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1. 发明申请

WO2013068216A3 IONIZATION MANOMETER 审中-公开
标题翻译：电离
公开(公告)号：WO2013068216A3
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/EP2012070561
申请日：2012-10-17
申请人： GSI HELMHOLTZZENTRUM SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH
发明人： KOLLMUS HOLGER
IPC分类号： G01L21/32 , A61N5/10 , G01L21/34 , H01J41/02 , H05H1/00 , H05H7/00
CPC分类号： G01L21/32 , A61N5/1048 , F04C2270/0421 , G01L21/34 , H01J41/02 , H05H1/0012 , H05H7/00 , H05H2007/008
摘要： The invention relates to a measurement device (1, 2, 3, 4, 5) having an electron-releasing device (8), an electron-accepting device (13, 31, 32) and an ion-accepting device (19, 23, 24), a measuring section device (6) being provided, which is formed separately from the at least one electron-accepting device (13, 31, 32).
摘要翻译：本发明涉及一种测量装置（1，2，3，4，5）具有电子释放装置（8），电子接收装置（13，31，32）和一个lonenaufnahmevorrichtung（19，23，24），其特征在于，测量路径装置（6）设置是，这是从所述至少一个电子接收装置（13，31，32）分别形成。

2. 发明申请

WO2011099238A1 トランスデューサ型真空計审中-公开
标题翻译：传感器型真空计
公开(公告)号：WO2011099238A1
公开(公告)日：2011-08-18
申请号：PCT/JP2011/000290
申请日：2011-01-20
申请人：株式会社アルバック , 中島豊昭 , 宮下剛 , 永田寧 , 福原万沙洋 , 内田康文
发明人：中島　豊昭 , 宮下　剛 , 永田　寧 , 福原　万沙洋 , 内田　康文
IPC分类号： G01L21/00 , G01L21/12 , G01L21/32
CPC分类号： G01L21/12 , G01L21/32
摘要：　省スペース化、低電力化や低コスト化等を図るという機能を損なうことなく、測定対象物に応じて複数個所での圧力測定が可能な低ランニングコストのトランスデューサ型真空計を提供する。　真空チャンバＶＣに装着自在な本体１１を備え、この本体に、センサ部１５、１６、１７と、第１の検出手段１９と、圧力測定に必要な電力を供給する第１の電源Ｅ１と、第１の電源の作動を制御すると共に第１の検出手段からの出力を処理して圧力測定する制御手段Ｃとが一体に組み付けられている。本体には、真空チャンバの変化する圧力範囲を第１の検出手段と分担して圧力を検出し得る、センサ部を備えた第２の検出手段２が配線を介して接続可能である。本体には、第２の検出手段に対して測定に必要な電力を供給する第２の電源Ｅ２が設けられ、制御手段に第２の検出手段からの出力を取り込んで圧力測定が可能である。
摘要翻译：本发明提供一种低运行成本的换能器式真空计，能够根据被测定物测量多个位置的压力，而不会损害节省空间，降低功率或降低成本的特征。提供可附接到真空室（VC）的主体（11），并且传感器部件（15,16,17），第一检测装置（19），供应压力测量所需的电力的第一电源（E1）和通过处理来自第一检测装置的输出来控制第一电源的操作和测量压力的控制装置（C）一体地安装在主体（11）上。包括可以与第一检测装置共享真空室的压力变化范围并检测压力的传感器部分的第二检测装置可以通过布线连接到身体。在主体（11）中设置有向第二检测装置提供测量所需的功率的第二电源（E2），并且可以通过在控制装置中并入来自第二检测的输出来实现压力的测量手段。

