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1. 发明专利

TW200813407A 振動波檢測方法及裝置 VIBRATIONAL WAVE DETECTION METHOD, AND VIBRATIONAL WAVE DETECTOR 审中-公开
简体标题：振动波检测方法及设备 VIBRATIONAL WAVE DETECTION METHOD, AND VIBRATIONAL WAVE DETECTOR
公开(公告)号：TW200813407A
公开(公告)日：2008-03-16
申请号：TW096116915
申请日：2007-05-11
申请人：國立大學法人東京大學 THE UNIVERSITY OF TOKYO , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：安藤繁 ANDO, SHIGERU , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01H
CPC分类号： G01H11/08
摘要：本發明提供一種可賦予任意複數負載之振動波檢測方法及裝置。本發明之振動波檢測方法,其係將振動波傳播於各自對不同之特定頻率共振之複數個共振樑51a~5nb,以設在共振樑51a~5nb各個之壓致電阻61a~6nb檢測共振樑51a~5nb各個對上述頻率的共振所伴隨之電性輸出者,以複數個共振樑51a~5nb之壓致電阻61a~6nb共通之頻率對各個共振樑51a~5nb施加相位不同之交流偏壓電壓,合成複數個共振樑51a~5nb之壓致電阻61a~6nb之輸出。再者,於施加該交流偏壓電壓之複數個共振樑51a~5nb中的至少1個共振樑,上述交流偏壓電壓之振幅係不同。
简体摘要：本发明提供一种可赋予任意复数负载之振动波检测方法及设备。本发明之振动波检测方法,其系将振动波传播于各自对不同之特定频率共振之复数个共振梁51a~5nb,以设在共振梁51a~5nb各个之压致电阻61a~6nb检测共振梁51a~5nb各个对上述频率的共振所伴随之电性输出者,以复数个共振梁51a~5nb之压致电阻61a~6nb共通之频率对各个共振梁51a~5nb施加相位不同之交流偏压电压,合成复数个共振梁51a~5nb之压致电阻61a~6nb之输出。再者,于施加该交流偏压电压之复数个共振梁51a~5nb中的至少1个共振梁,上述交流偏压电压之振幅系不同。

2. 发明专利

TW200809169A 振動波檢測方法及裝置 VIBRATIONAL WAVE DETECTION METHOD, AND VIBRATIONAL WAVE DETECTOR 审中-公开
简体标题：振动波检测方法及设备 VIBRATIONAL WAVE DETECTION METHOD, AND VIBRATIONAL WAVE DETECTOR
公开(公告)号：TW200809169A
公开(公告)日：2008-02-16
申请号：TW096123309
申请日：2007-06-27
申请人：國立大學法人東京大學 THE UNIVERSITY OF TOKYO , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：安藤繁 ANDO, SHIGERU , 小野順貴 ONO, NOBUTAKA , 藤田悠哉 FUJITA, YUYA , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01H
CPC分类号： G01H11/08 , G01H13/00
摘要：本發明係提供一種振動波檢測方法及裝置,其可即時地作為瞬時値獲得希伯特轉換對輸出。該振動波檢測方法係使振動波傳播至在互不相同之特定頻率共振之複數個共振樑51~5m,將共振樑51~5m之各個振動作為電信號,在設於各個共振樑51~5m之壓阻61~6m進行檢測者,其將共振樑51~5m排列成使各個共振子之位置呈與該等共振頻率之對數成比例之對數線形,設N為2以上之整數,每隔N-1根選擇共振樑5l~5m,輸出對其壓阻61~6m之輸出進行加法運算所得之複數個信號。再者,較好的是,前述N為3以上之整數,特別是共振樑51~5m為使每隔N-1根之共振樑5l~5m之共振頻率之比一定,設定並排列共振頻率。
简体摘要：本发明系提供一种振动波检测方法及设备,其可实时地作为瞬时値获得希伯特转换对输出。该振动波检测方法系使振动波传播至在互不相同之特定频率共振之复数个共振梁51~5m,将共振梁51~5m之各个振动作为电信号,在设于各个共振梁51~5m之压阻61~6m进行检测者,其将共振梁51~5m排列成使各个共振子之位置呈与该等共振频率之对数成比例之对数线形,设N为2以上之整数,每隔N-1根选择共振梁5l~5m,输出对其压阻61~6m之输出进行加法运算所得之复数个信号。再者,较好的是,前述N为3以上之整数,特别是共振梁51~5m为使每隔N-1根之共振梁5l~5m之共振频率之比一定,设置并排列共振频率。

