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1. 发明申请

WO2017007532A1 FEEDTHROUGH LEAKAGE CURRENT DETECTION AND DECONTAMINATION IN IONIZATION GAUGES 审中-公开
标题翻译：离子电流测量中的漏电流检测和去除
公开(公告)号：WO2017007532A1
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：PCT/US2016/032079
申请日：2016-05-12
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人： BLOUCH, Stephen, C. , ARNOLD, Paul, C. , BRUCKER, Gerardo, C. , GRABA, Wesley, J. , HANSEN, Douglas, C.
IPC分类号： H01J41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01J41/04
摘要： Devices and corresponding methods can be provided to test an ionization gauge, such as a hot cathode ionization gauge, for leakage currents and to respond to the leakage currents to improve pressure measurement accuracy. Responding to the leakage current can include applying a correction to a pressure measurement signal generated by the gauge based on the leakage current. Responding to the leakage current can also include removing contamination causing the leakage current, where the contamination is on electrical feedthrough insulators or other gauge surfaces. Testing and correcting for leakage currents and removing contamination can be completed with the ionization pressure gauge in situ in its environment of use, and while the gauge remains under vacuum.
摘要翻译：可以提供装置和相应的方法来测试电离计，例如热阴极电离计，用于泄漏电流，并响应泄漏电流以提高压力测量精度。响应于泄漏电流可以包括对基于泄漏电流的量规产生的压力测量信号应用校正。响应泄漏电流还可以包括去除污染导致漏电流的污染物，其中污染物位于电气馈通绝缘子或其他表面上。泄漏电流和去除污染物的测试和纠正可以在其使用环境中使用电离压力表原位完成，而仪表保持在真空状态。

2. 发明申请

WO2016151997A1 三極管型電離真空計审中-公开
标题翻译：三重型离子真空计
公开(公告)号：WO2016151997A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/JP2016/000699
申请日：2016-02-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：宮下　剛 , 中島　豊昭 , 福原　万沙洋
IPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：　イオンコレクタ表面から放出される粒子の影響を少なくして測定誤差なく測定対象物の圧力を測定することができる三極管型電離真空計を提供する。　三極管型電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、フィラメントの周囲に配置される筒状の輪郭を有するグリッド３と、グリッドの周囲に同心に配置される筒状のイオンコレクタ４とを備える。フィラメント点灯用の電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位をこのグリッドに与えるグリッド用の電源Ｅ２と、フィラメントの電位をイオンコレクタの電位よりも高くする電源Ｅ３とを更に備える。フィラメントへの供給電力を４Ｗ以下とし、フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流を２ｍＡ～１０ｍＡの範囲となるように制御する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种三极管型电离真空计，通过减少从离子收集器表面发射的颗粒的影响，可以测量待测物体的压力而不测量误差。三极管型电离真空计IG具有灯丝2，具有管状轮廓的格栅3，设置在灯丝周围，以及管状离子收集器4，其设置在栅格周围并与栅格同心。三极管型电离真空计IG还具有用于照明灯丝的电源E1，电网的电源E2，为电网提供比灯丝高的电位，以及使电源E3 灯丝的电位高于离子收集器的电位。以这样的方式进行控制，使得提供给灯丝的功率最多等于4W，灯丝与电网之间的发射电流在2mA至10mA的范围内。

3. 发明申请

WO98050768A1 BAYARD-ALPERT VACUUM GAUGE WITH NEUTRALIZATION OF X-RAY EFFECT 审中-公开
标题翻译： BAYARD-ALPERT真空计与X射线效应中和
公开(公告)号：WO98050768A1
公开(公告)日：1998-11-12
申请号：PCT/US1998/009024
申请日：1998-05-08
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34
CPC分类号： G01L21/34 , G01L21/32
摘要： A Bayard-Alpert gas pressure measuring gauge with x-ray effect neutralization comprising collector and shield electrodes that comprise the same substantially inert electrically conductive substances. Said inert substance may be gold or another substance from the group consisting of platinum and rhodium, and mixtures thereof, and alloys comprising gold, platinum or rhodium; or said substance may be selected from the group consisting of the oxides of indium, chromium, vanadium and tin, mixtures thereof, and alloys comprising one of these. An electrical potential is applied to the shield that is more negative than the potential applied to the collector, said potential on the shield being in the range from about zero volts to about -50 volts when the collector is operated at a positive potential. Said negative potential with respect to the collector enhances the reverse x-ray effect for cancellation of the forward x-ray effect in the gauge. The gauge may also comprise a modified collector geometry to further enhance the reverse x-ray effect to achieve neutralization of the total x-ray effect. A method for neutralization of the x-ray effect by modulating the shield potential is also disclosed.
摘要翻译：具有x射线效应中和的Bayard-Alpert气体压力测量计包括收集器和屏蔽电极，其包含相同的基本惰性的导电物质。所述惰性物质可以是金或来自铂和铑的其它物质及其混合物，以及包含金，铂或铑的合金; 或所述物质可以选自铟，铬，钒和锡的氧化物，其混合物和包含这些之一的合金。电势被施加到比施加到集电极的电位更负的屏蔽上，当集电极处于正电位时，屏蔽上的电位在约零伏至约-50伏的范围内。相对于收集器的所述负电位增强反向X射线效应以消除量规中的前X射线效应。量规还可以包括改进的收集器几何形状，以进一步增强反向x射线效应以实现总X射线效应的中和。还公开了通过调制屏蔽电位来中和x射线效应的方法。

