专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201510488A 用於測定由載氣運送之蒸汽之質量流量的裝置审中-公开
简体标题：用于测定由载气运送之蒸汽之质量流量的设备
公开(公告)号：TW201510488A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103122709
申请日：2014-07-01
申请人：艾思強公司 , AIXTRON SE
发明人：隆麥克 , LONG, MICHAEL
IPC分类号： G01F1/68 , C23C16/52 , C23C16/448 , G01F1/74
CPC分类号： G01F1/74 , G01F1/68
摘要：本發明係有關一種裝置，用於測定由載氣(1)運送之固態或液態原料(3)之蒸汽(2)的質量流量，包括：第一質量流量計/調節器(5)，其提供對應於饋入載氣之質量流量的第一量測值(M1)；蒸汽饋送裝置(7)；第二質量流量計(8)，其提供對應於載氣-蒸汽混合物(10)之質量流量的第二量測值(M2)；及電子評估裝置(11)，其用於使該第一量測值(M1)與該第二量測值(M2)相關聯以求得對應於該蒸汽之質量流量的輸出值(A)，其中該第二質量流量計(8)具有加熱細絲(12,13,14)，該等細絲沿流向一個接一個設置且由控制裝置(16,17,18)分別藉由一電流而加熱至各不相同之溫度(T1,T2,T3)。該控制裝置(16,17,18)設計用於藉由選擇一饋入相應細絲(12,13,14)之電功率(P1,P2,P3)來使每根細絲(12,13,14)之溫度(T1,T2,T3)保持預設值並且根據饋入該等細絲(12,13,14)之功率(P1,P2,P3)的值測定該輸出值(A)。
简体摘要：本发明系有关一种设备，用于测定由载气(1)运送之固态或液态原料(3)之蒸汽(2)的质量流量，包括：第一质量流量计/调节器(5)，其提供对应于馈入载气之质量流量的第一量测值(M1)；蒸汽馈送设备(7)；第二质量流量计(8)，其提供对应于载气-蒸汽混合物(10)之质量流量的第二量测值(M2)；及电子评估设备(11)，其用于使该第一量测值(M1)与该第二量测值(M2)相关联以求得对应于该蒸汽之质量流量的输出值(A)，其中该第二质量流量计(8)具有加热细丝(12,13,14)，该等细丝沿流向一个接一个设置且由控制设备(16,17,18)分别借由一电流而加热至各不相同之温度(T1,T2,T3)。该控制设备(16,17,18)设计用于借由选择一馈入相应细丝(12,13,14)之电功率(P1,P2,P3)来使每根细丝(12,13,14)之温度(T1,T2,T3)保持默认值并且根据馈入该等细丝(12,13,14)之功率(P1,P2,P3)的值测定该输出值(A)。

2. 实用新型

TWM581200U 水流分離裝置及包含其之水流量測系統有权
简体标题：水流分离设备及包含其之水流量测系统
公开(公告)号：TWM581200U
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW108202595
申请日：2019-03-04
申请人：財團法人中興工程顧問社 , SINOTECH ENGINEERING CONSULTANTS, INC.
发明人：莊伯禹 , CHUANG, PO-YU , 李在平 , LEE, TASI-PING , 黃胤中 , HUANG, YIN-CHUNG , 張原銘 , CHANG, YUAN-MING , 柯建仲 , KE, CHIEN-CHUNG
IPC分类号： G01P5/10 , G01F1/688 , G01F1/68 , G01F3/00 , E21B49/08

