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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON INDIUMOXID-HALTIGEN SCHICHTEN
    • 用于生产含氧化铟层
    • WO2012062575A1
    • 2012-05-18
    • PCT/EP2011/068736
    • 2011-10-26
    • EVONIK DEGUSSA GMBHSTEIGER, JürgenPHAM, Duy VuTHIEM, HeikoMERKULOV, AlexeyHOPPE, Arne
    • STEIGER, JürgenPHAM, Duy VuTHIEM, HeikoMERKULOV, AlexeyHOPPE, Arne
    • C23C18/12
    • H01L21/02628C23C18/1216H01L21/288H01L29/22H01L29/43
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Flüssigphasen-Verfahren zur Herstellung Indiumoxid- haltiger Schichten, bei dem eine aus einem Gemisch enthaltend mindestens einen Indiumoxid- Precursor und mindestens ein Lösemittel bzw. Dispersionsmedium herstellbare Beschichtungszusammensetzung in der Reihenfolge der Punkte a) bis d) a) auf ein Substrat aufgebracht, b) die auf dem Substrat aufgebrachte Zusammensetzung mit elektromagnetischer Strahlung bestrahlt, c) ggf. getrocknet und d) thermisch in eine Indiumoxid-haltige Schicht konvertiert wird, wobei der Indiumoxid-Precursor ein Indium-Halogen-Alkoxid der generischen Formel lnX(OR)2 mit R = Alkylrest und/oder Alkoxyalkylrest und X = F, Cl, Br oder I ist und die Bestrahlung mit elektromagnetischer Strahlung mit signifikanten Anteilen von Strahlung im Bereich von 170 - 210 nm und von 250 - 258 nm durchgeführt wird, die mit dem Verfahren herstellbaren Indiumoxid-haltigen Schichten und ihre Verwendung.
    • 本发明涉及一种液相方法含有层制造氧化铟的方法,其中一个从含有至少一种氧化铟前体和在点a)至d的顺序的至少一种溶剂或分散介质可产生的涂料组合物)a)一种混合物到 施加的基底,b)施加到所述底物组合物上的力被照射用电磁辐射,c)任选地干燥和d)被热转化成的含铟层,其中所述氧化铟前体的通式LNX的铟 - 卤代烷氧基化合物( OR)2,其中R =烷基和/或烷氧基烷基和X = F,Cl,Br或I,和与在范围170-210纳米和250-258纳米的辐射的显著水平电磁辐射的照射下进行,所述 由该方法含氧化铟层和它们的使用产生的。