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    • 7. 发明专利
    • 氧化劑濃度測定裝置及氧化劑濃度測定方法
    • 氧化剂浓度测定设备及氧化剂浓度测定方法
    • TW201835568A
    • 2018-10-01
    • TW106131325
    • 2017-09-13
    • 日商栗田工業股份有限公司KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
    • 井田純一IDA, JUNICHI小川祐一OGAWA, YUICHI
    • G01N31/00G01N25/00G01F1/68G01F5/00
    • 氧化劑濃度測定裝置10包括:氣體供給機構1,對流量被控制為規定值的試樣液供給流量被控制為規定值的氣體;熱分解機構2,對利用氣體供給機構1供給有氣體後的試樣液中的氧化劑進行熱分解;氣體流量測定機構5,測定利用熱分解機構2而產生的包含氧氣的氣體成分的流量;以及演算機構6,基於氣體的流量的規定值與利用氣體流量測定機構5所獲得的包含氧氣的氣體成分的流量的測定值,來算出試樣液中的氧化劑的濃度。根據所述氧化劑濃度測定裝置10及使用其的氧化劑濃度測定方法,可不受金屬成分等雜質的影響,而簡單且準確地測定電子材料的清洗步驟等中所使用的清洗液中的氧化劑濃度,並且能夠進行穩定的連續監控。
    • 氧化剂浓度测定设备10包括:气体供给机构1,对流量被控制为规定值的试样液供给流量被控制为规定值的气体;热分解机构2,对利用气体供给机构1供给有气体后的试样液中的氧化剂进行热分解;气体流量测定机构5,测定利用热分解机构2而产生的包含氧气的气体成分的流量;以及演算机构6,基于气体的流量的规定值与利用气体流量测定机构5所获得的包含氧气的气体成分的流量的测定值,来算出试样液中的氧化剂的浓度。根据所述氧化剂浓度测定设备10及使用其的氧化剂浓度测定方法,可不受金属成分等杂质的影响,而简单且准确地测定电子材料的清洗步骤等中所使用的清洗液中的氧化剂浓度,并且能够进行稳定的连续监控。