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1. 发明专利

TW201814254A 流量控制機器、流量控制機器的流量校正方法、流量測定機器及使用流量測定機器的流量測定方法审中-公开
简体标题：流量控制机器、流量控制机器的流量校正方法、流量测定机器及使用流量测定机器的流量测定方法
公开(公告)号：TW201814254A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106122260
申请日：2017-07-03
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F15/04 , G05D7/06 , H01L21/67
CPC分类号： G01F1/00 , G01F1/34 , G01F1/42 , G01F25/00
摘要：在與流量基準器所計測的流量進行比較之基礎下進行流量校正的流量控制機器之校正方法中，針對複數個流量設定來設定規定容許誤差範圍，將複數個流量設定之中之至少1個特定流量設定的容許誤差範圍，設定為小於規定容許誤差範圍。
简体摘要：在与流量基准器所计测的流量进行比较之基础下进行流量校正的流量控制机器之校正方法中，针对复数个流量设置来设置规定容许误差范围，将复数个流量设置之中之至少1个特定流量设置的容许误差范围，设置为小于规定容许误差范围。

2. 发明专利

TWI695244B 流體控制系統及流量測定方法有权
简体标题：流体控制系统及流量测定方法
公开(公告)号：TWI695244B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW107126296
申请日：2018-07-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/68

3. 发明专利

TWI649510B 節流孔內置閥及壓力式流量控制裝置有权
简体标题：节流孔内置阀及压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI649510B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：TW106125227
申请日：2017-07-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K47/08 , F16K7/16

4. 发明专利

TW201910956A 流體控制系統及流量測定方法审中-公开
简体标题：流体控制系统及流量测定方法
公开(公告)号：TW201910956A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107126296
申请日：2018-07-30
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/68
摘要：流體控制系統(1)是具備：　　被設在流量控制器(10)的下游側的第1閥(21)；　　被設在第1閥(21)的下游側，具有第2閥(22)的流量測定裝置(30)；　　被設在第2閥(22)的開閉檢測器(26)；及　　控制第1閥(21)及第2閥(22)的開閉動作的控制部(25)，　　控制部(25)會按照開閉檢測器(26)所輸出的訊號來控制第1閥(21)的開閉。
简体摘要：流体控制系统(1)是具备：　　被设在流量控制器(10)的下游侧的第1阀(21)；　　被设在第1阀(21)的下游侧，具有第2阀(22)的流量测定设备(30)；　　被设在第2阀(22)的开闭检测器(26)；及　　控制第1阀(21)及第2阀(22)的开闭动作的控制部(25)，　　控制部(25)会按照开闭检测器(26)所输出的信号来控制第1阀(21)的开闭。

5. 发明专利

TWI651606B 流體控制裝置，流體控制裝置的控制方法，及流體控制系統有权
简体标题：流体控制设备，流体控制设备的控制方法，及流体控制系统
公开(公告)号：TWI651606B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW106114119
申请日：2017-04-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D16/20 , H01L21/67

6. 发明专利

TWI642910B 流量控制機器、流量控制機器的流量校正方法、流量測定機器及使用流量測定機器的流量測定方法有权
简体标题：流量控制机器、流量控制机器的流量校正方法、流量测定机器及使用流量测定机器的流量测定方法
公开(公告)号：TWI642910B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW106122260
申请日：2017-07-03
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F15/04 , G05D7/06 , H01L21/67

7. 发明专利

TWI643046B 壓力式流量控制裝置及流量自診斷方法有权
简体标题：压力式流量控制设备及流量自诊断方法
公开(公告)号：TWI643046B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW106110577
申请日：2017-03-29
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D16/20 , G05D16/02 , G05D7/06 , G05B23/02