3. 发明申请

WO2009105506A1 IONIZATION GAUGE WITH OPERATIONAL PARAMETERS AND GEOMETRY DESIGNED FOR HIGH PRESSURE OPERATION 审中-公开
标题翻译：具有运行参数和几何设计用于高压运行的离子化测量
公开(公告)号：WO2009105506A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/US2009/034460
申请日：2009-02-19
申请人： BROOKS AUTOMATION, INC. , BRUCKER, Gerardo, A.
发明人： BRUCKER, Gerardo, A.
IPC分类号： G01L21/32 , G01L21/34 , G01N27/62 , H01J37/05 , H01J41/04
CPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34 , H01J41/02
摘要： An ionization gauge to measure pressure and to reduce sputtering yields includes at least one electron source that generates electrons. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by the collisions between the electrons and gas molecules. The ionization gauge also includes an anode. An anode bias voltage relative to a bias voltage of a collector electrode is configured to switch at a predetermined pressure to decrease a yield of sputtering collisions.
摘要翻译：用于测量压力和减少溅射产生的电离计包括产生电子的至少一个电子源。电离计还包括收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子的集电极。电离计还包括阳极。相对于集电极的偏置电压的阳极偏置电压被配置为在预定压力下切换以降低溅射碰撞的产量。

4. 发明申请

WO2019244826A1 電離真空計及び制御装置审中-公开
公开(公告)号：WO2019244826A1
公开(公告)日：2019-12-26
申请号：PCT/JP2019/023844
申请日：2019-06-17
申请人：株式会社アルバック
发明人：佐藤　貴伸 , 中島　豊昭 , 宮下　剛 , 福原　万沙洋
IPC分类号： H01J41/04 , G01L21/32
摘要：本発明の一形態に係る電離真空計は、測定子と、制御部とを具備する。前記制御部は、駆動回路と、グリッド電源と、イオン電流検出回路と、電位制限回路とを有する。前記駆動回路は、電子放出源を駆動する駆動電源を含み、電子放出源とグリッドとの間に流れるエミッション電流が一定となるように前記駆動電源を制御する。前記グリッド電源は、グリッドを所定のグリッド電位に維持する。前記イオン電流検出回路は、コレクタに流入するイオン電流を検出する。前記電位制限回路は、前記駆動回路と前記グリッド電源との間に接続され、電子放出源の電位をコレクタの電位よりも高い第１の電位と前記グリッド電位よりも低い第２の電位との間の所定範囲に維持する。

5. 发明申请

WO2016151997A1 三極管型電離真空計审中-公开
标题翻译：三重型离子真空计
公开(公告)号：WO2016151997A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/JP2016/000699
申请日：2016-02-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：宮下　剛 , 中島　豊昭 , 福原　万沙洋
IPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：　イオンコレクタ表面から放出される粒子の影響を少なくして測定誤差なく測定対象物の圧力を測定することができる三極管型電離真空計を提供する。　三極管型電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、フィラメントの周囲に配置される筒状の輪郭を有するグリッド３と、グリッドの周囲に同心に配置される筒状のイオンコレクタ４とを備える。フィラメント点灯用の電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位をこのグリッドに与えるグリッド用の電源Ｅ２と、フィラメントの電位をイオンコレクタの電位よりも高くする電源Ｅ３とを更に備える。フィラメントへの供給電力を４Ｗ以下とし、フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流を２ｍＡ～１０ｍＡの範囲となるように制御する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种三极管型电离真空计，通过减少从离子收集器表面发射的颗粒的影响，可以测量待测物体的压力而不测量误差。三极管型电离真空计IG具有灯丝2，具有管状轮廓的格栅3，设置在灯丝周围，以及管状离子收集器4，其设置在栅格周围并与栅格同心。三极管型电离真空计IG还具有用于照明灯丝的电源E1，电网的电源E2，为电网提供比灯丝高的电位，以及使电源E3 灯丝的电位高于离子收集器的电位。以这样的方式进行控制，使得提供给灯丝的功率最多等于4W，灯丝与电网之间的发射电流在2mA至10mA的范围内。

