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1. 发明申请

WO2013113306A8 CO2 LASER WITH RAPID POWER CONTROL 审中-公开
标题翻译：与快速功率控制CO2激光
公开(公告)号：WO2013113306A8
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/DE2013000069
申请日：2013-01-31
申请人： IAI IND SYSTEMS B V , STAUPENDAHL GISBERT
发明人： STAUPENDAHL GISBERT
IPC分类号： H01S3/223 , B23K26/02 , B23K26/06 , H01S3/08
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/032 , B23K26/0622 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/704 , H01S3/0064 , H01S3/08009 , H01S3/08054 , H01S3/10061 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/121 , H01S3/2232
摘要： The invention relates to a CO2 laser which allows for rapid power modulation, particularly highly efficient Q-switching. The key concept is the sub-division of the resonator into a high-power branch, containing inter alia the active medium (1), and a low-power feedback branch (14), in which the power-sensitive beam-shaping elements, particularly the modulators, are arranged. This is made possible by a suitable arrangement of a polarisation beam splitter (5) and a lambda/4-phase shifter (2). The free adjustability of an angle phi between said two components permits the extremely flexible realisation of various operating modes, particularly optimisation of the feedback degree during pulse generation.
摘要翻译：本发明是一种CO 2激光器，其允许快速功率调制，特别是高效率的Q开关。其核心思想是谐振器的划分在一个高性能的分支，其中除其他外，激活介质（1），和一个低功耗的反馈支路（14），其中，用于光束整形性能敏感元件，特别是调制器布置。这是通过一个偏振分束器（5）和一个lambda / 4移相器（2）的一个合适的布置成为可能。这两个部件之间的角度披的自由调节性允许非常灵活的实现不同的操作模式的，特别是在反馈脉冲发生的程度的优化。

2. 发明申请

WO2008048415A2 DRIVE LASER DELIVERY SYSTEMS FOR EUV LIGHT SOURCE 审中-公开
标题翻译：用于EUV光源的DRIVE LASER DELIVERY系统
公开(公告)号：WO2008048415A2
公开(公告)日：2008-04-24
申请号：PCT/US2007/020897
申请日：2007-09-27
申请人： CYMER, INC.(A NEVADA CORPORATION) , BYKANOV, Alexander, N. , FOMENKOV, Igor, V. , KHODYKIN, Oleh, V. , ERSHOV, Alexander, I.
发明人： BYKANOV, Alexander, N. , FOMENKOV, Igor, V. , KHODYKIN, Oleh, V. , ERSHOV, Alexander, I.
IPC分类号： G01J3/10
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70033 , H01S3/0064 , H01S3/073 , H01S3/0805 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/083 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/1066 , H01S3/115 , H01S3/121 , H01S3/127 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/2383 , H05G2/008
摘要： An LPP EUV light source is disclosed having an optic positioned in the plasma chamber for reflecting EUV light generated therein and a laser input window. For this aspect, the EUV light source may be configured to expose the optic to a gaseous etchant pressure for optic cleaning while the window is exposed to a lower gaseous etchant pressure to avoid window coating deterioration. In another aspect, an EUV light source may comprise a target material positionable along a beam path to participate in a first interaction with light on the beam path; an optical amplifier; and at least one optic directing photons scattered from the first interaction into the optical amplifier to produce a laser beam on the beam path for a subsequent interaction with the target material to produce an EUV light emitting plasma.
摘要翻译：公开了一种LPP EUV光源，其具有位于等离子体腔室中用于反射其中产生的EUV光的光学器件和激光输入窗口。对于这个方面，EUV光源可以被配置为将光学器件暴露于气体蚀刻剂压力以用于光学清洁，同时窗口暴露于较低的气体蚀刻剂压力以避免窗口涂层劣化。在另一方面，EUV光源可以包括可沿着光束路径定位的目标材料，以参与与光束路径上的光的第一相互作用; 一个光放大器; 以及至少一个光学引导光子，其从第一相互作用中散射到光学放大器中，以在光束路径上产生激光束，用于随后与靶材料相互作用以产生EUV发光等离子体。

