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1. 发明申请

WO2019145737A1 TURBOMOLECULAR PUMP AND METHOD OF OPERATION 审中-公开
公开(公告)号：WO2019145737A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/GB2019/050228
申请日：2019-01-28
申请人： EDWARDS LIMITED
发明人： JONES, Peter David , NORTON, Ian Andrew
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/58
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/584
摘要： A turbomolecular pump and method of operating the pump. The pump comprises: a stator and a rotor; the rotor being supported for rotation by bearings; a motor for rotating the rotor; wherein the turbomolecular pump is configured to perform a warm-up cycle for warming up at least one pump component prior to operation of the pump.

2. 发明申请

WO2015098275A1 真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品审中-公开
标题翻译：真空排气机构，复合真空泵和旋转体组件
公开(公告)号：WO2015098275A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/JP2014/078688
申请日：2014-10-29
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中　学 , 樺澤　剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D25/16 , F04D17/168 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/053 , F04D29/28 , F04D29/384 , F04D29/4206
摘要：【課題】真空ポンプは、配設される固定円板または配設される回転円板の少なくともいずれか一方に、山部と谷部を有するスパイラル状溝が刻設（配設）されるシーグバーン型分子ポンプ部を有し、シーグバーン型分子ポンプ部内の外周（外側）の折り返し流路においてコンダクタンスを大きくとるための構造を備える。この構造は、回転円板に形成される連通部（溝部、スリット）、あるいは、固定円板に配設される斜板と回転円板に形成される連通部とによって、真空ポンプ内部に形成される。「連通部」や「溝部」、「スリット」は、「凹」状の形態であり、回転円板（または固定円板）において、外径部から内径方向へ（真空ポンプにおいてシャフトが配設されている側へ）向かって溝を刻設することで凹部が設けられる。
摘要翻译：在本发明中，真空泵具有赛格巴分子泵部，其中具有峰部和谷部的螺旋槽被雕刻（配置）配置在每个固定盘和/或旋转盘中，并且构造成确保高电导率在形成在Siegbahn分子泵部分的外周（外部）处的每个回流通道处。这种结构通过形成在旋转盘中的连通部件（槽部分，狭缝）或通过布置在固定盘上的旋转斜盘和形成在旋转盘中的连通部分而形成在真空泵内部。 “连通部”，“沟槽部”和“狭缝”是“凹形”，凹部通过在旋转盘（或固定盘）的外径部向内径方向朝向设置在真空泵中的轴的一侧）。

3. 发明申请

WO2013098178A1 ADAPTATEUR POUR POMPES A VIDE ET DISPOSITIF DE POMPAGE ASSOCIE 审中-公开
标题翻译：真空泵和相关抽水装置的适配器
公开(公告)号：WO2013098178A1
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：PCT/EP2012/076330
申请日：2012-12-20
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： BOURRILHON, Thibaut , MATHES, Rainer , VARENNES, Nicolas
IPC分类号： F04D19/04 , F04D25/16 , F04D29/60
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/046 , F04D25/16 , F04D29/60 , F04D29/601
摘要： L'invention concerne un adaptateur pour pompes à vide caractérisé en ce qu'il comporte une bride annulaire d'entrée (15) destinée à être raccordée à un orifice de sortie d'une enceinte et un raccord de sortie (16) comportant au moins deux logements cylindriques de sortie (21) traversants et formant un corps de pompe au moins partiel pour le carter (4) d'une pompe à vide turbomoléculaire (3) respective, lesdites pompes à vide turbomoléculaires (3) étant destinées à être reçues dans un logement cylindrique de sortie (21) respectif. L'invention concerne également un dispositif de pompage caractérisé en ce qu'il comporte un adaptateur pour pompes à vide (2) tel que décrit précédemment et au moins deux pompes à vide turbomoléculaires (3) logées au moins partiellement dans un logement cylindrique de sortie (21) respectif.
摘要翻译：本发明涉及一种用于真空泵的适配器，其特征在于，它包括一个环形进口凸缘（15），该环形入口凸缘（15）将被连接到腔室的出口孔口，以及一个出口连接件（16），该连接器包括至少两个圆柱形出口通过壳体并且形成用于相应的涡轮分子真空泵（3）的壳体（4）的至少部分泵壳体，所述涡轮分子真空泵（3）旨在容纳在相应的圆柱形出口壳体（21）中。本发明还涉及一种泵送装置，其特征在于，其包括如上所述的用于真空泵（2）的适配器和至少部分容纳在相应的圆柱形出口壳体（21）中的至少两个涡轮分子真空泵（3）。