6. 发明申请

WO98050768A1 BAYARD-ALPERT VACUUM GAUGE WITH NEUTRALIZATION OF X-RAY EFFECT 审中-公开
标题翻译： BAYARD-ALPERT真空计与X射线效应中和
公开(公告)号：WO98050768A1
公开(公告)日：1998-11-12
申请号：PCT/US1998/009024
申请日：1998-05-08
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34
CPC分类号： G01L21/34 , G01L21/32
摘要： A Bayard-Alpert gas pressure measuring gauge with x-ray effect neutralization comprising collector and shield electrodes that comprise the same substantially inert electrically conductive substances. Said inert substance may be gold or another substance from the group consisting of platinum and rhodium, and mixtures thereof, and alloys comprising gold, platinum or rhodium; or said substance may be selected from the group consisting of the oxides of indium, chromium, vanadium and tin, mixtures thereof, and alloys comprising one of these. An electrical potential is applied to the shield that is more negative than the potential applied to the collector, said potential on the shield being in the range from about zero volts to about -50 volts when the collector is operated at a positive potential. Said negative potential with respect to the collector enhances the reverse x-ray effect for cancellation of the forward x-ray effect in the gauge. The gauge may also comprise a modified collector geometry to further enhance the reverse x-ray effect to achieve neutralization of the total x-ray effect. A method for neutralization of the x-ray effect by modulating the shield potential is also disclosed.
摘要翻译：具有x射线效应中和的Bayard-Alpert气体压力测量计包括收集器和屏蔽电极，其包含相同的基本惰性的导电物质。所述惰性物质可以是金或来自铂和铑的其它物质及其混合物，以及包含金，铂或铑的合金; 或所述物质可以选自铟，铬，钒和锡的氧化物，其混合物和包含这些之一的合金。电势被施加到比施加到集电极的电位更负的屏蔽上，当集电极处于正电位时，屏蔽上的电位在约零伏至约-50伏的范围内。相对于收集器的所述负电位增强反向X射线效应以消除量规中的前X射线效应。量规还可以包括改进的收集器几何形状，以进一步增强反向x射线效应以实现总X射线效应的中和。还公开了通过调制屏蔽电位来中和x射线效应的方法。

7. 发明申请

WO1995013526A1 EXTRACTOR/IONIZATION VACUUM GAUGE 审中-公开
标题翻译： EXTRACTOR-电离规
公开(公告)号：WO1995013526A1
公开(公告)日：1995-05-18
申请号：PCT/EP1994003404
申请日：1994-10-15
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , GROSSE BLEY, Werner
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32
摘要： The invention concerns an extractor/ionization vacuum gauge with an extractor diaphragm (4), a cathode (8) and anode (7) located on one side of the diaphragm, and an ion trap (11) located on the other side of the diaphragm. In order to avoid interference due to X-ray effects, the invention proposes that the ion trap (11) be located immediately behind the extractor diaphragm (4) so that there is no visual (line-of-sight) contact between the anode (7) and the ion trap (11).
摘要翻译：本发明涉及一种具有Extraktorblende（4）的提取电离真空计，对Extraktorblende的一侧设置在所述阴极（8）和阳极（7），并与在Extraktorblende位于离子收集器（11）的另一侧; 以避免被透视效果的干扰，所以建议离子收集器（11）被布置成紧接后面的Extraktorblende（4），即基本上没有视线阳极之间由（7）和所述离子收集器（11）。

