DURIS, Stanislav
发明人： HANSELMANN, Hansjakob , CHRISTOFFEL, Claudio , DURIS, Stanislav
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L19/04 , G01L19/0636 , G01L21/00
摘要： Eine Vakuummesszellenanordnung enthält eine Vakuummembranmesszelle (8) mit daran angeordneten Anschlussmittel (5, 6) zur kommunizierenden Verbindung mit dem zu messenden Medium, eine Elektronik (34), die mit der Vakuummembranmesszelle (8) elektrisch verbunden ist, sowie eine Heizanordnung (20, 21) zur Beheizung der Vakuummembranmesszelle (8) auf einen vorgebbaren Temperaturwert, wobei die Heizanordnung (20, 21) die Vakuummembranmesszelle (8) im wesentlichen vollständig umschliesst derart, dass diese einen Thermobehälter (20) bildet. Dieser stellt im Bereich der Anschlussmittel (5, 6) einen Thermokörper (20a) dar durch welchen Anschlussmittel (6) hindurch geführt sind, welche hierbei vom Thermokörper (20a) mindestens in Teilbereichen thermisch kontaktiert sind. Der Thermokörper (20a) weist eine Heizquelle (21) auf zu dessen Beheizung. Der Thermobehälter (20) ist von einem Isolationsmantel (22) im wesentlichen vollständig umschlossen.
摘要翻译：真空测量单元布置包括真空膜片测量单元（8），其具有布置在其上的连接装置（5,6），用于将与所述介质连接到待测量的电子电路（34），其电连接到所述真空膜测量单元（8）和加热装置（20，21 ）用于加热所述隔膜真空测量单元（8），以可预先确定的温度值，其中，所述加热器组件（20，21），所述真空膜测量单元（8）基本上完全包围，使得这形成热容器（20）。这是在所述连接装置（5,6）热体（20A），通过该构成连接装置（6）是通过引导，在这种情况下，从热元件（20A）的至少部分区域热接触的区域中。热体（20A）有一个热源（21）到其加热。热容器（20）完全由绝缘鞘（22）大致封闭。

7. 发明申请

WO2017144101A1 KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE MIT MULTIELEKTRODE 审中-公开
标题翻译：具有多个节点的电容真空测量单元
公开(公告)号：WO2017144101A1
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：PCT/EP2016/053976
申请日：2016-02-25
申请人： INFICON AG
发明人： STRIETZEL, Carsten
IPC分类号： G01L9/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L21/00 , G01L9/0075
摘要： Die Erfindung betrifft eine kapazitive Vakuummesszelle mit einem ersten Gehäusekörper (1) mit einer davon beabstandeten im Randbereich (3) dichtend angeordneten Membran (2), derart dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (9) ausgebildet ist, wobei gegenüberliegende Oberflächen (7, 8) des ersten Gehäusekörpers und der Membran (2) zumindest eine Elektrode (G, G 1 , G 2 ,... G n ; M 1 , M 2 ,... M n ) umfassen. Ein zweiter Gehäusekörper (4) ist gegenüber der Membrane (2) im Randbereich dichtend vorgesehen und bildet mit dieser einen Messvakuumraum (10), in welchem Anschlussmittel (5) zur Verbindung mit einem Prozessraum vorhanden sind. Dabei umfasst die Elektroden (G, G 1 , G 2 ,... G n ; M 1 , M 2 ,... M n ) auf der Gehäuseoberfläche (7) oder/und der Membranoberfläche (8) zumindest zwei, voneinander elektrisch isolierte Gehäuseelektroden (G 1 , G 2 ,... G n ) oder/und Membranelektroden (M 1 , M 2 ,... M n ), die so angeordnet sind, dass sie mit zumindest einer gegenüberliegenden Elektrode (G, M) zumindest zwei Messkapazitäten (C 1 , C 2 ,... C n ) bilden, wodurch die Auslenkung der Membran an mehreren Stellen kapazitiv erfassbar ist. Gehäuseelektrode (G) oder die Gehäuseelektroden (G 1 , G 2 ,... G n ) oder/und die Membranelektrode (M) oder die Membranelektroden (M 1 , M 2 ,... M n ) sind dabei mit einer Signalverarbeitungseinheit wirkverbindbar.
摘要翻译：
本发明涉及一种包括一个第一外壳和AUML电容真空测量单元;微秒＆OUML;主体（1），具有相隔在边缘区域（3）密封地设置隔膜（2），使得在它们之间形成一个参考真空室（9）与第一主体和膜（2）的相对表面（7,8）至少一个电极（G，G 1，G 2， ...，G 1，...，M 1，M 2，...，M n）。，第二本体（4）在边缘区域中靠着膜（2）密封地设置并且与第二本体（4）一起形成测量真空空间（10），其中设置连接装置（5）用于连接到处理空间。电极（G，G 1，G 1，G 2，...，G n，M 1，中号<子> 2 ，...，M <子>名词）随时随地＆AUML上; useoberfl BEAR表面（7）和/或所述Membranoberfl BEAR表面（8）的至少两个，相互电绝缘的GeH AUML ; useelektroden（G <子> 1 ，G <子> 2 ，...ģ<子>名词）和/或膜电极（M <子> 1 （M，M），M（M，M），（M，M），（M，M） C 1，C 2，...，C n），由此膜的偏转可以在几个点处被电容性地检测到。外壳电极（G）或外壳电极（G 1，G 2，...，G n）和/或膜电极（M）或膜电极（M <子> 1 中，M <子> 2 ，...，M <子>名词）被可操作地与一个信号处理单元连接。

