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    • 3. 发明专利
    • 量測石英晶體微天平(QCM)反應頻率及延遲時間之系統
    • 量测石英晶体微天平(QCM)反应频率及延迟时间之系统
    • TWI325050B
    • 2010-05-21
    • TW096104045
    • 2007-02-05
    • 大同股份有限公司
    • 李昭法顏聰榮郭正興
    • G01HG01N
    • G01H13/00
    • 本發明係有關於一種量測石英晶體微天平反應頻率及延遲時間之系統,其包含一電晶體振盪電路、一開關電路、一比較器電路及一控制電路。電晶體振盪電路包含一石英振盪器,用以產生一原始振盪訊號。開關電路耦合至電晶體振盪電路,當開關電路接收一開始訊號時,致能電晶體振盪電路,以產生原始振盪訊號。比較器電路耦合至電晶體振盪電路,以將該原始振盪訊號轉換為一方波振盪訊號。控制電路耦合至該比較器電路,以接收該方波振盪訊號,俾決定該石英晶體微天平之反應頻率及延遲時間。 【創作特點】 本發明之一目的係在提供一種量測石英晶體微天平反應頻率及延遲時間之系統,俾可可準確地測量振盪訊號的頻率,以計算振盪頻率的變化量,進而推算石英晶體微天平(QCM)所吸附物質的質量。
      本發明之另一目的係在提供一種量測石英晶體微天平反應頻率及延遲時間之系統,可測量在振盪訊號的振幅及頻率趨於穩定前的延遲時間,並進而推算和石英晶體微天平(QCM)所檢測物質的性質及吸附量,而改善習知技術疏漏之處。
      為達成前述之目的,本發明係提出一種量測石英晶體微天平反應頻率及延遲時間之系統,其包含一電晶體振盪電路、一開關電路、一比較器電路及一控制電路。該電晶體振盪電路包含一石英振盪器,用以產生一原始振盪訊號;該開關電路耦合至該電晶體振盪電路,當該開關電路接收一開始訊號時,致能該電晶體振盪電路,以產生該原始振盪訊號;該比較器電路耦合至該電晶體振盪電路,以將該原始振盪訊號轉換為一方波振盪訊號;該控制電路耦合至該比較器電路,以接收該方波振盪訊號,俾決定該石英晶體微天平之反應頻率及延遲時間。
    • 本发明系有关于一种量测石英晶体微天平反应频率及延迟时间之系统,其包含一晶体管振荡电路、一开关电路、一比较器电路及一控制电路。晶体管振荡电路包含一石英振荡器,用以产生一原始振荡信号。开关电路耦合至晶体管振荡电路,当开关电路接收一开始信号时,致能晶体管振荡电路,以产生原始振荡信号。比较器电路耦合至晶体管振荡电路,以将该原始振荡信号转换为一方波振荡信号。控制电路耦合至该比较器电路,以接收该方波振荡信号,俾决定该石英晶体微天平之反应频率及延迟时间。 【创作特点】 本发明之一目的系在提供一种量测石英晶体微天平反应频率及延迟时间之系统,俾可可准确地测量振荡信号的频率,以计算振荡频率的变化量,进而推算石英晶体微天平(QCM)所吸附物质的质量。 本发明之另一目的系在提供一种量测石英晶体微天平反应频率及延迟时间之系统,可测量在振荡信号的振幅及频率趋于稳定前的延迟时间,并进而推算和石英晶体微天平(QCM)所检测物质的性质及吸附量,而改善习知技术疏漏之处。 为达成前述之目的,本发明系提出一种量测石英晶体微天平反应频率及延迟时间之系统,其包含一晶体管振荡电路、一开关电路、一比较器电路及一控制电路。该晶体管振荡电路包含一石英振荡器,用以产生一原始振荡信号;该开关电路耦合至该晶体管振荡电路,当该开关电路接收一开始信号时,致能该晶体管振荡电路,以产生该原始振荡信号;该比较器电路耦合至该晶体管振荡电路,以将该原始振荡信号转换为一方波振荡信号;该控制电路耦合至该比较器电路,以接收该方波振荡信号,俾决定该石英晶体微天平之反应频率及延迟时间。
    • 5. 发明专利
    • 基於振動或聲學特性分析的晶圓夾具偵測
    • 基于振动或声学特性分析的晶圆夹具侦测
    • TW201632853A
    • 2016-09-16
    • TW104143754
    • 2015-12-25
    • 艾克塞利斯科技公司AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
    • 佐藤 修SATOH, SHU
    • G01L1/10G01L5/00H01L21/687
    • G01N29/34G01H13/00G01N29/09G01N29/12G01N29/2418G01N2291/014G01N2291/018G01N2291/028H01L21/67259H01L21/67288H01L21/6831H01L22/10