3. 发明专利

TW200704931A 探針卡及微小構造體之檢查裝置失效
简体标题：探针卡及微小构造体之检查设备
公开(公告)号：TW200704931A
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：TW095111699
申请日：2006-03-31
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01P
CPC分类号： B81C99/005
摘要：本發明係提供一種探針卡及檢查裝置,其以簡易方式高精度地檢查具有微小可動部之微小構造體。探針卡6包含揚聲器2、與將探針4固定之電路基板100,且在電路基板100上載置揚聲器2。並且,電路基板100上設有開口區域,藉由在該開口區域上載置揚聲器2,而對微小構造體之可動部輸出測試音波。然後,由探針4檢測藉由可動部隨著該測試音波動作所致之電氣特性變化,而檢查微小構造體之特性。
简体摘要：本发明系提供一种探针卡及检查设备,其以简易方式高精度地检查具有微小可动部之微小构造体。探针卡6包含扬声器2、与将探针4固定之电路基板100,且在电路基板100上载置扬声器2。并且,电路基板100上设有开口区域,借由在该开口区域上载置扬声器2,而对微小构造体之可动部输出测试音波。然后,由探针4检测借由可动部随着该测试音波动作所致之电气特性变化,而检查微小构造体之特性。

4. 发明专利

TW200639407A 微小構造體之檢查裝置、微小構造體之檢查方法及微小構造體之檢查程式失效
简体标题：微小构造体之检查设备、微小构造体之检查方法及微小构造体之检查进程
公开(公告)号：TW200639407A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：TW095107347
申请日：2006-03-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：松本俊行 MATSUMOTO, TOSHIYUKI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI , 八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 圓城寺啓一 ENJOJI, KEIICHI , 林聖人 HAYASHI, MASATO
IPC分类号： G01P , G01N
CPC分类号： G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：喇叭部(2)中具有複數個音源，由各音源輸出音波。藉由喇叭部(2)所輸出之為疏密波之音波到達，亦即藉由空氣振動，檢測晶片TP之為微小構造體之三軸加速度感測器的可動部動作。對於依此動作而變化之電阻值的變化，依經由探針(4)施加之輸出電壓來進行測定。控制部(20)依測定之特性值，即依測定資料來判定三軸加速度感測器之特性。此外，複數個音源的間隔依至三軸加速度感測器之可動部為止之距離差及測試音波之波長而設定成指定值，藉此以合成之音波的合成音場為最大的方式而對可動部施加為合成波之測試音波。
简体摘要：喇叭部(2)中具有复数个音源，由各音源输出音波。借由喇叭部(2)所输出之为疏密波之音波到达，亦即借由空气振动，检测芯片TP之为微小构造体之三轴加速度传感器的可动部动作。对于依此动作而变化之电阻值的变化，依经由探针(4)施加之输出电压来进行测定。控制部(20)依测定之特性值，即依测定数据来判定三轴加速度传感器之特性。此外，复数个音源的间隔依至三轴加速度传感器之可动部为止之距离差及测试音波之波长而设置成指定值，借此以合成之音波的合成音场为最大的方式而对可动部施加为合成波之测试音波。