3. 发明申请

WO2013113306A1 CO2-LASER MIT SCHNELLER LEISTUNGSSTEUERUNG 审中-公开
标题翻译：与快速功率控制CO2激光
公开(公告)号：WO2013113306A1
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：PCT/DE2013/000069
申请日：2013-01-31
申请人： IAI INDUSTRIAL SYSTEMS B.V.
发明人： STAUPENDAHL, Gisbert
IPC分类号： H01S3/223 , H01S3/08 , B23K26/02 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/032 , B23K26/0622 , B23K26/066 , B23K26/067 , B23K26/704 , H01S3/0064 , H01S3/08009 , H01S3/08054 , H01S3/10061 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/121 , H01S3/2232
摘要： Gegenstand der Erfindung ist ein CO 2 -Laser, der eine schnelle Leistungsmodulation, insbesondere eine hocheffiziente Güteschaltung ermöglicht. Kerngedanke ist dabei die Unterteilung des Resonators in einen Hochleistungszweig, der u.a. das aktive Medium (1) enthält, sowie einen Niederleistungs-Rückkoppelzweig (14), in dem die leistungsempfindlichen Elemente zur Strahlformung, insbesondere die Modulatoren, angeordnet sind. Ermöglicht wird dies durch eine geeignete Anordnung eines Polarisationsstrahlteilers (5) und eines λ/4-Phasenschiebers (2). Die freie Einstellbarkeit eines Winkels φ zwischen diesen beiden Bauelementen gestattet die außerordentlich flexible Realisierung verschiedener Betriebsarten, insbesondere die Optimierung des Rückkoppelgrades bei der Impulserzeugung.
摘要翻译：本发明是一种CO 2激光器，其允许快速功率调制，特别是高效率的Q开关。其核心思想是谐振器的划分在一个高性能的分支，其中除其他外，激活介质（1），和一个低功耗的反馈支路（14），其中，用于光束整形性能敏感元件，特别是调制器布置。这是通过一个偏振分束器（5）和一个lambda / 4移相器（2）的一个合适的布置成为可能。这两个部件之间的角度披的自由调节性允许非常灵活的实现不同的操作模式的，特别是在反馈脉冲发生的程度的优化。

4. 发明申请

WO2008048415A3 DRIVE LASER DELIVERY SYSTEMS FOR EUV LIGHT SOURCE 审中-公开
标题翻译：用于EUV光源的驱动激光输送系统
公开(公告)号：WO2008048415A3
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：PCT/US2007020897
申请日：2007-09-27
申请人： CYMER INC A NEVADA CORP , BYKANOV ALEXANDER N , FOMENKOV IGOR V , KHODYKIN OLEH V , ERSHOV ALEXANDER I
发明人： BYKANOV ALEXANDER N , FOMENKOV IGOR V , KHODYKIN OLEH V , ERSHOV ALEXANDER I
IPC分类号： G01J3/10
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70033 , H01S3/0064 , H01S3/073 , H01S3/0805 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/083 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/1066 , H01S3/115 , H01S3/121 , H01S3/127 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/2383 , H05G2/008
摘要： An LPP EUV light source is disclosed having an optic positioned in the plasma chamber for reflecting EUV light generated therein and a laser input window. For this aspect, the EUV light source may be configured to expose the optic to a gaseous etchant pressure for optic cleaning while the window is exposed to a lower gaseous etchant pressure to avoid window coating deterioration. In another aspect, an EUV light source may comprise a target material positionable along a beam path to participate in a first interaction with light on the beam path; an optical amplifier; and at least one optic directing photons scattered from the first interaction into the optical amplifier to produce a laser beam on the beam path for a subsequent interaction with the target material to produce an EUV light emitting plasma.
摘要翻译：公开了一种LPP EUV光源，其具有位于等离子体室中的光学器件，用于反射在其中产生的EUV光和激光输入窗口。对于该方面，EUV光源可以被配置为将窗口暴露于更低的气体蚀刻剂压力以将窗口暴露于气体蚀刻剂压力以进行光学清洁，以避免窗口涂层变质。在另一方面，EUV光源可以包括沿着光束路径定位以参与与光束路径上的光的第一相互作用的目标材料; 光放大器; 以及至少一个光导向光子从第一相互作用散射到光放大器中以在光束路径上产生激光束，用于随后与目标材料的相互作用以产生EUV发光等离子体。

