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    • 24. 发明申请
    • 結晶成長方法
    • 晶体生长方法
    • WO2016046983A1
    • 2016-03-31
    • PCT/JP2014/075717
    • 2014-09-26
    • 株式会社日立製作所
    • 石津 崇章小南 信也上野 雄一郎神田 喬之
    • C30B11/02
    • C30B11/02
    •  半導体結晶の原料の高純度化を行うと共に、高純度で質の高い結晶として単離可能である高効率の結晶成長方法を提供することを課題とする。結晶性原料(1)を一端が閉ざされた管状容器(2)に収容し前記管状容器(2)を略水平にした後、前記管状容器(2)に収容した前記結晶性原料(1)の一端から他端へ帯状に溶融させた部分を略水平方向に順次移動させて前記結晶性原料(1)に含まれる不純物を前記結晶性原料(1)の前記他端に偏析させる精製工程(S1)と、不純物を偏析させた前記結晶性原料(1)を部分融解して不純物の少ない精製原料(11)と不純物の多い不純原料(12)とに分離する分離工程(S2)と、略垂直方向にした前記容器(2)内において、前記不純原料は凝固状態で分離したまま前記精製原料(11)は溶融状態とした後冷却して結晶を成長させる結晶成長工程(S3)と、をこの順に同一の容器で行うことを特徴とする結晶成長方法。
    • 本发明解决了提供一种高效净化半导体晶体材料的高效晶体生长方法以及可分离出高纯度高品质晶体的问题。 晶体生长方法包括在同一容器中按以下顺序执行的以下步骤:将结晶材料(1)放置在一端封闭的管状容器(2)中的精炼步骤(S1) 管状容器(2),然后依次移动放置在管状容器(2)中的一部分结晶材料(1),并将其从一端至大致水平方向的一端熔化成带状,从而将包含在管状容器 结晶材料(1)到结晶材料(1)的另一端; 分离步骤(S2),其部分地熔化其中已经分离杂质的结晶材料(1),以将其分离成具有较少杂质的精制材料(11)和具有更多杂质的不纯物质(12); 以及在将固化物熔化后的精制材料(11)在固化状态下分离的不纯物质进行冷却的晶体生长工序(3),并使容器(2)中的晶体生长在大致垂直的位置。