基本信息:
- 专利标题： SCHNÜFFELLECKSUCHER MIT MEHRSTUFIGER MEMBRANPUMPE
- 专利标题（英）：Sniffing leak detector having a multi-stage diaphragm pump
- 专利标题（中）：SNAP探测器多级膜泵
- 申请号：PCT/EP2014/068582 申请日：2014-09-02
- 公开(公告)号：WO2015036282A2 公开(公告)日：2015-03-19
- 发明人： HILGERS, Heike , BRUHNS, Hjalmar , WETZIG, Daniel , ROLFF, Norbert
- 申请人： INFICON GMBH
- 申请人地址： Bonner Straße 498 50968 Köln DE
- 专利权人： INFICON GMBH
- 当前专利权人： INFICON GMBH
- 当前专利权人地址： Bonner Straße 498 50968 Köln DE
- 代理机构： VON KREISLER SELTING WERNER
- 优先权： DE10 20130916
摘要：
Ein Schnüffellecksucher mit einem Massenspektrometer (12) zur Analyse von Wasserstoff oder Helium, einer mit dem Massenspektrometer (12) verbundenen Turbomolekularpumpe (14) und deren Auslass (18) mit einer Vorvakuumpumpe (20) verbunden ist, und einer mehrere Saugleitungen (38, 40) aufweisenden Schnüffelsonde, die mit dem Einlass (16) der Turbomolekularpumpe (14) verbunden ist, ist gekennzeichnet, durch eine mindestens dreistufige Vakuumpumpe (28), deren Eingangsstufe (22) die Vorvakuumpumpe (20) bildet und über eine verblockte Drossel (46) mit dem Auslass (18) der Turbomolekularpumpe (14) verbunden ist, wobei zwischen benachbarten Stufen (22, 24, 26) der Vakuumpumpe (28) jeweils ein Zwischeneinlass (34, 36) vorgesehen ist, wobei jeder Zwischeneinlass (34, 36) mit einer anderen Saugleitung der Schnüffelsonde verbunden ist und mindestens eine der Saugleitungen (38, 40) als Ansaugleitung (38) mit dem Einlass (16) der Turbomolekularpumpe (14) zur Erzielung verschiedener Gasströme verbunden ist.
摘要（中）：
连接到质谱仪（12），用于氢气或氦气，一个与所述质谱仪的分析甲SCHN导航用途ffellecksucher（12）的涡轮分子泵（14）和它的出口（18）与背衬泵（20） 和多个所述抽吸管路（38，40），其具有SCHN导航用途ffelsonde，与入口（16）的涡轮分子泵（14）的特征在于至少三个级真空泵（28），输入级（22），所述前级泵 （20）和在夹板固定节流阀（46）的涡轮分子泵的所述出口（18）（14）连接，其特征在于，相邻级（22，24,26）在每种情况下一个中间入口的真空泵（28）的（34之间， 36设置），每个中间入口（34，36）与所述SCHN导航用途ffelsonde的不同抽吸管线被连接和吸入线路（38中的至少一个，40）和吸入线路（38）连接到涡轮分子泵（14的入口（16）），用于 Erzielun g的不同气流。