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1. 发明专利

TWI561948B 用於壓力式質流控制器之自驗證的方法及裝置有权
简体标题：用于压力式质流控制器之自验证的方法及设备
公开(公告)号：TWI561948B
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW102134202
申请日：2013-09-24
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA
IPC分类号： G05D7/06 , G05B13/02
CPC分类号： G01F1/363 , G01F1/86 , G01F1/88 , G01F15/022 , G01F15/024 , G01F15/043 , G01F15/046 , G01F25/0007 , G05D7/0647 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761

2. 发明专利

TWI451220B 控制壓力與混合比例的方法與設備有权
简体标题：控制压力与混合比例的方法与设备
公开(公告)号：TWI451220B
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW097107368
申请日：2008-03-03
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：梅瑟克里斯 , MELCER, CHRIS , 雷恩約翰W , LANE, JOHN
IPC分类号： G05D16/20 , G05D11/13 , H01L21/67
CPC分类号： G01F15/043 , G05D11/132 , G05D16/2046

3. 发明专利

TW200844700A 控制壓力與混合比例的方法與設備 METHOD AND APPARATUS FOR PRESSURE AND MIX RATIO CONTROL 审中-公开
简体标题：控制压力与混合比例的方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR PRESSURE AND MIX RATIO CONTROL
公开(公告)号：TW200844700A
公开(公告)日：2008-11-16
申请号：TW097107368
申请日：2008-03-03
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：梅瑟克里斯 MELCER, CHRIS , 雷恩約翰W LANE, JOHN
IPC分类号： G05D , H01L
CPC分类号： G01F15/043 , G05D11/132 , G05D16/2046
摘要：在此提供一種與腔室壓力整合之可控制供應到處理腔室之一或多種氣體的混合比例的設備和方法。在一實施方式中,使用一整合的控制器來調整混合比例和腔室壓力。在一實施方式中,可使用流動感應器和設在每一氣體管線上的控制閥來調整混合比例和腔室壓力。在一實施方式中,在每一氣體管線中所使用的流動感應器不會受到上游壓力的變動而有所影響。
简体摘要：在此提供一种与腔室压力集成之可控制供应到处理腔室之一或多种气体的混合比例的设备和方法。在一实施方式中,使用一集成的控制器来调整混合比例和腔室压力。在一实施方式中,可使用流动感应器和设在每一气体管在线的控制阀来调整混合比例和腔室压力。在一实施方式中,在每一气体管线中所使用的流动感应器不会受到上游压力的变动而有所影响。

4. 发明专利

TWI454671B 在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置有权
简体标题：在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备
公开(公告)号：TWI454671B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW097107298
申请日：2008-03-03
申请人：日立金屬股份有限公司 , HITACHI METALS, LTD.
发明人：伊藤裕之 , ITO, HIROYUKI , 麥可約翰索拉克 , ZOLOCK, MICHAEL JOHN
IPC分类号： G01K13/02 , G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F15/043 , G01K7/42 , G01K13/02 , G05D7/0635

5. 发明专利

TW201433897A 用於壓力式質流控制器之自驗證的方法及裝置审中-公开
简体标题：用于压力式质流控制器之自验证的方法及设备
公开(公告)号：TW201433897A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102134202
申请日：2013-09-24
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA
IPC分类号： G05D7/06 , G05B13/02
CPC分类号： G01F1/363 , G01F1/86 , G01F1/88 , G01F15/022 , G01F15/024 , G01F15/043 , G01F15/046 , G01F25/0007 , G05D7/0647 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761
摘要：一種質流控制系統，當控制一流體之流動至一製程時，其之精確度能夠自驗證。該系統包含：用於隨著控制信號之變化而控制通過該系統之流體流動的一控制閥；用於隨著通過該系統之經量測的流體流動以及一目標設定點的變化而產生該控制信號的一控制器；一壓力感應器用於測量及控制在測量及驗證該流率作業中使用的流體壓力；以及一流體源用於提供一已知容積之流體在流動控制製程之該等步驟之間的任何時候於驗證該系統之精確度作業當中使用。
简体摘要：一种质流控制系统，当控制一流体之流动至一制程时，其之精确度能够自验证。该系统包含：用于随着控制信号之变化而控制通过该系统之流体流动的一控制阀；用于随着通过该系统之经量测的流体流动以及一目标设置点的变化而产生该控制信号的一控制器；一压力感应器用于测量及控制在测量及验证该流率作业中使用的流体压力；以及一流体源用于提供一已知容积之流体在流动控制制程之该等步骤之间的任何时候于验证该系统之精确度作业当中使用。