4. 发明申请

WO1995013526A1 EXTRACTOR/IONIZATION VACUUM GAUGE 审中-公开
标题翻译： EXTRACTOR-电离规
公开(公告)号：WO1995013526A1
公开(公告)日：1995-05-18
申请号：PCT/EP1994003404
申请日：1994-10-15
申请人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT , GROSSE BLEY, Werner
发明人： LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32
摘要： The invention concerns an extractor/ionization vacuum gauge with an extractor diaphragm (4), a cathode (8) and anode (7) located on one side of the diaphragm, and an ion trap (11) located on the other side of the diaphragm. In order to avoid interference due to X-ray effects, the invention proposes that the ion trap (11) be located immediately behind the extractor diaphragm (4) so that there is no visual (line-of-sight) contact between the anode (7) and the ion trap (11).
摘要翻译：本发明涉及一种具有Extraktorblende（4）的提取电离真空计，对Extraktorblende的一侧设置在所述阴极（8）和阳极（7），并与在Extraktorblende位于离子收集器（11）的另一侧; 以避免被透视效果的干扰，所以建议离子收集器（11）被布置成紧接后面的Extraktorblende（4），即基本上没有视线阳极之间由（7）和所述离子收集器（11）。

5. 发明申请

WO2017192352A1 COLD CATHODE IONIZATION VACUUM GAUGE WITH MULTIPLE CATHODES 审中-公开
标题翻译：冷阴极电离真空计与多个阴极
公开(公告)号：WO2017192352A1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：PCT/US2017/029829
申请日：2017-04-27
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人： SWINNEY, Timothy, C. , PERCY, Clinton, L. , MARION, Duane, W. , KELLY, Brandon, J.
IPC分类号： H01J41/06 , G01L21/34
CPC分类号： G01L21/34 , G01L21/30 , G01L21/32 , H01J41/06
摘要： A cold cathode ionization gauge includes multiple cathodes providing different spacings between the cathodes and an anode. The multiple cathodes allow for pressure measurements over wider ranges of pressure. A first cathode with a larger spacing may provide current based on Townsend discharge; whereas, a second cathode having a smaller spacing may provide current based on both Townsend discharge at higher pressures and on Paschen's Law discharge at still higher pressures. A feature on the second cathode may support Paschen's Law discharge. Large resistances between the cathodes and a return to power supply enable control of output profiles to extend the pressure ranges with accurate responses and avoid output minima. Pressure measurements may be made based on currents from respective cathodes dependent on the outputs of the cathodes through the wide pressure range of measurement. The multiple cathodes may also provide measurements that avoid the discontinuities found in current outputs of the respective cathodes.
摘要翻译：冷阴极电离计包括在阴极和阳极之间提供不同间距的多个阴极。多个阴极可以在更宽的压力范围内进行压力测量。具有较大间距的第一阴极可以基于Townsend放电提供电流; 而具有较小间距的第二阴极可以基于较高压力下的Townsend放电和更高压力下的帕邢定律放电提供电流。第二个阴极上的特征可以支持帕邢定律放电。阴极之间的大电阻和返回电源可以控制输出配置文件，从而以精确的响应延长压力范围，并避免输出最小值。压力测量可以基于来自各个阴极的电流，取决于阴极的输出通过宽测量压力范围。多阴极也可以提供测量，以避免在各个阴极的电流输出中发现的不连续性。

