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1. 发明专利

TWI459669B 用於雷射脈衝等化的系統和方法有权
简体标题：用于激光脉冲等化的系统和方法
公开(公告)号：TWI459669B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW098109464
申请日：2009-03-24
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 , ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：孫雲龍 , SUN, YUNLONG , 常峰 , CHANG FENG
IPC分类号： H01S3/11
CPC分类号： H01S3/0941 , H01S3/042 , H01S3/094076 , H01S3/10046 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306

2. 发明专利

TW201230564A 高能量脈衝抑制方法 HIGH ENERGY PULSE SUPPRESSION METHOD 审中-公开
简体标题：高能量脉冲抑制方法 HIGH ENERGY PULSE SUPPRESSION METHOD
公开(公告)号：TW201230564A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：TW101108273
申请日：2005-04-20
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司
发明人：葛萊特凱斯 , 史東史蒂夫 , 尼爾森布萊迪
IPC分类号： H01S , B23K
CPC分类号： H01S3/117 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2201/36 , B23K2203/50 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1611 , H01S3/1673 , H05K3/0026 , H05K3/0038
摘要：一種雷射(126)利用隨機時間間隔傳送且能階大致固定的雷射脈衝(192)來處理工件,其藉由鑑別雷射共振腔之釋能特性並利用此項資訊來調整假脈衝時間間隔,以補償能量的誤差。假脈衝(194)係被阻擋而無法到達工件的雷射脈衝。第二種用於提供固定脈衝能量的方法係運用聲光調制器(AOM)(10)來改變通過而到達工件的雷射能量大小。第三種用於提供固定脈衝能量的方法則包含延長選定脈衝的脈衝週期(200),以便在每當假脈衝開始時,均可獲得額外的雷射共振腔聚能時間。
简体摘要：一种激光(126)利用随机时间间隔发送且能阶大致固定的激光脉冲(192)来处理工件,其借由鉴别激光共振腔之释能特性并利用此项信息来调整假脉冲时间间隔,以补偿能量的误差。假脉冲(194)系被阻挡而无法到达工件的激光脉冲。第二种用于提供固定脉冲能量的方法系运用声光调制器(AOM)(10)来改变通过而到达工件的激光能量大小。第三种用于提供固定脉冲能量的方法则包含延长选定脉冲的脉冲周期(200),以便在每当假脉冲开始时,均可获得额外的激光共振腔聚能时间。

3. 发明专利

TW201734414A 用於相依於重複率的效能變數之線上校準审中-公开
简体标题：用于相依于重复率的性能变量之在线校准
公开(公告)号：TW201734414A
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW105140383
申请日：2016-12-07
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC , ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：索恩斯約書亞瓊 , THORNES, JOSHUA JON , 亞果爾沃坦奴智 , AGGARWAL, TANUJ , 歐布萊恩凱文麥可 , O'BRIEN, KEVIN MICHAEL , 雅佛資法蘭克 , EVERTS, FRANK , 高德福萊德荷曼菲力普 , GODFRIED, HERMAN PHILIP , 包迪特羅素亞倫 , BURDT, RUSSELL ALLEN
IPC分类号： G01J1/42 , G01J3/28 , G03F7/20 , H01S3/13
CPC分类号： G01J11/00 , G01J1/0228 , G01J1/0448 , G01J1/4257 , G03F7/70041 , G03F7/70516 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/0014 , H01S3/10046 , H01S3/10069
摘要：本發明揭示依據操作雷射所處之重複率變化的雷射效能之線上校準。該校準可為週期性的且在一非曝光週期期間在一經排程期間進行。各種準則可用以自動地選擇產生可靠之符合規範之效能的該等重複率。接著使重複率之可靠值作為所允許之值可用於掃描器，且接著准許雷射/掃描器系統使用彼等所允許之重複率。
简体摘要：本发明揭示依据操作激光所处之重复率变化的激光性能之在线校准。该校准可为周期性的且在一非曝光周期期间在一经调度期间进行。各种准则可用以自动地选择产生可靠之符合规范之性能的该等重复率。接着使重复率之可靠值作为所允许之值可用于扫描仪，且接着准许激光/扫描仪系统使用彼等所允许之重复率。