8. 发明申请

WO2021052599A1 VERFAHREN ZU BESTIMMUNG EINES DRUCKS UND DRUCKSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2021052599A1
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：PCT/EP2019/075367
申请日：2019-09-20
申请人： INFICON AG
发明人： RIESCH, Christian , STRIETZEL, Carsten , WÄLCHLI, Urs , KAISER, Stefan , ANDREAUS, Bernhard , WEDER, Mario
IPC分类号： G01L21/32 , G01L21/34 , H01J41/06
摘要： Verfahren (100) zur Bestimmung eines Drucks in einem Vakuumsystem, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: a) Erzeugen (101) eines Plasmas in einem Probenraum, welcher mit dem Vakuumsystem fluiddynamisch verbunden ist und welcher mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode in elektrischem Kontakt steht; b) Messen (102) einer Stromstärke eines elektrischen Stromes, der zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode durch das Plasma hindurch fliesst; c) Messen (103) einer ersten Strahlungsintensität von aus dem Plasma emittierter elektromagnetischer Strahlung eines ersten Wellenlängenbereichs, wobei der erste Wellenlängenbereich mindestens eine erste Emissionslinie einer ersten Plasmaspezies eines ersten chemischen Elements enthält; d) Messen (104) einer zweiten Strahlungsintensität von aus dem Plasma emittierter elektromagnetischer Strahlung eines zweiten Wellenlängenbereichs, wobei der zweite Wellenlängenbereich eine zweite Emissionslinie der ersten Plasmaspezies des ersten chemischen Elements oder einer zweiten Plasmaspezies des ersten chemischen Elements enthält, und wobei die zweite Emissionslinie ausserhalb des ersten Wellenlängenbereichs liegt; und e) Bestimmen (105) des Drucks) im Vakuumsystem als Funktion der gemessenen Stromstärke, der gemessenen ersten Strahlungsintensität und der gemessenen zweiten Strahlungsintensität. Weiter betrifft die Erfindung einen Vakuum-Drucksensor.

9. 发明申请

WO2013119851A1 IONIZATION GAUGE FOR HIGH PRESSURE OPERATION 审中-公开
标题翻译：用于高压运行的离子化仪
公开(公告)号：WO2013119851A1
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：PCT/US2013/025198
申请日：2013-02-07
申请人： BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人： BRUCKER, Gerardo, A.
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , G01L19/0627 , G01L21/30 , H01J1/52 , H01J41/02 , H01J41/04
摘要： An ionization gauge to measure pressure, while controlling the location of deposits resulting from sputtering when operating at high pressure, includes at least one electron source that emits electrons, and an anode that defines an ionization volume. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by collisions between the electrons and gas molecules and atoms in the ionization volume, to provide a gas pressure output. The electron source can be positioned at an end of the ionization volume, such that the exposure of the electron source to atom flux sputtered off the collector electrode and envelope surface is minimized. Alternatively, the ionization gauge can include a first shade outside of the ionization volume, the first shade being located between the electron source and the collector electrode, and, optionally, a second shade between the envelope and the electron source, such that atoms sputtered off the envelope are inhibited from depositing on the electron source.
摘要翻译：用于测量压力的电离计，同时控制在高压下操作时由溅射产生的沉积物的位置，包括至少一个发射电子的电子源和限定电离体积的阳极。电离计还包括收集电极，其收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子和电离体积中的原子，以提供气体压力输出。电子源可以位于电离体积的末端，使得电子源暴露于从集电极电极和包膜表面溅射的原子通量被最小化。或者，电离计可以包括离子化体积外的第一阴影，第一阴影位于电子源和集电极之间，以及可选地，在封套和电子源之间的第二阴影，使得原子溅射该封套被禁止沉积在电子源上。

10. 发明申请

WO2013068216A2 IONISATIONSMANOMETER 审中-公开
标题翻译：电离
公开(公告)号：WO2013068216A2
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/EP2012/070561
申请日：2012-10-17
申请人： GSI HELMHOLTZZENTRUM FÜR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH
发明人： KOLLMUS, Holger
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , A61N5/1048 , F04C2270/0421 , G01L21/34 , H01J41/02 , H05H1/0012 , H05H7/00 , H05H2007/008
摘要： Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (1, 2, 3, 4, 5) mit einer Elektronenfreisetzungsvorrichtung (8), einer Elektronenaufnahmevorrichtung (13, 31, 32) und einer lonenaufnahmevorrichtung (19, 23, 24), wobei eine Messstreckeneinrichtung (6) vorgesehen ist, welche gesondert von der zumindest einen Elektronenaufnahmevorrichtung (13, 31, 32) ausgebildet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种测量装置（1，2，3，4，5）具有电子释放装置（8），电子接收装置（13，31，32）和一个lonenaufnahmevorrichtung（19，23，24），其特征在于，测量路径装置（6）设置是，这是从所述至少一个电子接收装置（13，31，32）分别形成。

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