4. 发明申请

WO2011061429A3 METHOD AND DEVICE FOR PUMPING WITH REDUCED POWER USE 审中-公开
标题翻译：减少电力使用的方法和装置
公开(公告)号：WO2011061429A3
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：PCT/FR2010052305
申请日：2010-10-27
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , NEEL THIERRY
发明人： NEEL THIERRY
IPC分类号： F04C25/02 , F04F5/54
CPC分类号： F04D19/046 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C2220/12 , F04C2270/02 , F04D15/0254 , F04D15/0281 , F04D19/02 , F04D25/16 , F04D27/004 , F04F5/20 , F04F5/54
摘要： The pumping device comprises: a dry rough vacuum pump provided with a gas inlet opening connected to a vacuum chamber and moreover has a gas outlet opening leading into a pipe; a delivery check valve placed in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump; and an ejector mounted in parallel relative to the delivery check valve. The pumping method includes the following steps: pumping the gases, contained in the vacuum chamber, by means of the dry rough vacuum pump through the gas inlet opening; connecting the gas outlet opening of the dry rough vacuum pump to an ejector; measuring the electrical power used by the dry rough vacuum pump and the pressure of the gases in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump; setting in motion the ejector, after a time delay, when the pressure of the gases at the outlet of the dry rough vacuum pump has exceeded a rising edge set value and when the electrical power used by the dry rough vacuum pump exceeds a rising edge set value; stopping the ejector when the electrical power used by the dry rough vacuum pump exceeds a falling edge set value and when the pressure of the gases in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump exceeds a falling edge set value.
摘要翻译：泵送装置包括：干粗粗真空泵，其具有连接到真空室的气体入口，并具有通向管道的气体出口; 输送止回阀放置在干式粗真空泵出口处的管道中; 以及相对于输送止回阀并联安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：通过干式粗真空泵通过进气口泵送包含在真空室中的气体; 将干式粗真空泵的气体出口连接到喷射器; 测量干粗粗真空泵使用的电力和干粗粗真空泵出口处管道中的气体压力; 在干燥的粗真空泵的出口处的气体的压力超过上升沿设定值之后，当干燥粗真空泵使用的电力超过上升沿设定时，延迟喷射器的运动设定值; 当干式粗真空泵使用的电力超过下降边缘设定值时，当干式粗真空泵出口处的管道中的气体压力超过下降沿设定值时，停止喷射器。

5. 发明申请

WO2012077411A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2012077411A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/JP2011/073911
申请日：2011-10-18
申请人：エドワーズ株式会社 , 川西伸治 , 須藤隆
发明人：川西　伸治 , 須藤　隆
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D3/00 , F04D19/042 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D29/526 , F04D29/541 , F04D29/642 , F04D29/701 , F05D2260/607
摘要：　堆積した生成物が回転部又は固定部に接触するまでの期間を延ばすことを目的とする。　ねじ溝が形成されている回転翼円筒部又は固定部において、ねじ溝における山の部分にあたる凸面（ねじ溝山面）を、軸方向に一定の範囲分だけ全周（ねじ溝の周方向）にわたって所望の量を削る。　ねじ溝が固定部に形成されている場合は、回転翼円筒部の外周面と外周面に対面する固定部のねじ溝山面で形成される内周面との隙間（クリアランス）のうち、下側（排気口側）のねじ溝山面を所望の量削る。　ねじ溝が回転翼円筒部に形成されている場合は、回転翼円筒部のねじ溝山面で形成される外周面と、外周面に対面する固定部との隙間のうち、下側の回転翼円筒部のねじ溝山面を所望の量削る。　このように、ねじ溝山面を所望の量だけ削ることでねじ溝部における下側の隙間を部分的に広げることができる。
摘要翻译：本发明的目的是延长积累的产品与旋转部件或固定部件接触的时间。在其中形成有螺纹槽的旋转叶片管状部件或固定部分中，作为螺纹槽的脊部的突出表面（螺旋槽突出表面）在整个周边（周向）上被刮削所需的量螺纹槽的方向）仅在轴向方向上有一定的范围。在螺旋槽形成在固定部分的情况下，在旋转叶片管状部分的外周表面和由固定部分的面向外部的螺纹槽突出部分形成的内周表面之间的空间（间隙）内周边表面，下侧（排气口侧）螺纹槽突出表面被剃光所需的量。在旋转叶片管状部形成螺纹槽的情况下，在由旋转叶片管状部的螺旋槽突出面形成的外周面与面向外周面的固定部之间的空间内，在旋转叶片管状部分的下侧上的突出表面被剃光所需的量。以这种方式，螺纹槽突出表面被剃光所需的量，结果，螺纹槽部分的下侧的空间可以被部分地变宽。