4. 发明专利

TWI384710B 高能量脈衝抑制方法失效
简体标题：高能量脉冲抑制方法
公开(公告)号：TWI384710B
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW094112533
申请日：2005-04-20
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 , ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：凱斯葛萊特 , GRANT, KEITH , 史蒂夫史東 , STONE, STEVE , 布萊迪尼爾森 , NILSEN, BRADY
IPC分类号： H01S3/102 , H01S3/131
CPC分类号： H01S3/117 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2201/36 , B23K2203/50 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1611 , H01S3/1673 , H05K3/0026 , H05K3/0038

5. 发明专利

TWI283093B 用於控制氣體放電雷射之頻寬與中央波長的方法與裝置 METHOD AND APPARATUS FOR GAS DISCHARGE LASER BANDWIDTH AND CENTER WAVELENGTH CONTROL 有权
简体标题：用于控制气体放电激光之带宽与中央波长的方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR GAS DISCHARGE LASER BANDWIDTH AND CENTER WAVELENGTH CONTROL
公开(公告)号：TWI283093B
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：TW094141474
申请日：2005-11-25
申请人：希瑪股份有限公司 CYMER, INC.
发明人：崔秀克費多B. TRINTCHOUK, FEDOR B. , 賈庫斯羅伯特N. JACQUES, ROBERT N.
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/1055 , B82Y10/00 , G03F7/70033 , G03F7/70041 , H01S3/08072 , H01S3/097 , H01S3/10069 , H01S3/225
摘要：揭露一用於控制氣體放電雷射系統中所產生之一雷射輸出光脈衝中的頻寬之氣體放電雷射系統頻寬控制機構及操作方法，其可包含一頻寬控制器，其可包含一主動頻寬調整機構；一控制器，其利用一以雷射系統的操作對於雷射系統中所產生且譜線窄化之雷射光脈衝的波前隨其入射在頻寬調整機構上時之衝擊之一模型為基礎實行頻寬熱暫態矯正的演算法來主動地控制主動頻寬調整機構。控制器演算法係可包含氣體放電雷射系統之一光學串的至少一部分中之功率沉積歷史的一函數，譬如一線性函數，譬如複數個衰減函數的一組合且其各包含一各別的衰減時間常數及一各別的係數。
简体摘要：揭露一用于控制气体放电激光系统中所产生之一激光输出光脉冲中的带宽之气体放电激光系统带宽控制机构及操作方法，其可包含一带宽控制器，其可包含一主动带宽调整机构；一控制器，其利用一以激光系统的操作对于激光系统中所产生且谱线窄化之激光光脉冲的波前随其入射在带宽调整机构上时之冲击之一模型为基础实行带宽热暂态矫正的算法来主动地控制主动带宽调整机构。控制器算法系可包含气体放电激光系统之一光学串的至少一部分中之功率沉积历史的一函数，譬如一线性函数，譬如复数个衰减函数的一组合且其各包含一各别的衰减时间常数及一各别的系数。

6. 发明专利

TW200618427A 高能量脈衝抑制方法 HIGH ENERGY PULSE SUPPRESSION METHOD 失效
简体标题：高能量脉冲抑制方法 HIGH ENERGY PULSE SUPPRESSION METHOD
公开(公告)号：TW200618427A
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：TW094112533
申请日：2005-04-20
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：凱斯葛萊特 GRANT, KEITH , 史蒂夫史東 STONE, STEVE , 布萊迪尼爾森 NILSEN, BRADY
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/117 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2201/36 , B23K2203/50 , H01S3/10 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1024 , H01S3/1611 , H01S3/1673 , H05K3/0026 , H05K3/0038
摘要：一種雷射(126)利用隨機時間間隔傳送且能階大致固定的雷射脈衝(192)來處理工件，其藉由鑑別雷射共振腔之釋能特性並利用此項資訊來調整假脈衝時間間隔，以補償能量的誤差。假脈衝(194)係被阻擋而無法到達工件的雷射脈衝。第二種用於提供固定脈衝能量的方法係運用聲光調制器(AOM)(10)來改變通過而到達工件的雷射能量大小。第三種用於提供固定脈衝能量的方法則包含延長選定脈衝的脈衝週期(200)，以便在每當假脈衝開始時，均可獲得額外的雷射共振腔聚能時間。
简体摘要：一种激光(126)利用随机时间间隔发送且能阶大致固定的激光脉冲(192)来处理工件，其借由鉴别激光共振腔之释能特性并利用此项信息来调整假脉冲时间间隔，以补偿能量的误差。假脉冲(194)系被阻挡而无法到达工件的激光脉冲。第二种用于提供固定脉冲能量的方法系运用声光调制器(AOM)(10)来改变通过而到达工件的激光能量大小。第三种用于提供固定脉冲能量的方法则包含延长选定脉冲的脉冲周期(200)，以便在每当假脉冲开始时，均可获得额外的激光共振腔聚能时间。