5. 发明申请

WO03073568A2 LASER MODULATION AND Q-SWITCHING USING AN INVERSE FABRY-PEROT FILTER 审中-公开
标题翻译：激光调制和Q开关使用反相机滤波器
公开(公告)号：WO03073568A2
公开(公告)日：2003-09-04
申请号：PCT/US0305509
申请日：2003-02-21
申请人： COHERENT INC
发明人： MUELLER ERIC R
IPC分类号： H01S3/08 , H01S3/081 , H01S3/121 , H01S3/223 , H01S5/00
CPC分类号： H01S3/121 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/2232
摘要： A laser includes an external modulation device including two spaced-apart wire-grids. The device has a reflectivity peak at a wavelength dependent on the spacing between the wire grids. The device is arranged to reflect and transmit radiation received from the laser. The reflected and transmitted radiation are modulated by varying the spacing between the wire-grid polarizers. The device may be used as an end mirror or a fold mirror of a laser resonator and operated as a Q-switch for the laser resonator. Q-switching is accomplished by varying the reflectivity of the device at the lasing wavelength from below to above a threshold reflectivity value for lasing.
摘要翻译：激光器包括包括两个间隔开的线栅的外部调制装置。该器件在取决于线栅之间的间距的波长处具有反射率峰值。该装置被布置成反射和发射从激光器接收的辐射。通过改变线栅偏振器之间的间距来调制反射和透射的辐射。该器件可以用作激光谐振器的端镜或折光镜，并且作为用于激光谐振器的Q开关来操作。通过将激光波长的器件的反射率从下方改变到高于用于激光的阈值反射率值来实现Q切换。

6. 发明申请

WO2017209355A1 피코초 펄스 레이저 장치 및 구동 방법 审中-公开
标题翻译：皮秒脉冲激光装置和驱动方法
公开(公告)号：WO2017209355A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/011666
申请日：2016-10-18
申请人： 원텍 주식회사
发明人： 김정현
IPC分类号： H01S3/121 , H01S3/127 , G01J1/42
CPC分类号： G01J1/42 , H01S3/121 , H01S3/127
摘要： 본 발명은 피코초 레이저 펄스열의 발생에 과한 것으로서, 보다 상세하게는 높은 피크 출력을 갖는 피코초 레이저 펄스열의 발생에 관한 것이다. 이를 위해서 제1광스위칭 소자(102)와 제2광스위칭 소자(105)를 공진기 내부에 위치시키고, 제1광스위칭 소자(102)와 제2광스위칭 소자(105)를 통해서 고출력 피코초 펄스 레이저를 생성하도록 하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及皮秒激光脉冲串的产生，并且更具体地涉及具有高峰值输出的皮秒激光脉冲串的产生。为此位置的第一光开关装置102和谐振器内的第二光开关元件（105），第一光开关装置102，并通过光开关装置105中的第二高功率皮秒脉冲，激光。＆lt; / p＆gt;

7. 发明申请

WO2013047250A1 レーザ光源ユニット及び光音響画像生成装置审中-公开
标题翻译：激光源单元和光学声像发生器件
公开(公告)号：WO2013047250A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/JP2012/073733
申请日：2012-09-14
申请人：富士フイルム株式会社 , 笠松直史 , 広田和弘
发明人：笠松　直史 , 広田　和弘
IPC分类号： H01S3/121 , A61B8/00 , G01N29/00 , H01S3/123
CPC分类号： G01N29/2418 , A61B5/0095 , A61B2562/0233 , G01N29/46 , G01N2291/02475 , H01S3/08027 , H01S3/092 , H01S3/105 , H01S3/106 , H01S3/121 , H01S3/123
摘要：レーザ光源ユニットにおいて、簡易な構成で、複数の波長を連続的に切り替えながらＱスイッチパルス発振を得る。レーザ光源ユニット１３は、相互に異なる複数の波長のパルスレーザ光を出射する。フラッシュランプ５２は、レーザロッド５１に励起光を照射する。一対のミラー５３、５４は、レーザロッド５１を挟んで対向する。一対のミラー５３、５４により、光共振器が構成される。波長選択手段５６は、光共振器内で共振する光の波長を、レーザ光源ユニット１３が出射すべき複数の波長のうちの何れかに制御する。駆動手段５７は、光共振器がＱスイッチパルス発振するように波長選択手段５６を駆動する。
摘要翻译：在本发明中，通过在激光源单元中连续切换多个波长，以简单的结构获取Q开关脉冲振荡。激光源单元（13）发射具有多个不同波长的脉冲激光。闪光灯（52）用激发光照射激光棒（51）。一对反射镜（53,54）彼此相对，其间夹着激光棒（51）。光谐振器由一对反射镜（53,54）组成。波长选择装置（56）控制在光谐振器中谐振的光的波长，使得它是由激光源单元（13）发射的多个波长之一。驱动装置（57）驱动波长选择装置（56），使得光谐振器执行Q开关脉冲振荡。

