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71. 发明申请

WO2021036133A1 激光器审中-公开
公开(公告)号：WO2021036133A1
公开(公告)日：2021-03-04
申请号：PCT/CN2019/128717
申请日：2019-12-26
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人：乔山 , 曾志男 , 梁晓燕
IPC分类号： H01S3/0959 , H01S3/097 , H01S3/22
摘要：一种激光器，包括：具有能量由低到高的基态、中间态及激发态的介质（2）；用于将介质（2）中的电子从基态激发至中间态的激励系统（3，4，5）；用于将介质（2）中处于不同空间位置的中间态的电子以固定的位相关系通过受激辐射过程退激至基态，发出相对波长更短的激光的激励激光器（1）。由于使用激励激光器（1）使电子从中间态跃迁，受激辐射产生的光子具有相干性，从而形成激光。通过采用激励系统（3，4，5）进行第一次泵浦再结合波长相对较长的激励激光器（1）进行第二次泵浦产生波长相对较短的激光，使短波长激光器的结构简单紧凑且易于实现，并可以降低短波长激光器的成本并实现具有更短波长的激光器。

72. 发明申请

WO2021008929A1 LIGHT SOURCES AND METHODS OF CONTROLLING; DEVICES AND METHODS FOR USE IN MEASUREMENT APPLICATIONS 审中-公开
公开(公告)号：WO2021008929A1
公开(公告)日：2021-01-21
申请号：PCT/EP2020/069059
申请日：2020-07-07
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： REIJNDERS, Marinus, Petrus , SABERT, Hendrik , UEBEL, Patrick, Sebastian
IPC分类号： G03F7/20 , G01N21/956 , H01S3/13 , H01S3/22
摘要： Provided are light sources and methods of controlling them, and devices and methods for use in measurement applications, particularly in metrology, for example in a lithographic apparatus. The methods and devices provide mechanisms for detection and/or correction of variations in the light source, in particular stochastic variations. Feedback or feedforward approaches can be used for the correction of the source and/or the metrology outputs. An exemplary method of controlling the spectral output of a light source which emits a time-varying spectrum of light includes the steps of: determining at least one characteristic of the spectrum of light emitted from the light source; and using said determined characteristic to control the spectral output.

73. 发明申请

WO2015149194A1 一种射频激励的气体激光器及其制备方法审中-公开
公开(公告)号：WO2015149194A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/CN2014/000358
申请日：2014-04-01
申请人：徐海军
发明人：徐海军
IPC分类号： H01S3/034 , H01S3/08 , H01S3/22
CPC分类号： H01S3/034 , H01S3/08059 , H01S3/0971
摘要：一种射频激励的气体激光器及其制备方法，该射频激励的气体激光器，包括：填充有作为激光工作介质的气体的密封腔体（1），在密封腔体（1）内安装有正电极板（6）和负电极板（7），密封腔体的前密封法兰（4）的内侧上形成有光学反射镜面（5），密封腔体的后密封法兰（2）的内侧上形成有光学反射镜面（3），前密封法兰（4）的内侧上形成的光学反射镜面（5）与后密封法兰（2）的内侧上形成的光学反射镜面（3）构成谐振腔。

74. 发明申请

WO2015114682A1 酸素分子レーザ発振器审中-公开
标题翻译：分子氧激光振荡器
公开(公告)号：WO2015114682A1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：PCT/JP2014/000478
申请日：2014-01-30
申请人：武久究
发明人：武久　究
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/041 , H01S3/095
CPC分类号： H01S3/2215 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/095 , H01S3/223
摘要：励起酸素分子（O 2 ( 1 Δ g )）から直接レーザ発振できる酸素分子レーザ発振器を提供する。本実施の形態にかかる酸素分子レーザ発振器（１００）は、回転円板（２０４）が設けられた励起酸素発生器（１３０）と、励起酸素発生器（１３０）の真上に配置され、励起酸素発生器（１３０）に直結されたレーザ共振器１０２と、を備えたものである。本実施の形態にかかる酸素分子レーザ発振器において、励起酸素発生器（１３０）とレーザ共振器（１０２）との間に隔壁（１１２）が設けられていてもよい。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种分子氧激光振荡器，由此可以直接引起来自激发的单线态氧（O 2（1Δg））的激光振荡。根据本实施例的分子氧激光振荡器（100）包括激发氧发射器（130），随后设置旋转盘（204），并且激光谐振器（102）位于激发的氧发射器（130）正上方，并且直接耦合到其上。关于根据本实施例的分子氧激光振荡器（100），对于要设置在激发的氧发射器（130）和激光谐振器（102）之间的隔板（112），也是允许的。

