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51. 发明申请

WO2006120130A1 SCHNÜFFELLECKSUCHGERÄT 审中-公开
标题翻译：嗅吸测漏器
公开(公告)号：WO2006120130A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/EP2006/061971
申请日：2006-05-02
申请人： INFICON GMBH , ROLFF, Randolf , MOSER, Norbert , SEITZ, Sandra
发明人： ROLFF, Randolf , MOSER, Norbert , SEITZ, Sandra
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205
摘要： Das Schnüffellecksuchgerät weist eine Schnüffelsonde ( 15), eine Saugvorrichtung (20) und einen Gasdetektor (23) auf. Ein vom Bediener aktivierbarer Schalter (17) bewirkt die Einleitung eines Messvorganges. Der Schalter startet eine Zeitmessung, wobei nach Ablauf einer vorgegebenen Messzeit ein Alarmsignal mit einem Signalgeber (31) erzeugt wird. Das Schnüffellecksuchgerät ermöglicht eine Bedienerführung von Messpunkt (MP) zu Messpunkt, wobei die Messzeit vorgegeben ist und ihre Einhaltung überwacht wird.
摘要翻译：嗅探泄漏检测器包括一个嗅探器探针（15），抽吸装置（20）和一个气体检测器（23）。操作者激活的开关（17）导致的测量过程的开始。开关开始时间测量，其特征在于，报警信号与预定的测量时间后的信号发生器（31）生成的。嗅探器泄漏检测器能够使所述测量点（MP）来测量点的用户界面，所述测量时间被设定和遵守被监测。

52. 发明申请

WO2006094687A1 VACUUM MEASURING GAUGE 审中-公开
标题翻译：真空测量仪
公开(公告)号：WO2006094687A1
公开(公告)日：2006-09-14
申请号：PCT/EP2006/001864
申请日：2006-03-01
申请人： INFICON GMBH , KNAPP, Wolfram , WÜEST, Martin
发明人： KNAPP, Wolfram , WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J1/30 , H01J1/304 , H01J41/00 , H01J41/02 , H01J41/04 , H01J41/06 , H01J41/08 , H01J41/10 , H01J19/00 , H01J19/02 , H01J19/04 , H01J19/10
CPC分类号： G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
摘要： An electron-emitting cathode (6) consists of an electrically conducting emitter layer (7) attached to a side wall (2) which consists of stainless steel and a gate (9) which is fixed at a mall distance inside a concave emitter surface of the emitter layer (7). The cathode (6) surrounds a reaction area (3) containing a cylindrical grid-like anode (5) and a central ion collector (4) which consists of a straight axial filament. An ion collector current (lie) reflecting the densitiy of the gas in the reaction region (3) is measured by a current meter (11) while a gate voltage (V G ) is kept between the ground voltage of the emitter layer (7) and a higher anode voltage (V A ) and is regulated in such a way that an anode current (I A ) is kept constant. The emitter layer (7) may consists of carbon nanotubes, diamond-like carbon, a metal or a mixture of metals or a semiconductor material, e.g., silicon which may be coated, e.g., with carbide or molybdenum. The emitter surface can, however, also be a portion of the inside surface of the side wall roughened by, e.g., chemical etching. The gate (9) may be a grid or it may be made up of patches of metal film covering spacers distributed over the emitter area or a metal film covering an electron permeable layer placed on the emitter surface.
摘要翻译：电子发射阴极（6）由附着在由不锈钢构成的侧壁（2）上的导电发射极层（7）和门发射极层（7）。阴极（6）围绕包含圆柱形栅状阳极（5）的反应区域（3）和由直轴向丝线组成的中心离子收集器（4）。通过电流计（11）测量反映在反应区域（3）中气体密度的离子集电极电流（11a），同时栅极电压（V SUB）保持在接地电压的发射极层（7）和较高的阳极电压（V SUB），并且以使得阳极电流（I SUB）保持恒定的方式被调节。发射极层（7）可以由碳纳米管，类金刚石，金属或金属或半导体材料的混合物组成，例如可以用碳化物或钼涂覆的硅。然而，发射体表面也可以是通过例如化学蚀刻使侧壁的内表面的一部分变粗糙。栅极（9）可以是栅格，或者它可以由分布在发射极区域上的覆盖隔离物的金属膜的贴片或覆盖放置在发射器表面上的电子渗透层的金属膜构成。