3. 发明专利

TW201835568A 氧化劑濃度測定裝置及氧化劑濃度測定方法审中-公开
简体标题：氧化剂浓度测定设备及氧化剂浓度测定方法
公开(公告)号：TW201835568A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW106131325
申请日：2017-09-13
申请人：日商栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：井田純一 , IDA, JUNICHI , 小川祐一 , OGAWA, YUICHI
IPC分类号： G01N31/00 , G01N25/00 , G01F1/68 , G01F5/00
摘要：氧化劑濃度測定裝置10包括：氣體供給機構1，對流量被控制為規定值的試樣液供給流量被控制為規定值的氣體；熱分解機構2，對利用氣體供給機構1供給有氣體後的試樣液中的氧化劑進行熱分解；氣體流量測定機構5，測定利用熱分解機構2而產生的包含氧氣的氣體成分的流量；以及演算機構6，基於氣體的流量的規定值與利用氣體流量測定機構5所獲得的包含氧氣的氣體成分的流量的測定值，來算出試樣液中的氧化劑的濃度。根據所述氧化劑濃度測定裝置10及使用其的氧化劑濃度測定方法，可不受金屬成分等雜質的影響，而簡單且準確地測定電子材料的清洗步驟等中所使用的清洗液中的氧化劑濃度，並且能夠進行穩定的連續監控。
简体摘要：氧化剂浓度测定设备10包括：气体供给机构1，对流量被控制为规定值的试样液供给流量被控制为规定值的气体；热分解机构2，对利用气体供给机构1供给有气体后的试样液中的氧化剂进行热分解；气体流量测定机构5，测定利用热分解机构2而产生的包含氧气的气体成分的流量；以及演算机构6，基于气体的流量的规定值与利用气体流量测定机构5所获得的包含氧气的气体成分的流量的测定值，来算出试样液中的氧化剂的浓度。根据所述氧化剂浓度测定设备10及使用其的氧化剂浓度测定方法，可不受金属成分等杂质的影响，而简单且准确地测定电子材料的清洗步骤等中所使用的清洗液中的氧化剂浓度，并且能够进行稳定的连续监控。

4. 发明专利

TWI461658B 決定液體的流動速率之方法及裝置有权
简体标题：决定液体的流动速率之方法及设备
公开(公告)号：TWI461658B
公开(公告)日：2014-11-21
申请号：TW097144162
申请日：2008-11-14
申请人：迪格梅薩股份有限公司 , DIGMESA AG
发明人：維傑斯克里斯多福 , VERJUS, CHRISTOPHE , 雷尼凡菲利浦 , RENEVEY, PHILIPPE , 紐曼維特 , NEUMANN, VICTOR
IPC分类号： G01F1/704 , G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6884 , G01F1/6847

5. 发明专利

TW201910956A 流體控制系統及流量測定方法审中-公开
简体标题：流体控制系统及流量测定方法
公开(公告)号：TW201910956A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107126296
申请日：2018-07-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/68
摘要：流體控制系統(1)是具備：　　被設在流量控制器(10)的下游側的第1閥(21)；　　被設在第1閥(21)的下游側，具有第2閥(22)的流量測定裝置(30)；　　被設在第2閥(22)的開閉檢測器(26)；及　　控制第1閥(21)及第2閥(22)的開閉動作的控制部(25)，　　控制部(25)會按照開閉檢測器(26)所輸出的訊號來控制第1閥(21)的開閉。
简体摘要：流体控制系统(1)是具备：　　被设在流量控制器(10)的下游侧的第1阀(21)；　　被设在第1阀(21)的下游侧，具有第2阀(22)的流量测定设备(30)；　　被设在第2阀(22)的开闭检测器(26)；及　　控制第1阀(21)及第2阀(22)的开闭动作的控制部(25)，　　控制部(25)会按照开闭检测器(26)所输出的信号来控制第1阀(21)的开闭。

6. 发明专利

TWI454671B 在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置有权
简体标题：在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备
公开(公告)号：TWI454671B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW097107298
申请日：2008-03-03
申请人：日立金屬股份有限公司 , HITACHI METALS, LTD.
发明人：伊藤裕之 , ITO, HIROYUKI , 麥可約翰索拉克 , ZOLOCK, MICHAEL JOHN
IPC分类号： G01K13/02 , G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F15/043 , G01K7/42 , G01K13/02 , G05D7/0635

7. 发明专利

TWI695244B 流體控制系統及流量測定方法有权
简体标题：流体控制系统及流量测定方法
公开(公告)号：TWI695244B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW107126296
申请日：2018-07-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/68

8. 发明专利

TWI436039B 流量計失效
简体标题：流量计
公开(公告)号：TWI436039B
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：TW097102608
申请日：2008-01-24
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：井上正規 , INOUE, MASAKI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/6888

9. 发明专利

TWI408344B 垂直安裝的質流感測器有权
简体标题：垂直安装的质流传感器
公开(公告)号：TWI408344B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：TW095142904
申请日：2006-11-21
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA , 巴麥克 , L'BASSI, MICHAEL , 詹凱文 , ZARKAR, KAVEH H.
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F5/00 , G01F1/6847 , G05D7/0635

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式