8. 发明申请

WO2017048052A1 진공식 로스터 审中-公开
标题翻译：真空型ROASTER
公开(公告)号：WO2017048052A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：PCT/KR2016/010337
申请日：2016-09-13
申请人： 강경훈
发明人： 강경훈
IPC分类号： A23N12/10 , A23N12/12 , F04B37/16 , F04B37/08 , H05B3/00 , G01L21/00
CPC分类号： A23N12/10 , A23N12/12 , F04B37/08 , F04B37/16 , G01L21/00 , H05B3/00
摘要： 본 발명은 진공식 로스터에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 진공식 로스터는, 챔버; 상기 챔버의 일측에 형성되며 개폐 가능한 도어캡; 상기 챔버의 타측에 형성된 진공캡; 상기 챔버의 내주면으로부터 이격되어 형성되며, 가공 대상물의 투입과 배출을 위해 개폐 가능한 바스켓 도어가 형성된 바스켓; 상기 챔버 내부의 진공 상태를 조절하는 진공 조절수단; 상기 바스켓과 축 연결되어 상기 바스켓을 회전시키는 구동모터; 및, 상기 챔버 내부에 상기 바스켓과 이격되어 형성된 히터를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种真空式烘焙机。根据本发明实施例的真空式焙烧炉包括：腔室; 门帽，其形成在所述室的一侧上并且可以打开和关闭; 形成在所述室的另一侧的真空帽; 筐形成为与所述室的内周表面间隔开，并且具有能够打开和关闭以用于待处理物体的插入和排出的筐门; 用于调节室内部的真空状态的真空调节装置; 驱动电动机，其与所述筐轴连接以使所述筐旋转; 以及形成在腔室内以与篮子间隔开的加热器。