5. 发明专利

TWI300844B 微小結構體之檢驗裝置、檢驗方法及儲存檢驗程式之電腦可讀取記錄媒體失效
简体标题：微小结构体之检验设备、检验方法及存储检验进程之电脑可读取记录媒体
公开(公告)号：TWI300844B
公开(公告)日：2008-09-11
申请号：TW095127123
申请日：2006-07-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01P , H01L , G01N
CPC分类号： G01P15/123 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要：本發明之目的係提供一種以簡易方式高精度地檢驗具有微小可動部之微小構造體之檢驗裝置、檢驗方法及檢驗程式。
輸入檢驗音波,分析應答該檢驗音波輸入之感測器輸出電壓振幅之頻率特性。由預先假定之使用條件等來算出裝置所要求之最大頻率及最小頻率,判定在該頻率頻帶內能否檢出所希望之特性。具體而言,在特定之頻率頻帶中,根據應答特性是否超過臨限値之最小特性位準,以判定為良品或不良品。
简体摘要：本发明之目的系提供一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部之微小构造体之检验设备、检验方法及检验进程。输入检验音波,分析应答该检验音波输入之传感器输出电压振幅之频率特性。由预先假定之使用条件等来算出设备所要求之最大频率及最小频率,判定在该频率频带内能否检出所希望之特性。具体而言,在特定之频率频带中,根据应答特性是否超过临限値之最小特性位准,以判定为良品或不良品。

6. 发明专利

TWI294514B 音響感測器裝置、音響解析診斷裝置及音響感測器之製造方法失效
简体标题：音响传感器设备、音响解析诊断设备及音响传感器之制造方法
公开(公告)号：TWI294514B
公开(公告)日：2008-03-11
申请号：TW095127208
申请日：2006-07-26
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：松本俊行 MATSUMOTO, TOSHIYUKI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01H
CPC分类号： G01H3/08
摘要：本發明係提供一種以較簡單的結構即時解析診斷來自測定對象之聲音用的音響感測裝置、音響解析診斷裝置及音響感測器之製造方法。本發明的資料收集、傳輸電路30係藉由複數個音響感測器11~15各個與不同聲音產生諧振，僅檢測所有頻帶內各個不同頻帶之聲音，以資料轉換電路21~25轉換成資料，由控制部31自資料傳輸電路32經由天線33傳輸。資料接收、解析診斷電路40係接收對應於複數個音響感測器11~15之資料，將事先記憶之音壓與接收之資料所產生之音壓進行比較，可判斷測定對象為正常或異常。
简体摘要：本发明系提供一种以较简单的结构实时解析诊断来自测定对象之声音用的音响传感设备、音响解析诊断设备及音响传感器之制造方法。本发明的数据收集、传输电路30系借由复数个音响传感器11~15各个与不同声音产生谐振，仅检测所有频带内各个不同频带之声音，以数据转换电路21~25转换成数据，由控制部31自数据传输电路32经由天线33传输。数据接收、解析诊断电路40系接收对应于复数个音响传感器11~15之数据，将事先记忆之音压与接收之数据所产生之音压进行比较，可判断测定对象为正常或异常。

7. 发明专利

TWI292037B 振盪波檢測裝置失效
简体标题：振荡波检测设备
公开(公告)号：TWI292037B
公开(公告)日：2008-01-01
申请号：TW095124664
申请日：2006-07-06
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01H
CPC分类号： H04R7/08 , G01H3/08 , H04R1/245 , H04R17/02
摘要：本發明係以支撐部11支撐感測器本體1，該感測器本體1具有結合於相應於聲波而進行振盪之板狀振盪膜2，且分別與不同之特定頻率進行諧振之複數諧振橫桿5，且於感測器本體1上具有用以將振盪膜2之一面與另一面於聲音上分離的頂蓋12，增大施加於振盪膜2之一面之聲壓與施加於另一面之聲壓的差壓而提高靈敏度。
简体摘要：本发明系以支撑部11支撑传感器本体1，该传感器本体1具有结合于相应于声波而进行振荡之板状振荡膜2，且分别与不同之特定频率进行谐振之复数谐振横杆5，且于传感器本体1上具有用以将振荡膜2之一面与另一面于声音上分离的顶盖12，增大施加于振荡膜2之一面之声压与施加于另一面之声压的差压而提高灵敏度。