75. 发明申请

WO2015059731A1 酸素分子レーザ発振器审中-公开
标题翻译：分子氧激光振荡器
公开(公告)号：WO2015059731A1
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：PCT/JP2013/006205
申请日：2013-10-21
申请人：武久究
发明人：武久　究
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/095 , H01S3/121
CPC分类号： H01S3/123 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/08059 , H01S3/081 , H01S3/0815 , H01S3/0816 , H01S3/0817 , H01S3/0818 , H01S3/0835 , H01S3/095 , H01S3/097 , H01S3/104 , H01S3/121 , H01S3/134 , H01S3/22 , H01S3/223
摘要：励起状酸素分子（O 2 ( 1 Δ g )）から直接レーザ発振できる発振器を提供する。レーザ共振器（１１５）は出力鏡（１０７）と凹面鏡（１０８）を備えている。チャンバ（１０２Ａ）内に、励起酸素発生器（１０５）から発生するO 2 ( 1 Δ g )が満たされる。一方、放物面鏡（１０９）によって集光点（１１２）が形成され、集光点（１１２）に機械式のシャッタ（１１３）が配置されている。レーザ発振させる際は、シャッタ（１１３）を開くことで、共振器内部でO 2 ( 1 Δ g )から発生した自然放出光はレーザ共振器間を往復してO 2 ( 1 Δ g )は誘導放出し、パルス状のレーザ光（ＬＡ１１）が出力鏡（１０７）から取り出される。
摘要翻译：提供了可以直接从激发的氧分子（O 2（1Δg））形成激光振荡的振荡器。激光振荡器（115）设置有输出反射镜（107）和凹面镜（108）。腔室（102A）的内部填充有由激发氧气发生器（105）产生的O2（1Δg）。同时，焦点（112）由抛物面镜（109）形成，并且机械快门（113）设置在焦点（112）处。当激光振荡发生时，振荡器内的O2（1Δg）产生的自然发射光在振荡器中来回移动，O2（1Δg）通过打开快门（113）和脉冲激光（113）形成感应发射 LA11）从输出镜107提取。

76. 发明申请

WO2014044866A1 A GAS CIRCULATION LOOP FOR A LASER DISCHARGE TUBE 审中-公开
标题翻译：用于激光放电管的气体循环环
公开(公告)号：WO2014044866A1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：PCT/EP2013/069801
申请日：2013-09-24
申请人： EXCICO FRANCE
发明人： CHASTAN, Nicolas , GRELLET, Julien
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/22 , H01S3/223 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/041
摘要： The present invention is directed to gas circulation loop for a laser discharge tube comprising a gas supply duct (a) and a gas exhaust duct (c), wherein the gas supply duct (a) and/or the gas exhaust duct (c) is elongated in the longitudinal direction of the laser discharge tube (b) and connected to the laser discharge tube (b by an inlet flow distributor and, respectively an outlet flow distributor, adapted for controlled transversal gas inlet and, respectively outlet, over at least part of the laser discharge tube (b), and wherein the inlet flow distributor and/or the outlet flow distributor comprise a plurality of respective inlet channels or outlet channels, characterized in that the ratio between the diameter of the gas supply duct (a) and the diameter of the inlet channels, and/or the ratio between the diameter of the gas exhaust duct (c) and the diameter of the outlet channels is at least 2. Further, the present invention is directed to a laser apparatus comprising such gas circulation loop.
摘要翻译：本发明涉及一种包括气体供应管道（a）和排气管道（c）的激光放电管的气体循环回路，其中气体供应管道（a）和/或排气管道（c）是在激光放电管（b）的纵向方向上延伸并且通过入口流量分配器和分别与适于受控横向气体入口的出口流量分配器连接到激光放电管（b），并且分别出口至少部分地连接，并且其中所述入口流量分配器和/或所述出口流量分配器包括多个相应的入口通道或出口通道，其特征在于，所述气体供应管道（a）的直径与入口通道的直径和/或气体排出管道（c）的直径与出口通道的直径之间的比例至少为2.此外，本发明涉及一种包括这种气体气体的激光设备电路循环。