6. 发明专利

TWI448667B 測量氣體的質量流率的方法及設備有权
简体标题：测量气体的质量流率的方法及设备
公开(公告)号：TWI448667B
公开(公告)日：2014-08-11
申请号：TW100143191
申请日：2011-11-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：道尼奈爾亞力山大 , DOWNIE, NEIL ALEXANDER
IPC分类号： G01F1/66 , F17C13/02
CPC分类号： G01F1/86 , G01F1/76 , G01F1/78 , G01F15/043 , G01F15/063 , G01F15/125 , Y10T137/7759

7. 发明专利

TW201226859A 測量氣體的質量流量的方法及設備 METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING THE MASS FLOW RATE OF A GAS 审中-公开
简体标题：测量气体的质量流量的方法及设备 METHOD OF AND APPARATUS FOR MEASURING THE MASS FLOW RATE OF A GAS
公开(公告)号：TW201226859A
公开(公告)日：2012-07-01
申请号：TW100143191
申请日：2011-11-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司
发明人：道尼奈爾亞力山大
IPC分类号： G01F , F17C
CPC分类号： G01F1/86 , G01F1/76 , G01F1/78 , G01F15/043 , G01F15/063 , G01F15/125 , Y10T137/7759
摘要：本發明提供一種用於測量氣體的質量流率之量計(200、350)。該量計是包含：在使用時氣體流動通過之導管(206)，該導管具有在使用時在通過時發生扼流之節流孔口(212)，該節流孔口將導管分開成該孔口之上游的上游部份(214)、及該孔口之下游的下游部份(216)；且該量計是又包含：感測器組合(204)，在該上游部份該感測器組合是包含壓電式晶體振盪器(218)而使得當量計在使用時該壓電式振盪器是與該氣體相接觸，且該感測器組合是配置成：可驅動壓電式晶體振盪器而使得壓電式晶體振盪器在共振頻率共振，可測量該壓電式晶體振盪器之共振頻率，及可從共振頻率而測定通過孔口的質量流率。
简体摘要：本发明提供一种用于测量气体的质量流率之量计(200、350)。该量计是包含：在使用时气体流动通过之导管(206)，该导管具有在使用时在通过时发生扼流之节流孔口(212)，该节流孔口将导管分开成该孔口之上游的上游部份(214)、及该孔口之下游的下游部份(216)；且该量计是又包含：传感器组合(204)，在该上游部份该传感器组合是包含压电式晶体振荡器(218)而使得当量计在使用时该压电式振荡器是与该气体相接触，且该传感器组合是配置成：可驱动压电式晶体振荡器而使得压电式晶体振荡器在共振频率共振，可测量该压电式晶体振荡器之共振频率，及可从共振频率而测定通过孔口的质量流率。

8. 发明专利

TW200900668A 在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF A GAS IN A MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THE TEMPERATURE OF A GAS IN A MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW200900668A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW097107298
申请日：2008-03-03
申请人：先驅能源工業公司 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人：伊藤裕之 ITO, HIROYUKI , 麥可約翰索拉克 ZOLOCK, MICHAEL JOHN
IPC分类号： G01K , G01N
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F15/043 , G01K7/42 , G01K13/02 , G05D7/0635
摘要：本案描述一種用於在一質量流量控制器中測量氣體溫度的方法與裝置。一實施例無需根據個別的溫度感測器便可自一質量流量控制器的質量流量感測器推導出氣體-溫度資訊。此實施例供應一道實質固定的電流給質量流量控制器的熱質量流量感測器,熱質量流量感測器被設計用於測量氣體的質量流動率;測量熱質量流量感測器之一輸入電壓以取得一當前輸入電壓(present input voltage),輸入電壓隨著熱質量流量感測器的一對感測元件之間的溫度差而變動;藉由說明當前輸入電壓中一項根據氣體質量流動率而定的成分來計算調整後的輸入電壓;並根據調整後的輸入電壓計算氣體溫度。在某些實施例中,計算所得的氣體溫度被用來補償熱質量流量感測器的輸出電壓在一零-流動狀況下隨著溫度變化所產生的變動。
简体摘要：本案描述一种用于在一质量流量控制器中测量气体温度的方法与设备。一实施例无需根据个别的温度传感器便可自一质量流量控制器的质量流量传感器推导出气体-温度信息。此实施例供应一道实质固定的电流给质量流量控制器的热质量流量传感器,热质量流量传感器被设计用于测量气体的质量流动率;测量热质量流量传感器之一输入电压以取得一当前输入电压(present input voltage),输入电压随着热质量流量传感器的一对传感组件之间的温度差而变动;借由说明当前输入电压中一项根据气体质量流动率而定的成分来计算调整后的输入电压;并根据调整后的输入电压计算气体温度。在某些实施例中,计算所得的气体温度被用来补偿热质量流量传感器的输出电压在一零-流动状况下随着温度变化所产生的变动。

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