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    • 14. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER CHIPANORDNUNG UND LACK ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS
    • 一种用于生产芯片配置和油漆的执行方法
    • WO2004105119A2
    • 2004-12-02
    • PCT/EP2004/004879
    • 2004-05-07
    • MICRONAS HOLDING GMBHKLAPPROTH, Holger
    • KLAPPROTH, Holger
    • H01L21/58
    • H01L24/83H01L24/28H01L24/31H01L25/0657H01L25/50H01L2224/8319H01L2224/838H01L2924/01004H01L2924/01005H01L2924/01027H01L2924/01032H01L2924/01047H01L2924/01058H01L2924/01068H01L2924/01077H01L2924/0781
    • Bei einem Verfahren zum Herstellen einer Chipanordnung (1) werden mindestens zwei, jeweils wenigstens eine elektrische Kontaktstelle (3) aufweisende Halbleiterchips (2) bereitgestellt. Die Halbleiterchips (2) und eine Kontaktierungsschicht (6) werden derart angeordnet, dass die Halbleiterchips (2) mit ihren Kontaktstellen (3) einander zugewandt und die Kontaktstellen (3) über die Kontaktierungsschicht (6) miteinander verbunden sind. Die Kontaktierungsschicht (6) wird aus magnetisch leitfähigen Partikeln (4), einem ersten Isolierwerkstoff (5a) und einem zweiten Isolierwerkstoff (5b) hergestellt. Die Partikel (4) werden mit dem zweiten Isolierwerkstoff (5b) ummantelt und dann zusammen mit ihrer Ummantelung in dem zweiten Isolierwerkstoff (5b) angeordnet. Nach dem Beschichten der Kontaktstelle(n) werden die Isolierwerkstoffe (5a, 5b) durch eine Wärmebehandlung in einem zwischen den Kontaktstellen (3) befindlichen Bereich aufgeschmolzen und die Lage wenigstens eines Partikels (4) wird mit Hilfe eines Magnetfelds derart verändert, dass die Kontaktstellen (3) über den wenigstens einen Partikel (3) elektrisch miteinander verbunden sind. Danach werden die Isolierwerkstoffe (5a, 5b) durch Abhühlen verfestigt.
    • 在用于制造芯片装置(1),至少两个,在每种情况下(3),其具有所述半导体芯片的至少一个电接触点的方法(2)提供。 半导体芯片(2)和接触层(6)被布置成使得(2),具有它们的接触点(3)彼此面对和接触层上的接触点(3)(6)相互连接的半导体芯片。 所述接触层(6)由磁性导电粒子(4),第一绝缘材料(5a)和第二绝缘材料(5b)的。 颗粒(4)覆盖有第二绝缘材料(5b)和然后用它们的壳中放置在一起的第二绝缘材料(5b)的。 涂布后,接触点(一个或多个),绝缘材料(5A,5B)熔化位于通过热处理在所述接触之间的点(3)区域,和至少一个粒子(4)的位置是通过磁场的方式改变,使得在接触点 (3)经由所述至少一个粒子电连接(3)。 此后,将绝缘材料(5A,5B)由Abhühlen固化。