6. 发明申请

WO2012074099A1 排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置审中-公开
标题翻译：排气装置控制方法和排气装置控制装置
公开(公告)号：WO2012074099A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/JP2011/077928
申请日：2011-12-02
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 西村優
发明人：西村　優
IPC分类号： F04B37/16 , F04B49/06 , F04D19/04 , F04D27/00 , H01L21/02
CPC分类号： F04D27/0269 , F04B49/065 , F04D19/046
摘要：【課題】ガスの流量の変化が広範囲であっても、広範囲の圧力制御が可能な排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置を提供する。【解決手段】真空装置５０に設けられた複数の排気装置Ａ～Ｄの制御方法であって、前記真空装置５０に導入するガスの流量が少なくなるほど、連動して制御する排気装置の数を減らし、非連動に制御する排気装置の数を増やすように前記複数の排気装置Ａ～Ｄの連動又は非連動の状態を設定する設定工程と、前記設定された状態で、前記複数の排気装置Ｃのうちの少なくともいずれかを使用して前記真空装置５０を排気する排気工程と、を含むことを特徴とする排気装置の制御方法が提供される。
摘要翻译： [问题]即使当气体的流量在宽范围内变化时，也能够提供能够进行宽范围压力控制的排气装置控制方法和排气装置控制装置。 [解决方案]一种设置在真空装置（50）中的多个排气装置（A〜D）的控制方法，包括：设定多个抽空装置（A〜D）的联动状态或未连接状态的设定步骤，使得以相关联的方式控制的抽空装置的数量减少，并且以非连接方式控制的排气装置的数量随着引入真空装置（50）的气体的流量是下降; 以及在设定状态下使用多个排气装置（A〜D）中的至少一个排空真空装置（50）的排气工序。

7. 发明申请

WO2012016838A1 LECKSUCHGERÄT 审中-公开
标题翻译：检漏仪
公开(公告)号：WO2012016838A1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：PCT/EP2011/062472
申请日：2011-07-20
申请人： INFICON GMBH , DÖBLER, Ulrich
发明人： DÖBLER, Ulrich
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/26 , F04D19/046 , F04D27/0269 , G01M3/205
摘要： Das Lecksuchgerät weist einen Prüfeinlass (10) auf, an den eine den Prüfling enthaltende Testkammer angeschlossen werden kann. Eine Hochvakuumpumpe (12) erzeugt in einem Testgasdetektor (11) ein Hochvakuum. Eine Vorvakuumpumpe (20) enthält zwei Pumpstufen (22, 23). Zum Evakuieren der Testkammer werden die Pumpstufen (22, 23) im Parallelbetrieb betrieben, wobei sich ihre Saugvermögen addieren. Nach Erreichen des erforderlichen Vakuums werden die Pumpstufen (22, 23) in Serie betrieben, um am Testgasdetektor (11) das erforderliche Hochvakuum zu erzeugen, das für eine hohe Nachweisempfindlichkeit erforderlich ist.
摘要翻译：泄漏检测器具有Prüfeinlass（10），含试验片测试室可连接到所述。的高真空泵（12）产生在测试气体检测器（11）的高真空。前级泵（20）包含两个泵级（22，23）。对于测试腔室的抽气，（22，23）在并行模式下被操作的泵级中，所述添加其抽速。到达串联操作以产生测试气体检测器（11）所要求的高真空，这是需要一个高的检测灵敏度所需的真空泵级（22，23）之后。

8. 发明申请

WO2011018637A1 VACUUM SYSTEM 审中-公开
标题翻译：真空系统
公开(公告)号：WO2011018637A1
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：PCT/GB2010/050533
申请日：2010-03-30
申请人： EDWARDS LIMITED , STONES, Ian, David
发明人： STONES, Ian, David
IPC分类号： H01J49/24
CPC分类号： H01J49/24 , F04D19/046
摘要： The invention provides a vacuum system (12) comprising a plurality of vacuum chambers (14, 16, 18, 20) connected in series and a vacuum pumping arrangement (10) for differential pumping the chambers. The vacuum pumping arrangement comprises a primary pump (22) having an inlet (23) connected for pumping a first vacuum chamber (14) and an outlet (25) for exhausting at or around atmosphere, a booster pump (24) having an inlet (27) connected for pumping a second vacuum chamber (16) and an outlet (29) connected to the inlet (23) of the primary pump; and a secondary pump (26, 28) having an inlet (31, 33) connected for pumping a third vacuum chamber (18, 20) and an outlet (35, 37) connected to the inlet (27) of the booster pump.
摘要翻译：本发明提供一种真空系统（12），其包括串联连接的多个真空室（14,16,18,20）和用于差分泵送室的真空泵装置（10）。真空泵送装置包括具有连接用于泵送第一真空室（14）的入口（23）和用于在大气中或大气附近排出的出口（25）的初级泵（22），具有入口（连接用于泵送连接到主泵的入口（23）的第二真空室（16）和出口（29）; 以及具有连接用于泵送第三真空室（18,20）的入口（31,33）和连接到增压泵的入口（27））的出口（35,37）的次级泵（26,28）。