7. 发明专利

TW578348B 雷射控制方法、雷射裝置以及使用該裝置之雷射加工方法與雷射加工機有权
简体标题：激光控制方法、激光设备以及使用该设备之激光加工方法与激光加工机
公开(公告)号：TW578348B
公开(公告)日：2004-03-01
申请号：TW091122408
申请日：2002-09-27
申请人：松下電器產業股份有限公司 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：浮田克一 UKITA, KATSUICHI , 唐崎秀彥 KARASAKI, HIDEHIKO , 橫佩大輔 YOKOHAGI, DAISUKE
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/11 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/0622 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/10038 , H01S3/10069 , H01S3/1022 , H01S3/1306 , H01S3/136
摘要：本發明之目的在於提供一種可得到穩定之雷射脈衝雷射，並可排除製程時間(tact time)之無效浪費時間之雷射控制方法。該雷射控制方法係具有增益介質與Q開關(Q- switch)，並對增益介質連續照射激發光而將Q開關設定成連續振盪模式，且於雷射脈衝產生前預定之時間設下休止期間而得到雷射脈衝者；其特徵在於：Q開關之連續振盪期間業已持續一定時間以上時，用以得到後繼第2次以後之雷射脈衝之Q開關休止期間係不同於用以得到第1次雷射脈衝之Q開關休止期間。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种可得到稳定之激光脉冲激光，并可排除制程时间(tact time)之无效浪费时间之激光控制方法。该激光控制方法系具有增益介质与Q开关(Q- switch)，并对增益介质连续照射激发光而将Q开关设置成连续振荡模式，且于激光脉冲产生前预定之时间设下休止期间而得到激光脉冲者；其特征在于：Q开关之连续振荡期间业已持续一定时间以上时，用以得到后继第2次以后之激光脉冲之Q开关休止期间系不同于用以得到第1次激光脉冲之Q开关休止期间。

8. 发明专利

TW201730914A 於氣體放電光源中的氣體混合控制审中-公开
简体标题：于气体放电光源中的气体混合控制
公开(公告)号：TW201730914A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105140607
申请日：2016-12-08
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：阿拉瓦特拉赫 , AHLAWAT, RAHUL , 亞果爾沃坦奴智 , AGGARWAL, TANUJ
IPC分类号： H01J61/12 , H01J61/28
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/0014 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/10069 , H01S3/104 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2253 , H01S3/2255 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308
摘要：本發明提供一種氣體放電光源，其包括包括一或多個氣體放電室之一氣體放電系統。以一各別氣體混合物填充該氣體放電系統中之該等氣體放電室中的每一者。對於各氣體放電室，藉由啟動脈衝能量之相關聯能量源來將一脈衝能量供應至該各別氣體混合物，以藉此自該氣體放電室產生一經脈衝放大光束。判定該氣體放電系統之一或多個性質。基於該氣體放電系統之該所判定一或多個性質而自複數個可能方案當中選擇一氣體維持方案。將該所選氣體維持方案應用於該氣體放電系統。一氣體維持方案包括與將一或多個補充氣體混合物添加至該氣體放電系統之該氣體放電室相關的一或多個參數。
简体摘要：本发明提供一种气体放电光源，其包括包括一或多个气体放电室之一气体放电系统。以一各别气体混合物填充该气体放电系统中之该等气体放电室中的每一者。对于各气体放电室，借由启动脉冲能量之相关联能量源来将一脉冲能量供应至该各别气体混合物，以借此自该气体放电室产生一经脉冲放大光束。判定该气体放电系统之一或多个性质。基于该气体放电系统之该所判定一或多个性质而自复数个可能方案当中选择一气体维持方案。将该所选气体维持方案应用于该气体放电系统。一气体维持方案包括与将一或多个补充气体混合物添加至该气体放电系统之该气体放电室相关的一或多个参数。