6. 发明申请

WO2013119851A1 IONIZATION GAUGE FOR HIGH PRESSURE OPERATION 审中-公开
标题翻译：用于高压运行的离子化仪
公开(公告)号：WO2013119851A1
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：PCT/US2013/025198
申请日：2013-02-07
申请人： BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人： BRUCKER, Gerardo, A.
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , G01L19/0627 , G01L21/30 , H01J1/52 , H01J41/02 , H01J41/04
摘要： An ionization gauge to measure pressure, while controlling the location of deposits resulting from sputtering when operating at high pressure, includes at least one electron source that emits electrons, and an anode that defines an ionization volume. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by collisions between the electrons and gas molecules and atoms in the ionization volume, to provide a gas pressure output. The electron source can be positioned at an end of the ionization volume, such that the exposure of the electron source to atom flux sputtered off the collector electrode and envelope surface is minimized. Alternatively, the ionization gauge can include a first shade outside of the ionization volume, the first shade being located between the electron source and the collector electrode, and, optionally, a second shade between the envelope and the electron source, such that atoms sputtered off the envelope are inhibited from depositing on the electron source.
摘要翻译：用于测量压力的电离计，同时控制在高压下操作时由溅射产生的沉积物的位置，包括至少一个发射电子的电子源和限定电离体积的阳极。电离计还包括收集电极，其收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子和电离体积中的原子，以提供气体压力输出。电子源可以位于电离体积的末端，使得电子源暴露于从集电极电极和包膜表面溅射的原子通量被最小化。或者，电离计可以包括离子化体积外的第一阴影，第一阴影位于电子源和集电极之间，以及可选地，在封套和电子源之间的第二阴影，使得原子溅射该封套被禁止沉积在电子源上。

7. 发明申请

WO2013068216A2 IONISATIONSMANOMETER 审中-公开
标题翻译：电离
公开(公告)号：WO2013068216A2
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：PCT/EP2012/070561
申请日：2012-10-17
申请人： GSI HELMHOLTZZENTRUM FÜR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH
发明人： KOLLMUS, Holger
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , A61N5/1048 , F04C2270/0421 , G01L21/34 , H01J41/02 , H05H1/0012 , H05H7/00 , H05H2007/008
摘要： Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (1, 2, 3, 4, 5) mit einer Elektronenfreisetzungsvorrichtung (8), einer Elektronenaufnahmevorrichtung (13, 31, 32) und einer lonenaufnahmevorrichtung (19, 23, 24), wobei eine Messstreckeneinrichtung (6) vorgesehen ist, welche gesondert von der zumindest einen Elektronenaufnahmevorrichtung (13, 31, 32) ausgebildet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种测量装置（1，2，3，4，5）具有电子释放装置（8），电子接收装置（13，31，32）和一个lonenaufnahmevorrichtung（19，23，24），其特征在于，测量路径装置（6）设置是，这是从所述至少一个电子接收装置（13，31，32）分别形成。

8. 发明申请

WO2011040625A1 イオン源を有する真空計測装置审中-公开
标题翻译：具有离子源的真空测量装置
公开(公告)号：WO2011040625A1
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/JP2010/067317
申请日：2010-09-28
申请人：有限会社真空実験室 , 渡辺文夫
发明人：渡辺文夫
IPC分类号： G01L21/32 , G01N27/64
CPC分类号： G01L21/32
摘要：　真空容器の内部にグリッド（１０）と電子源（２０）とを備え、グリッドの外側に引き出されたイオンビーム（１００）をイオンコレクタ（４０）で捕らえて電流信号に変換する形式の真空計測装置において、グリッド（１０）は、格子状の筒体で、そのイオン放出口（１１）は、グリッド（１０）の側面に沿って縦長に開口されている。また、公知のイオン源又は上記改良されたイオン源を用いた真空計測装置において、特定のイオンを捕捉する第１イオンコレクタ（４０）と、これ以外のイオンを捕捉する第２イオンコレクタ（５０）とを備え、これらの第１第２イオンコレクタの電流の合算電流から、前記イオン源のガス分子密度を求めると共に、前記合算電流に占める第１イオンコレクタ（４０）の電流の割合から、前記ガス分子密度に対する前記特定のイオンのガス分子密度の比率を求める。また、前記第１及び第２イオンコレクタの構造を改良した。
摘要翻译：一种在真空容器内设置格栅（10）和电子源（20）的真空测量装置，并且将离子束（100）拉出到电网外部的形式被捕获并转换为电流通过离子收集器（40）发出信号，其中格栅（10）是格子状的圆柱体，并且其离子发射端口（11）以长方形的方式沿着格栅（10）的侧表面敞开。此外，使用公知的离子源或改进的离子源的真空测量装置设置有用于捕获特定离子的第一离子收集器（40），并且用于捕获除特定离子之外的离子的第二离子收集器（50）确定从第一和第二离子收集器的合并总电流的离子源的气体分子密度，并且确定特定离子的气体分子密度与离子源的气体分子密度的比率与第一离子收集器（40）占总电流的总和。此外，第一和第二离子收集器的结构已经得到改善。