77. 发明申请

WO2013009911A3 PHOTODISSOCIATION AND LASING IN AIR FOR REMOTE SENSING 审中-公开
标题翻译：空气中的光电和激光进行远程感测
公开(公告)号：WO2013009911A3
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：PCT/US2012046305
申请日：2012-07-11
申请人： UNIV PRINCETON , MILES RICHARD B , DOGARIU ARTHUR , MICHAEL JAMES B
发明人： MILES RICHARD B , DOGARIU ARTHUR , MICHAEL JAMES B
IPC分类号： H01S3/22 , G01N21/17 , G01N21/65 , H01S3/00 , H01S3/094 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/097 , G01N21/1717 , G01N21/65 , G01N2021/1725 , G01N2021/1793 , G01N2021/655 , H01S3/0014 , H01S3/094092 , H01S3/22 , H01S3/2391
摘要： Systems and methods for lasing molecular gases, and systems and methods of detecting molecular species are provided. The systems and methods can include the use of an excitation laser (820) tuned to a wavelength associated with oxygen or nitrogen. The lasing-can occur in both the forward and reverse directions relative to the excitation laser beam (822). Reverse lasing can provide a laser beam (824) that propagates back toward the excitation laser source (820), and can provide a method for remote sampling of molecular species contained in the air with a dichroic beam splitter (835) and detector (830). For example, systems and methods of detecting a molecular species of interest can be achieved by using the properties of the backward or forward propagating air laser to indicate a change in a pulse from the source of laser pulses caused by a modulation laser (810) tuned to interact with the molecular species of interest by changing the properties of the air by heating or multi-photon ionization of a Raman interaction.
摘要翻译：提供了用于激发分子气体的系统和方法，以及检测分子种类的系统和方法。系统和方法可以包括使用调谐到与氧或氮相关的波长的激发激光器（820）。激光可以相对于激发激光束（822）在正向和反向方向上发生。反向激光可以提供朝向激发激光源（820）传播的激光束（824），并且可以提供用二色性分束器（835）和检测器（830）远程采样包含在空气中的分子种类的方法，。例如，可以通过使用反向或正向传播的空气激光器的特性来指示从由调制激光器（810）调谐的激光脉冲源引起的脉冲的变化来实现检测感兴趣的分子种类的系统和方法通过改变拉曼相互作用的加热或多光子电离来改变空气的性质来与感兴趣的分子物质相互作用。

78. 发明申请

WO2013002970A1 SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATIC GAS OPTIMIZATION IN A TWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：二室气体放电激光系统中自动气体优化的系统与方法
公开(公告)号：WO2013002970A1
公开(公告)日：2013-01-03
申请号：PCT/US2012/040933
申请日：2012-06-05
申请人： CYMER, INC. , O'BRIEN, Kevin, M. , THORNES, Joshua, J. , RIGGS, Daniel, J. , JIANG, Rui
发明人： O'BRIEN, Kevin, M. , THORNES, Joshua, J. , RIGGS, Daniel, J. , JIANG, Rui
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/104 , H01S3/2251 , H01S3/2366
摘要： A system and method for automatically performing gas optimization after a refill in the chambers of a two chamber gas discharge laser such as an excimer laser. The laser is continuously fired at a low power output, and the gas in the amplifier laser chamber bled until the discharge voltage meets/exceeds a minimum value without dropping the pressure below a minimum value. The power output is increased, and the gas bled again until the voltage and pressure meet/exceed the minimum values. The laser is then fired in a burst pattern that approximates the expected firing of the laser in operation, and the gas bled until the discharge voltage meets/exceeds the minimum value and the output energy meets/exceeds a minimum value, again without dropping the pressure in the chamber below the minimum value. Once the minimum values are provided, the process runs quickly without manual interaction.
摘要翻译：一种用于在诸如准分子激光器的二室气体放电激光器的腔室中的再填充之后自动执行气体优化的系统和方法。激光器以低功率输出连续点火，并且放大器激光器室中的气体排出直到放电电压达到/超过最小值，而不将压力降低到最小值以下。功率输出增加，气体再次流出，直到电压和压力达到/超过最小值。然后以突发模式发射激光，其近似于操作中激光器的预期发射，并且气体流出直到放电电压达到/超过最小值，并且输出能量达到/超过最小值，同时不降低压力在室内低于最小值。一旦提供最小值，该过程即可快速运行，无需手动交互。