9. 发明申请

WO2010097384A2 MULTI-INLET-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多入口型真空泵
公开(公告)号：WO2010097384A2
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/EP2010/052282
申请日：2010-02-23
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
发明人： BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/042
摘要： Die Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20), sowie eine zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf, wobei der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben (28) zumindest teilweise größer ist, als der Durchmesser der ersten Rotorscheiben (20). Ferner weist die Nulti-Inlet-Vakuumpumpe einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung ( 12) gefördert wird, auf. Ebenso weist die Pumpe einen Zwischeneinlass (38) durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird, auf. Ein Vereinen der beiden Fluidströme (34, 40) erfolgt innerhalb der zweiten Pumpeinrichtung (12) insbesondere zwischen zwei benachbarten zweiten Rotorscheiben (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).
摘要翻译：多入口真空泵具有第一泵压装置（10）包括具有多个在输送方向彼此相邻排列的第一转子盘（20）的后面具有第二转子部件上的第一转子部件（18），（36），和第二泵装置（12）（26 ），具有多个（在输送方向36）布置为一个在另一个之后第二转子盘（28），其特征在于，所述第二转子盘（28）的直径至少比所述第一转子盘（20）的直径部分地更大。此外，Nulti入口真空泵通过其从第一泵装置（10）和朝向所述第二泵装置（12）吸入的第一流体流（34）被输送上的主入口（32）。同样地，泵具有通过其从所述第二泵压装置的第二流体流（40）（12）被吸入，并在上泵出口的方向输送的中间入口（38）。 A中的两个流体流（34，40）发生在所述第二泵压装置（12），尤其是组合第二泵装置（12）的两个相邻的第二转子盘（28）之间。

10. 发明申请

WO2009103701A1 VAKUUMPUMP-SYSTEM UND VERWENDUNG EINER MEHRSTUFEN-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵系统和多级真空泵的使用
公开(公告)号：WO2009103701A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/EP2009/051854
申请日：2009-02-17
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GBMH , BEYER, Christian , HENRY, Markus , KLINGNER, Peter
发明人： BEYER, Christian , HENRY, Markus , KLINGNER, Peter
IPC分类号： F04D19/04 , F04C23/00 , F04D29/056
CPC分类号： F04D19/046 , F04B37/14 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/02 , F04C29/028 , F04C2240/806 , F04C2270/70 , F04D19/042 , F04D29/056
摘要： Ein Vakuumpump-System wird zur Erzeugung von sehr niedrigen Drucken, insbesondere im Bereich von 10 -10 mbar mit zwei Mehrstufen-Vakuumpumpen (26) und einer Vorvakuumpumpe (22) verbunden. In den einzelnen seriell angeordneten Vakuumkammern (10, 11, 12, 50, 52) wird ein sich stufenweise erniedrigender Druck erzeugt. Erfindungsgemäß ist die letzte Vakuumstufe, die durch die Pumpe (32) der Mehrfach-Vakuumpumpe (26) gebildet ist, verschlossen. Durch das erfindungsgemäße Verschließen des üblicherweise als Auslass (40) dienenden Anschlusses ist sichergestellt, dass die sich im Bereich der Pumpe (32) befindenden Lager nicht beschädigt werden.
摘要翻译：真空泵系统在10-10毫巴两个多级真空泵（26）和一个低真空泵（22）的范围内连接，用于生产非常低的压力，特别是。在串联排列的（10，11，12，50，52）的各个真空腔产生一逐渐降低压力。根据本发明，是最后的真空阶段，其通过所述多真空泵（26）关闭的泵（32）形成。通过本发明的闭合的常作为出口服务（40）的连接确保了在可用轴承所述泵（32）的区域中不被损坏。

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