9. 发明专利

TW201328427A 瀏覽投影片的鐳射燈控制系統及方法审中-公开
简体标题：浏览投影片的激光灯控制系统及方法
公开(公告)号：TW201328427A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW100148532
申请日：2011-12-26
申请人：奇美通訊股份有限公司 , CHI MEI COMMUNICATION SYSTEMS, INC.
发明人：曲開波 , QU, KAI-BO
IPC分类号： H05B37/02 , G06F3/033
CPC分类号： G02B27/20 , G02F1/01 , G02F1/23 , H01S3/10 , H01S3/10069
摘要：一種瀏覽投影片的鐳射燈控制系統及方法，包括：當於電子裝置打開投影片進行播放，以及需要開啟電子裝置的鐳射燈功能時，控制電子裝置的第一開關閉合以開啟電子裝置的鐳射燈；對當前播放的投影片進行背景顏色的多點採樣，以獲得預設的多個圖元點的RGB值；計算得到所採樣的R值的平均值以及綠色G值的平均值；當R值的平均值大於該預設的顏色閥值時，控制第二開關開啟第一鐳射燈；當R值的平均值不大於預設的顏色閥值以及G值的平均值大於預設的顏色閥值時，控制第二開關開啟第二鐳射燈。利用本發明可自動方便地切換鐳射燈。
简体摘要：一种浏览投影片的激光灯控制系统及方法，包括：当于电子设备打开投影片进行播放，以及需要打开电子设备的激光灯功能时，控制电子设备的第一开关闭合以打开电子设备的激光灯；对当前播放的投影片进行背景颜色的多点采样，以获得默认的多个图元点的RGB值；计算得到所采样的R值的平均值以及绿色G值的平均值；当R值的平均值大于该默认的颜色阀值时，控制第二开关打开第一激光灯；当R值的平均值不大于默认的颜色阀值以及G值的平均值大于默认的颜色阀值时，控制第二开关打开第二激光灯。利用本发明可自动方便地切换激光灯。

10. 发明专利

TW200722936A 雷射光源裝置及方法、曝光方法及裝置审中-公开
简体标题：激光光源设备及方法、曝光方法及设备
公开(公告)号：TW200722936A
公开(公告)日：2007-06-16
申请号：TW095145930
申请日：2006-12-08
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人：土岐剛史
IPC分类号： G03F , H01L , G02B
CPC分类号： G03F7/70575 , G03F7/70533 , H01S3/10069 , H01S3/1394 , H01S3/225
摘要：本發明在雷射光源裝置側有效活用曝光裝置本體側之資訊。本發明之雷射光源裝置16,係用以將雷射光LB供應至使晶圓曝光之曝光裝置本體部20,其具備控制部12,係根據曝光裝置本體部20所傳送之曝光動作之曝光資訊EI來調整雷射光源裝置16之運轉條件。該曝光資訊EI之一例,係開始發光前之待機時間或持續發光之時間之資訊;該運轉條件之一例,係使雷射光發光之放電腔室1內之氣體壓力、放電腔室1內之溫度、及放電腔室1內之鼓風機4之旋轉數。
简体摘要：本发明在激光光源设备侧有效活用曝光设备本体侧之信息。本发明之激光光源设备16,系用以将激光光LB供应至使晶圆曝光之曝光设备本体部20,其具备控制部12,系根据曝光设备本体部20所发送之曝光动作之曝光信息EI来调整激光光源设备16之运转条件。该曝光信息EI之一例,系开始发光前之待机时间或持续发光之时间之信息;该运转条件之一例,系使激光光发光之放电腔室1内之气体压力、放电腔室1内之温度、及放电腔室1内之鼓风机4之旋转数。

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