9. 发明申请

WO2016207401A1 MEMS DEPOSITION TRAP FOR VACUUM TRANSDUCER PROTECTION 审中-公开
标题翻译：用于真空传感器保护的MEMS沉积阱
公开(公告)号：WO2016207401A1
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：PCT/EP2016/064750
申请日：2016-06-24
申请人： WOJTAS, Nina
发明人： WOJTAS, Nina
IPC分类号： B01D46/00
CPC分类号： G01L19/0636 , G01L21/00 , G01L27/005
摘要： The present invention relates to a MEMS deposition trap (10) comprising: a manifold layer having manifold inlet channels and manifold outlet channels, a microchannel layer (20) having microchannels (33), wherein the manifold layer and the microchannel layer are bonded together so as to form a fluid path, wherein a fluid is forced to pass through the microchannels (33) when flowing from the manifold inlet channels to the manifold outlet channels. Furthermore, it relates to a vacuum sensor having such a deposition trap as and to a process chamber of a manufacturing equipment, preferably used for thin-film deposition or etching processes, comprising such a vacuum sensor.
摘要翻译：本发明涉及一种MEMS沉积阱（10），包括：具有歧管入口通道和歧管出口通道的歧管层，具有微通道（33）的微通道层（20），其中歧管层和微通道层粘合在一起以便形成流体路径，其中当从歧管入口通道流到歧管出口通道时，流体被迫通过微通道（33）。此外，本发明涉及具有这种沉积陷阱的真空传感器，该真空传感器包括这种真空传感器，该制造设备优选用于薄膜沉积或蚀刻工艺的制造设备的处理室。

10. 发明申请

WO2009012605A2 METHOD FOR CALIBRATING AND OPERATING A MEASURING CELL ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：方法校准和用于操作测量单元安排
公开(公告)号：WO2009012605A2
公开(公告)日：2009-01-29
申请号：PCT/CH2008000256
申请日：2008-06-09
申请人： INFICON GMBH , BERG CHRISTIAN , STRIETZEL CARSTEN
发明人： BERG CHRISTIAN , STRIETZEL CARSTEN
IPC分类号： G01L27/00 , G01L21/00
CPC分类号： G01L27/005 , G01L21/00
摘要： The following method sequence is proposed for calibrating a vacuum measuring cell arrangement: a) the measuring cell arrangement (1) is connected to a calibrating device (10), with the measuring connection (5) being connected to a vacuum volume (58) and the measuring cell interface (8) being connected to a calibrating sequence controller (11) by means of a signal line (20); b) a first heating temperature in the measuring cell arrangement is set to a predefined constant value; c) a first step for calibrating the measuring cell arrangement (1) is carried out by generating at least one predefined pressure in the vacuum volume (58) while simultaneously detecting the vacuum signals from the measuring cell arrangement (1) and at least one reference measuring cell (6), and the pressure values detected are stored in a calibrating data memory (13); d) a calibrating processor (14) is used to determine compensation values from the determined differential values of the measuring cell arrangement (1) and the reference measuring cell (6), and these differential values are buffered in a calibrating data memory (13) of the calibrating sequence controller (11); e) the measuring cell arrangement (1) is adjusted by transmitting the determined compensation values to the measuring cell data memory (6) for the differing values for pressures and temperature, which are determined at the different predefined operating points, with respect to the reference measuring cell (60).
摘要翻译：为了校准，一个真空测量电池装置，提出了以下的方法萨伯运行：a）具有一个校准装置（10），连接所述测量（5）连接到一个真空容积（58测量单元阵列（1）的连接）和连接测量单元接口（8），通过信号线（20）一个Kalibrierablaufsteuerung（11）; b）中设置在测量单元阵列到预定的恒定值的第1加热温度; c）进行通过产生在真空容积（58同时检测Vakuummessignale的测量单元阵列（1）和至少一个参考测量单元（6），以及所检测到的压力值的存储（在校准数据存储器中的至少一个预定的压力）测量电池装置（1）的第一校准步骤 13）中，d）确定与从测量单元阵列（1）和参考测量单元（6），以及存储在Kalibrierablaufsteuerung的校准数据存储器（13）（11）这个差值的所确定的差值校准处理器（14）的补偿值。 e）通过将来自所述测量单元的数据存储器（6），用于在对所述参考测量单元（60）的压力和温度相对于不同值的不同的预定工作点所确定的确定的补偿值调节所述测量池装置（1）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式