79. 发明申请

WO2012115939A2 CERAMIC SLAB, FREE-SPACE AND WAVEGUIDE LASERS 审中-公开
标题翻译：陶瓷板，自由空间和波长激光
公开(公告)号：WO2012115939A2
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/US2012/025887
申请日：2012-02-21
申请人： IRADION LASER, INC. , MORROW, Clifford, E. , WEINGARTNER, Wendelin
发明人： MORROW, Clifford, E. , WEINGARTNER, Wendelin
IPC分类号： H01S3/04 , H01S3/22
CPC分类号： H01S3/2232 , H01S3/0305 , H01S3/0315 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08081 , H01S3/08095
摘要： A laser (10) may comprise a ceramic body (12) including a first wall (32) and a second wall (32) opposite the first wall (32), a first mirror (16) positioned at first ends of the first and second walls (32), a second mirror (18) positioned at second ends of the first and second walls (32) opposite the first ends, the first and second walls (32) and the first and second mirrors (16, 18) defining a slab laser cavity (14) within the ceramic body (12). The laser (10) may further comprise a first electrode (24) positioned outside the laser cavity (14) and adjacent to the first wall (32) of the ceramic body (12) and a second electrode (26) positioned outside the laser cavity (14) and adjacent to the second wall (32) of the ceramic body (12), wherein a laser gas disposed in the laser cavity (14) is excited when an excitation signal is applied to the first and second electrodes (24, 26).
摘要翻译：激光器（10）可以包括陶瓷体（12），其包括第一壁（32）和与第一壁（32）相对的第二壁（32），第一反射镜（16）位于第一和第二壁壁（32），位于与第一端相对的第一和第二壁（32）的第二端处的第二反射镜（18），第一和第二壁（32）以及第一和第二反射镜（16,18）在陶瓷体（12）内的平板激光腔（14）。激光器（10）还可以包括位于激光腔（14）外部并且邻近陶瓷体（12）的第一壁（32）的第一电极（24）和位于激光腔外部的第二电极（26）（14）并且与陶瓷体（12）的第二壁（32）相邻，其中当将激发信号施加到第一和第二电极（24,26）时激励设置在激光腔（14）中的激光气体）。

80. 发明申请

WO2011142849A9 GAS FILLED HOLLOW FIBER LASER 审中-公开
公开(公告)号：WO2011142849A9
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/US2011/022080
申请日：2011-01-21
申请人： RUDOLPH, Wolfgang, G. , RATANAVIS, Amarin , NAMPOOTHIRI, Vasudevan , CORWIN, Kristan, L. , JONES, Andrew, M. , WASHBURN, Brian, R. , KADEL, Rajesh , ZAVADA, John, M.
发明人： RUDOLPH, Wolfgang, G. , RATANAVIS, Amarin , NAMPOOTHIRI, Vasudevan , CORWIN, Kristan, L. , JONES, Andrew, M. , WASHBURN, Brian, R. , KADEL, Rajesh , ZAVADA, John, M.
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/097 , H01S3/22
摘要： Apparatus, systems, and methods using an optically pumped gas filled hollow fiber laser can be implemented in a variety of applications. In various embodiments, operation of an optically pumped gas filled hollow fiber laser is based on population inversion in the gas. Additional apparatus, systems, and methods are disclosed.

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