    • 本發明提供一種用於偵測一夾緊裝置之夾緊狀態的工件夾緊狀態偵測系統及方法。一夾緊裝置具有一夾緊表面,該夾緊裝置被配置成用以選擇性地夾緊一工件至該夾緊表面。該夾緊裝置可以為一靜電式夾盤或是一機械式夾具,用以選擇性地將一半導體晶圓固定至該處。一振動誘發機制會進一步被提供,其中,該振動誘發機制被配置成用以選擇性地振動該夾緊裝置與工件中的一或更多者。一振動感測機制也會被提供,其中,該振動感測機制被配置成用以偵測該夾緊裝置與工件中的一或更多者的振動。夾緊狀態的偵測運用聲學特性的變化(例如,自然共振頻率或聲學阻抗的偏移)來決定工件的夾緊條件。一控制器會進一步被配置成用以決定和該工件夾緊至該夾緊表面相關聯的夾緊狀態,其中,該夾緊狀態和該夾緊裝置與工件中的一或更多者之被偵測到的振動相關聯。
    • 本发明提供一种用于侦测一夹紧设备之夹紧状态的工件夹紧状态侦测系统及方法。一夹紧设备具有一夹紧表面,该夹紧设备被配置成用以选择性地夹紧一工件至该夹紧表面。该夹紧设备可以为一静电式夹盘或是一机械式夹具,用以选择性地将一半导体晶圆固定至该处。一振动诱发机制会进一步被提供,其中,该振动诱发机制被配置成用以选择性地振动该夹紧设备与工件中的一或更多者。一振动传感机制也会被提供,其中,该振动传感机制被配置成用以侦测该夹紧设备与工件中的一或更多者的振动。夹紧状态的侦测运用声学特性的变化(例如,自然共振频率或声学阻抗的偏移)来决定工件的夹紧条件。一控制器会进一步被配置成用以决定和该工件夹紧至该夹紧表面相关联的夹紧状态,其中,该夹紧状态和该夹紧设备与工件中的一或更多者之被侦测到的振动相关联。
    • 6. 发明专利
    • 用於認證裝置的方法及系統
    • 用于认证设备的方法及系统
    • TW201531672A
    • 2015-08-16
    • TW103129007
    • 2014-08-22
    • 西克帕控股有限公司SICPA HOLDING SA
    • 卡勒嘉里安德雅CALLEGARI, ANDREA迪寇克斯艾瑞克DECOUX, ERIC
    • G01H13/00G04B18/02G04D7/00
    • G04D7/1207G01H13/00G04B18/02G04C5/00G04D7/001G04D7/003G04D7/1228
    • 用於認證時計之方法包含以下步驟:量測由該時計發射之聲振動以獲得指示量級資訊之一電訊號,該量級資訊包含該等量測的聲振動之量級隨時間的變化。該電訊號包含與該時計中之石英諧振器之存在相關聯的至少一個特定音調。方法進一步包含以下步驟:進行電訊號至頻域之變換以獲得指示電訊號之功率隨頻率變化的頻域功率譜;處理該頻域功率譜以便顯示頻域功率譜中對應於該至少一個特定音調的至少一個狹窄尖峰;及擷取對應於該至少一個狹窄尖峰的至少一個諧振頻率。方法進一步包含以下步驟:將所擷取至少一個諧振頻率與至少一個參考諧振頻率進行比較;以及決定該時計之正宗性。
    • 用于认证时计之方法包含以下步骤:量测由该时计发射之声振动以获得指示量级信息之一电信号,该量级信息包含该等量测的声振动之量级随时间的变化。该电信号包含与该时计中之石英谐振器之存在相关联的至少一个特定音调。方法进一步包含以下步骤:进行电信号至频域之变换以获得指示电信号之功率随频率变化的频域功率谱;处理该频域功率谱以便显示频域功率谱中对应于该至少一个特定音调的至少一个狭窄尖峰;及截取对应于该至少一个狭窄尖峰的至少一个谐振频率。方法进一步包含以下步骤:将所截取至少一个谐振频率与至少一个参考谐振频率进行比较;以及决定该时计之正宗性。
    • 10. 发明专利
    • 量測石英晶體微天平(QCM)反應頻率及延遲時間之系統
    • 量测石英晶体微天平(QCM)反应频率及延迟时间之系统
    • TW200834076A
    • 2008-08-16
    • TW096104045
    • 2007-02-05
    • 大同股份有限公司 TATUNG CO., LTD.
    • 李昭法顏聰榮郭正興
    • G01NG01G
    • G01H13/00
    • 本發明係有關於一種量測石英晶體微天平反應頻率及延遲時間之系統,其包含一電晶體振盪電路、一開關電路、一比較器電路及一控制電路。電晶體振盪電路包含一石英振盪器,用以產生一原始振盪訊號。開關電路耦合至電晶體振盪電路,當開關電路接收一開始訊號時,致能電晶體振盪電路,以產生原始振盪訊號。比較器電路耦合至電晶體振盪電路,以將該原始振盪訊號轉換為一方波振盪訊號。控制電路耦合至該比較器電路,以接收該方波振盪訊號,俾決定該石英晶體微天平之反應頻率及延遲時間。
    • 本发明系有关于一种量测石英晶体微天平反应频率及延迟时间之系统,其包含一晶体管振荡电路、一开关电路、一比较器电路及一控制电路。晶体管振荡电路包含一石英振荡器,用以产生一原始振荡信号。开关电路耦合至晶体管振荡电路,当开关电路接收一开始信号时,致能晶体管振荡电路,以产生原始振荡信号。比较器电路耦合至晶体管振荡电路,以将该原始振荡信号转换为一方波振荡信号。控制电路耦合至该比较器电路,以接收该方波振荡信号,俾决定该石英晶体微天平之反应频率及延迟时间。