9. 发明申请

WO2017007531A1 IONIZATION PRESSURE GAUGE WITH BIAS VOLTAGE AND EMISSION CURRENT CONTROL AND MEASUREMENT 审中-公开
标题翻译：具有偏置电压和排放电流控制和测量的离子压力计
公开(公告)号：WO2017007531A1
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：PCT/US2016/032070
申请日：2016-05-12
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人： HANSEN, Douglas, C.
IPC分类号： G01L21/32
CPC分类号： G01L21/32 , G01L21/30 , G01L21/34
摘要： Devices and corresponding methods are provided to operate a hot cathode ionization pressure gauge (HCIG). A transistor circuit can be configured to pass the electron emission current with low input impedance and to control cathode bias voltage. Emission current and cathode bias voltage can be controlled independently of each other, without a servo settling time. HCIGs can be calibrated with respect to leakage current.
摘要翻译：提供了设备和相应的方法来操作热阴极电离压力计（HCIG）。晶体管电路可以被配置为传递具有低输入阻抗的电子发射电流并且控制阴极偏置电压。发射电流和阴极偏置电压可以彼此独立地控制，而不需要伺服稳定时间。 HCIG可以相对漏电流进行校准。

10. 发明申请

WO2008067681A1 ELEKTRONENQUELLE FÜR VAKUUMDRUCKMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：电子源真空压力监控
公开(公告)号：WO2008067681A1
公开(公告)日：2008-06-12
申请号：PCT/CH2007/000588
申请日：2007-11-23
申请人： INFICON GMBH , KNAPP, Wolfram , WÜEST, Martin
发明人： KNAPP, Wolfram , WÜEST, Martin
IPC分类号： G01L21/30 , G01L21/32 , G01L21/34
CPC分类号： G01L21/32
摘要： Das Vakuumdruckmessgerät enthält eine Elektronenquelle (1) mit einer Reaktionszone (30) zur Bildung von Ionen (22) durch Stossionisation, wobei die Elektronenquelle (1) mit der Reaktionszone (30) über eine Durchtrittsöffnung (40) für die Elektronen (21) kommunizierend verbunden ist. Die Elektronenquelle wird von einem isolierenden Gehäuse mit einem Vakuumraum (7) umschlossen, und ein Wandungsteil ist als Membranträger (4) ausgebildet welcher mindestens in einem Teilbereich eine Nanomembran (5) trägt, die den Vakuumraum (7) gegenüber dem Aussenbereich gasdichtend trennt und mindestens zu einem Teil elektronendurchlässig ausgebildet ist, wobei in diesem Vakuumraum (7) eine Kathode (2) angeordnet ist zur Emission von Elektronen (21) und dass im Bereich und / oder an der Nanomembran (5) eine Anodenanordnung (3) derart vorgesehen ist, dass Elektronen (21) gegen die Nanomembran (5) und mindesten teilweise durch diese hindurch tretend geführt sind, wobei die Nanomembran (5) an den Vakuumraum des Vakuumdruckmessgerätes angrenzt.
摘要翻译：包括电子源（1）具有用于离子的碰撞电离的形成（22）的反应区（30）的真空压力测量装置中，电子源（1）通过的通孔（40），用于将电子（21）通信连接的反应区（30）是。具有真空室中的绝缘壳体的电子源（7）封闭，以及壁部分被设置为（4）形成一个膜载体，其具有纳米膜（5）带有至少在部分区域，其分隔所述真空室（7）朝向外部环境气体的密封和至少形成电子透过的一部分，其中，所述真空空间（7）布置在阴极（2）发射的电子（21）和阳极装置（3）被设置成在字段和/或在纳米膜（5），使电子（21）相对于所述纳米膜（5），并通过此步进至少部分地被传递，其中，所述纳米膜（5）邻接于真空压力计的真空空间中。

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