53. 发明申请

WO2006040213A1 VERFAHREN UND GERÄT ZUR LECKSUCHE 审中-公开
标题翻译：方法和装置泄漏
公开(公告)号：WO2006040213A1
公开(公告)日：2006-04-20
申请号：PCT/EP2005/054166
申请日：2005-08-24
申请人： INFICON GMBH , LIEBICH, Jörn , ROLFF, Randolf , KILIAN, Ralf
发明人： LIEBICH, Jörn , ROLFF, Randolf , KILIAN, Ralf
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/202
摘要： Bei der Lecksuche wird das von einem Testgas erzeugte Signal von Störeinflüssen überlagert, die mit Zunehmen der Vakuumerzeugung in dem Behälter abklingen. In Abhängigkeit von der negativen Steigung des Mengensignals MS wird eine untere Anzeigegrenze AG errechnet. Bei Aktivierung einer Zero-Funktion wird das Mengensignal MS nicht auf Null reduziert, sondern nur auf die Höhe der Anzeigegrenze AG. Jegliches Überschreiten der unteren Anzeigegrenze wird als Leck erkannt. Damit ist zu jedem Zeitpunkt die höchstmögliche Empfindlichkeit der Leckanzeige sichergestellt.
摘要翻译：在泄漏检测由干扰的测试气体所产生的信号被叠加，其与真空容器中形成的上升的衰减。取决于容积信号MS的下限值指示，计算AG的负斜率。当启用时，零功能，音量信号MS不降低到零，但仅在显示限制AG的高度。任何超过下限值显示被识别为泄漏。从而使泄漏检测的最高灵敏度可以在任何时候都得到保证。

54. 发明申请

WO2005124309A1 LECKSUCHGERÄT MIT SCHNÜFFELSONDE 审中-公开
标题翻译：与吸气探针泄漏检测设备
公开(公告)号：WO2005124309A1
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：PCT/EP2005/002614
申请日：2005-03-11
申请人： INFICON GMBH , WETZIG, Daniel
发明人： WETZIG, Daniel
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205
摘要： Bei einem Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde ist vorgesehen, dass der als drosselnde Kapillarleitung ausgebildete Schnüffelschlauch (12), der von der Schnüffelsonde (10) zu einer Vakuumkammer (13) führt, eine in Längsrichtung variierende innere Querschnittsfläche aufweist. Die Querschnittsfläche vergrößert sich in Strömungsrichtung des angesaugten Gases, also vom Einlass (11) zur Vakuumkammer. Dadurch wird die Totzeit, d.h. die Laufzeit des Gases durch den Schnüffelschlauch (12), verringert.
摘要翻译：在具有吸入探针泄漏检测器提供的是，设计成从嗅探器探针（10）延伸到一个真空室（13）引出，具有变化的纵向内部的横截面面积的节流毛细管嗅探器管（12）。在进气的流动方向上的横截面面积增加时，从入口（11）到所述真空室，即。由此，在死区时间，即的气体通过嗅探器管（12）的持续时间被降低。

55. 发明申请

WO2004106881A2 LEAK RATE MEASURING DEVICE 审中-公开
标题翻译：泄漏测器
公开(公告)号：WO2004106881A2
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：PCT/EP2004004949
申请日：2004-05-10
申请人： INFICON GMBH , GERDAU LUDOLF , ROLFF RANDOLF , KILIAN RALF
发明人： GERDAU LUDOLF , ROLFF RANDOLF , KILIAN RALF
IPC分类号： G01M3/20 , H01J49/28 , G01M
CPC分类号： G01M3/202
摘要： The leak rate measuring device contains a strip spectrometer (8) in which the ion path (21) of the respective gas is influenced by at least one variable influencing quantity. Should a gas of mass M4 be detected, and leakages of the gas of masses M2 or M3 interfere with this detection due to a lack of selectivity of the spectrometer, the invention provides that the influencing quantity is modulated in a sinusoidal manner, and the wanted signal is subsequently selected in a lock-in amplifier. This enables the elimination of the interfering influence of underground water during the leak rate measurement while using helium as a test gas.
摘要翻译：泄漏率测量装置包括一个网络分析仪（8），其特征在于，各气体的离子路径（21）由至少一个可变影响变量的影响。当待检测的质量M4是的气体和由缺乏气体，质量M2或M3该检测的分光正的选择性的叠加，所以建议以调节影响变量正弦，然后在选择有用信号锁定放大器。因此，地下水的干扰影响可以在使用氦气作为测试气体的泄漏率测量被消除。

