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    • 6. 发明申请
    • リークテスト方法
    • WO2022054169A1
    • 2022-03-17
    • PCT/JP2020/034125
    • 2020-09-09
    • 株式会社フクダ
    • 二見 友幸渡辺 孝彰田辺 明満
    • G01M3/20
    • 良品のワークからも放出されるトレーサガスの影響を受けずにテスト対象のワークの微小漏れの有無を判定することができるリークテスト方法である。このリークテスト方法は、テスト対象のワークWを加圧トレーサガス中に浸漬するガスボンビング工程と、ガスボンビングを施されたワークを密封容器10内にセットするワークセット工程と、密封容器10内を吸引装置20により真空吸引する真空吸引工程と、真空吸引されたトレーサガスを検出器30により測定することにより、トレーサガス測定データを得る測定工程と、を含む一連の工程を備えている。予め、テスト対象のワークWと同一仕様の漏れの無い良品のワークについて、上記一連の工程を実行することにより、良品のワークについてのトレーサガス測定データを得る。測定工程では、テスト対象のワークWについてのトレーサガス測定データを、良品ワークについてのトレーサガス測定データと比較することにより、テスト対象のワークWの微小漏れの有無を判定する。