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    • 3. 发明申请
    • HERSTELLUNG EINES MIKROGREIFERS MITTELS EINES MATERIALABSCHEIDEVERFAHRENS
    • 制造材料沉积的显微爪借助于
    • WO2007134660A1
    • 2007-11-29
    • PCT/EP2007/002109
    • 2007-03-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.CARL ZEISS NTS GMBHGROSSE, ChristianALTMANN, FrankSIMON, MichélHOFFMEISTER, HilmarRIEMER, Detlef
    • GROSSE, ChristianALTMANN, FrankSIMON, MichélHOFFMEISTER, HilmarRIEMER, Detlef
    • B25J7/00B81B3/00
    • B25J7/00B25J19/007B81C99/002H01J37/20
    • Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrogreifers (8), der einen Basiskörper sowie einen mit dem Basiskörper einstückig verbundenen Greif körper umfasst, der den Basiskörper überragt und an einem freien Endbereich einen Aufnahmeschlitz (6) derart vorsieht, dass zum Greifen und Halten ein Mikrometer- oder Submikrometer-skaliges Objekt in den Aufnahmeschlitz klemmbar ist, sowie ein gattungsgemäßer Mikrogreif er. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass der Basiskörper und der Greif körper mittels eines Materialabscheideverfahrens unter Ausbildung wenigstens einer gemeinsamen ersten und einer gemeinsamen zweiten Materialschicht (3,4) hergestellt werden, und dass die Materialschichten im Wesentlichen eben ausgebildet und miteinander unter Durchführung der folgenden Verfahrensschritte verbunden werden: Bereitstellen einer ebenen Substratoberfläche, Aufbringen einer ersten.Opferschicht (13) auf die Substratoberfläche, Aufbringen der ersten Materialschicht (3) auf die erste Opferschicht (13), Aufbringen einer zweiten Opferschicht (14) auf die erste Materialschicht (3), zumindest auf einen lokalen Bereich der ersten Materialschicht, Aufbringen der zweiten Materialschicht (4) auf der ersten Materialschicht (3) sowie der zweiten Opferschicht (14), Entfernen der zweiten Opferschicht (14) zur Ausbildung des Aufnahmeschlitzes und Entfernen der ersten Opferschicht (13) zur Ablösung des hergestellten Mikrogreifers von der Substratoberfläche.
    • 用于制造微夹持器(8)包括一个基体和一个整体地连接到基体把持体,其突出于基体和自由端区域(6)进行说明的接收槽提供了这样的方式的方法,其用于抓持并保持的千分尺 - 或亚微米skaliges对象插入插槽可被夹紧,和一个通用的微抓它。 本发明的特征在于,所述基体和所述夹持器主体通过材料沉积方法以形成至少一个公共第一和公共第二材料层(3,4)中产生,并且所述材料层是基本上平面的,并且相互以执行以下 工艺步骤被连接:提供平面衬底表面,将该衬底表面上施加ersten.Opferschicht(13),沉积所述第一材料层(3)所述第一牺牲层(13),沉积所述第一材料层上形成第二牺牲层(14)(3)上 中,至少所述第一材料层的局部区域,所述第一材料层(3)和第二牺牲层(14)上施加第二材料层(4),除去所述第二牺牲层(14),以形成容纳槽和去除所述第一牺牲层(13 )取代hergeste 从衬底表面llten微夹钳。