8. 发明专利

TW201837432A 流量測量方法及流量測量裝置审中-公开
简体标题：流量测量方法及流量测量设备
公开(公告)号：TW201837432A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107104661
申请日：2018-02-09
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F15/02 , G01F25/00 , G05D16/20 , G05D7/06
摘要：流量測量方法，是在氣體供給系統進行，該氣體供給系統具有：複數個氣體供給路，其具備第1閥；以及共通氣體供給路，其形成在複數個氣體供給路的下游側且具備流量測量裝置，該流量測量裝置具有：壓力感測器、溫度感測器、以及下游側的第2閥，該方法包含以下工序：第1工序，是使任一個第1閥與第2閥打開來流動氣體，在流動有氣體的狀態下使第2閥關閉，在經過既定時間後使任一個第1閥關閉，並測量將第1閥關閉之後的壓力及溫度；第2工序，是使任一個第1閥與第2閥打開來流動氣體，在流動有氣體的狀態下使任一個第1閥及第2閥同時關閉，並測量將第1閥及第2閥關閉之後的壓力及溫度；以及第3工序，是根據在第1工序所測量的壓力及溫度、在第2工序所測量的壓力及溫度，來演算流量。
简体摘要：流量测量方法，是在气体供给系统进行，该气体供给系统具有：复数个气体供给路，其具备第1阀；以及共通气体供给路，其形成在复数个气体供给路的下游侧且具备流量测量设备，该流量测量设备具有：压力传感器、温度传感器、以及下游侧的第2阀，该方法包含以下工序：第1工序，是使任一个第1阀与第2阀打开来流动气体，在流动有气体的状态下使第2阀关闭，在经过既定时间后使任一个第1阀关闭，并测量将第1阀关闭之后的压力及温度；第2工序，是使任一个第1阀与第2阀打开来流动气体，在流动有气体的状态下使任一个第1阀及第2阀同时关闭，并测量将第1阀及第2阀关闭之后的压力及温度；以及第3工序，是根据在第1工序所测量的压力及温度、在第2工序所测量的压力及温度，来演算流量。

9. 发明专利

TW201816313A 節流孔內置閥及壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：节流孔内置阀及压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW201816313A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106125227
申请日：2017-07-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K47/08 , F16K7/16
摘要：節流孔內置閥(10)，係具備：基部(2)，係具有收容凹部(2A)、第1氣體流路(21)及第2氣體流路(22)；閥座體(12)，係具有環狀的閥座(12b)及貫穿孔(12a)；內盤(13)，係保持閥座體；閥體(11a)，係能夠抵接於閥座；以及節流孔體(14)，係包含節流孔(18)；收容凹部，係具有擴徑部(2W)及窄徑部(2N)之階梯狀的凹部，閥座體(12)係藉由受到內盤(13)按壓而保持固定於節流孔體上，第1氣體流路(21)，係通過窄徑部的壁面與節流孔體之間連通至閥室(10a)，第2氣體流路(22)，係經由節流孔體的貫穿孔及閥座體的貫穿孔連通至閥室(10a)。
简体摘要：节流孔内置阀(10)，系具备：基部(2)，系具有收容凹部(2A)、第1气体流路(21)及第2气体流路(22)；阀座体(12)，系具有环状的阀座(12b)及贯穿孔(12a)；内盘(13)，系保持阀座体；阀体(11a)，系能够抵接于阀座；以及节流孔体(14)，系包含节流孔(18)；收容凹部，系具有扩径部(2W)及窄径部(2N)之阶梯状的凹部，阀座体(12)系借由受到内盘(13)按压而保持固定于节流孔体上，第1气体流路(21)，系通过窄径部的壁面与节流孔体之间连通至阀室(10a)，第2气体流路(22)，系经由节流孔体的贯穿孔及阀座体的贯穿孔连通至阀室(10a)。

10. 发明专利

TWI390137B 凸輪式控制閥有权
简体标题：凸轮式控制阀
公开(公告)号：TWI390137B
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：TW099139987
申请日：2010-11-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K31/524 , F16K31/04 , F16K7/16
CPC分类号： F16K7/16 , F16K31/047 , F16K31/52408

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