56. 发明申请

WO2004097363A2 LEAK DETECTOR 审中-公开
标题翻译：检漏仪
公开(公告)号：WO2004097363A2
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：PCT/EP2004003789
申请日：2004-04-08
申请人： INFICON GMBH , BOEHM THOMAS , DOEBLER ULRICH , HIRCHE RALF , GROSSE BLEY WERNER
发明人： BOEHM THOMAS , DOEBLER ULRICH , HIRCHE RALF , GROSSE BLEY WERNER
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/202
摘要： The invention relates to a leak detector operating according to a counterflow principle and comprising a first high vacuum pump (16) which operates in series with a primary pump (20). A second high vacuum pump (22) is branched at a connecting point and the entry side thereof (23) is connected to a mass-spectrometer (24). A light test gas in the form of helium flows through the second high vacuum pump (22) in an opposite direction with respect to a transport direction. A pipe (40) connecting an inlet (13) to the entry side (15) of the first high vacuum pump (16) is devoid of restricted flow zones and valves in such a way that the pumping capacity of the inventive leak detector is higher than for helium, thereby reducing the response time thereof. A valve for blocking the pipe leading to the first high vacuum pump (16) is arranged between the entry side (17) thereof and the exit side (19) of the primary pump 20.
摘要翻译：根据逆流原理泄漏检测器的操作包括被串联操作与前级泵（20）的第一高真空泵（16）。到连接点，第二高真空泵（22）被连接，它的入口侧（23）与质谱仪（24）连接。轻量级氦测试气体流过所述第二高真空泵（22）相反的输送方向。使得对于氦的高流速产生与的泄漏检测器的响应时间短的结果从所述入口（13）到所述第一高真空泵（16）的入口侧（15）的导管（40）是自由收缩和阀门。一种用于通过第一高真空泵切断阀（18）（16）领先线设置的所述高真空泵和前级泵（20）的入口侧（19）的出口侧（17）之间。

57. 发明申请

WO2004068099A1 LECKSUCHGERÄT MIT EINEM EINLASS 审中-公开
标题翻译：有进口泄漏检测设备
公开(公告)号：WO2004068099A1
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：PCT/EP2004/000161
申请日：2004-01-13
申请人： INFICON GMBH , BÖHM, Thomas
发明人： BÖHM, Thomas
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： F04D25/16 , F04D19/046 , G01M3/205
摘要： Die Erfindung betrifft ein Lecksuchgerät (1) mit einem Einlass (2), mit einer Hochvakuumpumpe (3), mit einem am Eintritt der Hochvakuumpumpe (3) angeschlossenen Testgasdetektor (6), mit einer an den Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) angeschlossenen Vorvakuumpumpe (43) sowie mit einer Testgasleitung (47, 55) zwischen dem Einlass (2) des Lecksuchgerätes (1) und der Vorvakuumpumpe (43), welche über einen Leitungsabschnitt (51) mit dem Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) in Verbindung steht; um eine Verkürzung der Ansprechzeit des Lecksuchgerätes zu erreichen, wird vorgeschlagen, dass die Leitung (51) und die Vorvakuumpumpe (43) über separate Anschlüsse (46, 22) mit dem Austrittsbereich (21) der Hochvakuumpumpe (3) verbunden sind.
摘要翻译：本发明涉及一种泄漏检测器（1）具有入口与一个高真空泵（3），具有在高真空泵的入口（3）（2）连接，以测试气体检测器（6），具有一个在高真空泵的出口区域（21）（3）连接前级泵（43），并与泄漏检测器的所述入口（2）之间的测试气体管线（47，55）（1），并经由线部分（51）的前级泵（43）连接到高真空泵的出口区域（21）（3）连通; 以实现的泄漏检测器的响应时间的缩短，所以建议的线（51），并通过单独的线路前级泵（43）（46，22）连接到高真空泵（3）的出口区域（21）连接。