8. 发明专利

TWI289204B 微小構造體之檢查裝置、微小構造體之檢查方法及記錄微小構造體之檢查程式之記錄媒體失效
简体标题：微小构造体之检查设备、微小构造体之检查方法及记录微小构造体之检查进程之记录媒体
公开(公告)号：TWI289204B
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：TW095107347
申请日：2006-03-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：松本俊行 MATSUMOTO, TOSHIYUKI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI , 八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 圓城寺啓一 ENJOJI, KEIICHI , 林聖人 HAYASHI, MASATO
IPC分类号： G01P , G01N
CPC分类号： G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要：喇叭部(2)中具有複數個音源，由各音源輸出音波。藉由喇叭部(2)所輸出之為疏密波之音波到達，亦即藉由空氣振動，檢測晶片TP之為微小構造體之三軸加速度感測器的可動部動作。對於依此動作而變化之電阻值的變化，依經由探針(4)施加之輸出電壓來進行測定。控制部(20)依測定之特性值，即依測定資料來判定三軸加速度感測器之特性。此外，複數個音源的間隔依至三軸加速度感測器之可動部為止之距離差及測試音波之波長而設定成指定值，藉此以合成之音波的合成音場為最大的方式而對可動部施加為合成波之測試音波。
简体摘要：喇叭部(2)中具有复数个音源，由各音源输出音波。借由喇叭部(2)所输出之为疏密波之音波到达，亦即借由空气振动，检测芯片TP之为微小构造体之三轴加速度传感器的可动部动作。对于依此动作而变化之电阻值的变化，依经由探针(4)施加之输出电压来进行测定。控制部(20)依测定之特性值，即依测定数据来判定三轴加速度传感器之特性。此外，复数个音源的间隔依至三轴加速度传感器之可动部为止之距离差及测试音波之波长而设置成指定值，借此以合成之音波的合成音场为最大的方式而对可动部施加为合成波之测试音波。

9. 发明专利

TWI293367B 微小構造體之檢查裝置、檢查方法及記錄有檢查程式之記錄媒體有权
简体标题：微小构造体之检查设备、检查方法及记录有检查进程之记录媒体
公开(公告)号：TWI293367B
公开(公告)日：2008-02-11
申请号：TW095129641
申请日：2006-08-11
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01P
CPC分类号： G01R31/2829 , B81C99/005 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/0842
摘要：本發明之微小構造體之測定裝置，係將三維加速度感測器之測定晶片安裝在夾盤上(SP1)，使探針移動至測定晶片(SP2)，進行氧化膜破壞電流流過控制(SP4)，然後將探針與測定晶片之電極墊連接，進行DC試驗(SP7～SP10)，之後藉由揚聲器對測定晶片之可動部施加測試音波，進行加振試驗(SP11～SP13)，最後基於該結果來測定三維加速度感測器之特性。
简体摘要：本发明之微小构造体之测定设备，系将三维加速度传感器之测定芯片安装在夹盘上(SP1)，使探针移动至测定芯片(SP2)，进行氧化膜破坏电流流过控制(SP4)，然后将探针与测定芯片之电极垫连接，进行DC试验(SP7～SP10)，之后借由扬声器对测定芯片之可动部施加测试音波，进行加振试验(SP11～SP13)，最后基于该结果来测定三维加速度传感器之特性。

10. 发明专利

TWI290625B 探針卡及微小構造體之檢查裝置失效
简体标题：探针卡及微小构造体之检查设备
公开(公告)号：TWI290625B
公开(公告)日：2007-12-01
申请号：TW095111699
申请日：2006-03-31
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八壁正巳 YAKABE, MASAMI , 池內直樹 IKEUCHI, NAOKI
IPC分类号： G01P
CPC分类号： B81C99/005
摘要：本發明係提供一種探針卡及檢查裝置，其以簡易方式高精度地檢查具有微小可動部之微小構造體。探針卡6包含揚聲器2、與將探針4固定之電路基板100，且在電路基板100上載置揚聲器2。並且，電路基板100上設有開口區域，藉由在該開口區域上載置揚聲器2，而對微小構造體之可動部輸出測試音波。然後，由探針4檢測藉由可動部隨著該測試音波動作所致之電氣特性變化，而檢查微小構造體之特性。
简体摘要：本发明系提供一种探针卡及检查设备，其以简易方式高精度地检查具有微小可动部之微小构造体。探针卡6包含扬声器2、与将探针4固定之电路基板100，且在电路基板100上载置扬声器2。并且，电路基板100上设有开口区域，借由在该开口区域上载置扬声器2，而对微小构造体之可动部输出测试音波。然后，由探针4检测借由可动部随着该测试音波动作所致之电气特性变化，而检查微小构造体之特性。

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