8. 发明申请

WO1986005631A1 ARRANGEMENT FOR FAST SWITCHING BETWEEN DIFFERENT WAVELENGTHS IN LASERS 审中-公开
标题翻译：激光之间不同波长之间快速切换的布置
公开(公告)号：WO1986005631A1
公开(公告)日：1986-09-25
申请号：PCT/EP1986000104
申请日：1986-03-01
申请人： BATTELLE - INSTITUT E.V. , ENDEMANN, Martin , HOEFFGEN, Hansjürgen
发明人： BATTELLE - INSTITUT E.V.
IPC分类号： H01S03/10
CPC分类号： H01S3/121 , H01S3/0826 , H01S3/105 , H01S3/106 , H01S3/123
摘要： In order to rapidly modify the wave lengths of lasers, a rotary mirror (1) with apertures and configured like a blade wheel, is arranged in the laser resonator. Said mirror alternatingly allows the light to pass up to a grid (2) or deviates the light to at least a second grid (3) or to a second mirror. A pivoting mirror controlling a grid may be used instead of the apertured mirror. The pivoting mirror moves at a constant frequency but with a variable amplitude.
摘要翻译：为了快速地修改激光器的波长，在激光谐振器中布置有具有孔并且被配置为类似于叶轮的旋转镜（1）。所述镜交替地允许光通过栅格（2）或将光偏转到至少第二格栅（3）或将第二格栅偏转到第二反射镜。可以使用控制网格的旋转镜来代替有孔镜。枢转镜以恒定频率移动，但具有可变幅度。

9. 发明申请

WO2018092946A1 벤딩 피에조 액추에이터를 이용한 원자빔 셔터 审中-公开
公开(公告)号：WO2018092946A1
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：PCT/KR2016/013321
申请日：2016-11-18
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창용 , 유대혁 , 이원규 , 허명선 , 김휘동
IPC分类号： H05H3/02 , H01S3/121 , G01J3/42
CPC分类号： G01J3/42 , H01S3/121 , H05H3/02
摘要： 본 발명의 목적은, 벤딩 피에조 액추에이터를 이용하여 개폐가 이루어지도록 구성됨으로써, 자기장의 영향이 없고, 초고진공(UHV)에서의 적합성이 좋고, 기계적 진동이 적고, 수명이 길고, 응답이 빠른 원자빔 셔터를 제공함에 있다.

10. 发明申请

WO2014111626A1 POWERFUL PULSED SELF-SEEDING CO2 LASER 审中-公开
标题翻译：强力自激式CO2激光器
公开(公告)号：WO2014111626A1
公开(公告)日：2014-07-24
申请号：PCT/FI2014/050035
申请日：2014-01-16
申请人： HYPERMEMO OY
发明人： KIYKO, Vadim
IPC分类号： H01S3/082 , H01S3/081 , H01S3/11 , H01S3/223 , H01S3/00
CPC分类号： H01S3/0818 , H01S3/08068 , H01S3/0817 , H01S3/082 , H01S3/09702 , H01S3/104 , H01S3/11 , H01S3/121 , H01S3/2232
摘要： The present disclosure discloses a CO 2 laser and a method for the CO 2 laser. The CO 2 laser comprises an unstable laser cavity in the form of a first optical resonator having a semi-transparent output coupler (3), a laser medium (2) in the unstable laser cavity, and means (1) for exciting the laser medium (2). A part of the laser beam propagating beyond the light aperture of the output coupler (3) is directed to a second resonator, the second resonator comprising at least one focusing member (6), and the optical length of the second resonator being equal or multiple to the optical length of the first optical resonator. The part of the laser beam passing through the focal plane of the focusing member (6) is modulated by using a Q-switching device (8) in a manner that the excitation of the laser medium is in synchrony with the operation of the Q-switching device (8).
摘要翻译：本公开公开了一种CO2激光器和用于CO 2激光器的方法。 CO 2激光器包括具有半透明输出耦合器（3），不稳定激光腔中的激光介质（2）和激光介质激光器（1）的第一光谐振器形式的不稳定激光腔， 2）。传播超过输出耦合器（3）的光孔的激光束的一部分被引导到第二谐振器，第二谐振器包括至少一个聚焦构件（6），并且第二谐振器的光学长度相等或多到第一光学谐振器的光学长度。通过使用Q开关装置（8），通过激光介质的激发与Q-转换装置的操作同步地使通过聚焦构件（6）的焦平面的激光束的部分被调制，开关装置（8）。

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