58. 发明申请

WO2003060455A1 LECKSUCHVERFAHREN UND -EINRICHTUNGEN 审中-公开
标题翻译：检漏方法和机构
公开(公告)号：WO2003060455A1
公开(公告)日：2003-07-24
申请号：PCT/EP2003/000120
申请日：2003-01-09
申请人： INFICON GMBH , NOTHHELFER, Markus , SEILER, Andreas
发明人： NOTHHELFER, Markus , SEILER, Andreas
IPC分类号： G01M3/22
CPC分类号： G01M3/229 , G01M3/227 , G01M3/3281
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung von im wesentlichen gleichartigen Prüflingen (13) auf Lecks, bei welchem die Prüflinge über eine Fördereinrichtung (14) einem Lecksuchgerät (19) zugeführt, auf Lecks untersucht und über eine Fördereinrichtung (21, 22) abgeführt werden; um eine "inline" -Leckuntersuchung der Prüflinge (13) zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass jeder Prüflinge (13) zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass jeder Prüfling (13) in eine von mehreren Testkammern (19) eingesetzt wird, die sich auf einen kreisförmigen Träger (16) befinden, dass während der Rotation des Trägers (16) die Lecksuche zunächst vorbereitet und dann durchgeführt wird und dass abschlieβend die Prüflinge (13) ihrer jeweiligen Testkammer (19) entnommen und abgeführt werden.
摘要翻译：本发明涉及一种用于基本上相同的试验片13的调查是否有泄漏，其中在进料至一个泄漏检测器19的输送机14的样品中，泄漏检查和通过输送器21，22被排出到测试样本的“内联” -Leckuntersuchung的方法使如图13所示，有人建议，以使每个试验样品13，所以建议每个样本被用于由多个测试腔室19在一如图13所示，其位于该泄漏的载体16的转动过程中最初制备的圆形支撑件16 然后被执行，并从其各自的测试室19与排出的13采取abschliebetaend样本。

59. 发明申请

WO02084246A3 LEAK INDICATOR WITH TEST LEAK AND TEST LEAK FOR INTEGRATION INTO A LEAK INDICATOR 审中-公开
标题翻译：用测试泄漏测试泄漏以及用于在泄漏检测仪安装泄漏检测设备
公开(公告)号：WO02084246A3
公开(公告)日：2003-04-24
申请号：PCT/EP0202845
申请日：2002-03-14
申请人： INFICON GMBH , BOEHM THOMAS , GROSSE BLEY WERNER , ROLFF RANDOLF
发明人： BOEHM THOMAS , GROSSE BLEY WERNER , ROLFF RANDOLF
IPC分类号： G01M3/00 , G01M3/20
CPC分类号： G01M3/207
摘要： The invention relates to a leak indicator (1) comprising a housing (2) which houses components (3 to 6) of the indicator and a test leak (20), and to test leaks (20) that are suitable for integration into a leak indicator of the above-described kind.
摘要翻译：本发明涉及一种泄漏检测器（1），包括在这种类型的泄漏检测器，用于安装在壳体（2），该装置的部件（3至6）和一个测试泄漏（20）被容纳，并测试泄漏（20）是合适的。

60. 发明申请

WO2002090917A2 TESTLECKVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：测试漏DEVICE
公开(公告)号：WO2002090917A2
公开(公告)日：2002-11-14
申请号：PCT/EP2002/004902
申请日：2002-05-04
申请人： INFICON GmbH , GERDAU, Ludolf , WIDT, Rudi
发明人： GERDAU, Ludolf , WIDT, Rudi
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/207 , G01M3/007
摘要： Eine Testleckvorrichtung weist einen Testgasspeicher (12) und einen Testgasauslass (16) auf, der von einer Membran (30) aus Silizium-Oxid verschlossen ist. Ferner ist eine Heizvorrichtung zum Beheizen der Silizium-Oxid-Scheibe (32) vorgesehen. Die Durchlässigkeit für kleinmolekulare Gase ist bei Silizium-Oxid im Wesentlichen von seiner Temperatur abhängig, so dass sich durch Beheizen der Silizium-Oxid-Membran die Leckrate der Testleckvorrichtung verändern und steuern lässt.
摘要翻译：甲泄漏测试装置具有测试气体贮存器（12）和一个Testgasauslass（16），它是由从氧化硅密封的膜（30）。此外，加热器被设置用于加热硅氧化物盘（32）。渗透性小分子气体基本上取决于氧化硅其温度，使得其可以通过加热所述氧化硅膜，以改变测试泄漏装置和控制的泄漏率。

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