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热词
    • 1. 发明专利
    • 利用雙埠系統量測聲學阻抗的方法
    • 利用双端口系统量测声学阻抗的方法
    • TW201610397A
    • 2016-03-16
    • TW103131298
    • 2014-09-11
    • 國立清華大學NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
    • 白明憲BAI, MINGSIAN R.羅一揚LO, YI-YANG
    • G01H15/00
    • G01N29/09G01N29/24G01N29/4472G01N2291/018
    • 一種利用雙埠系統量測聲學阻抗的方法,用以量測一待測物之一聲學阻抗,該待測物包含一輸入端以及一遠離該輸入端的輸出端,該雙埠系統包含一第一阻抗管以及一第二阻抗管,該第一阻抗管包含一供一音源輸入一平面波的第一入口以及一與該待測物的該輸入端連接的第一出口,該第二阻抗管包含一與該待測物的該輸出端連接的第二入口以及一供該平面波輸出的第二出口,該方法針對該雙埠系統以一兩次量測法求得該聲學阻抗,使得該雙埠系統具有應用範圍廣泛、方便使用的優點,而可運用於設計耳機腔體、消音管、吸音材、人工耳等。
    • 一种利用双端口系统量测声学阻抗的方法,用以量测一待测物之一声学阻抗,该待测物包含一输入端以及一远离该输入端的输出端,该双端口系统包含一第一阻抗管以及一第二阻抗管,该第一阻抗管包含一供一音源输入一平面波的第一入口以及一与该待测物的该输入端连接的第一出口,该第二阻抗管包含一与该待测物的该输出端连接的第二入口以及一供该平面波输出的第二出口,该方法针对该双端口系统以一两次量测法求得该声学阻抗,使得该双端口系统具有应用范围广泛、方便使用的优点,而可运用于设计耳机腔体、消音管、吸音材、人工耳等。
    • 3. 发明专利
    • 基於振動或聲學特性分析的晶圓夾具偵測
    • 基于振动或声学特性分析的晶圆夹具侦测
    • TW201632853A
    • 2016-09-16
    • TW104143754
    • 2015-12-25
    • 艾克塞利斯科技公司AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
    • 佐藤 修SATOH, SHU
    • G01L1/10G01L5/00H01L21/687
    • G01N29/34G01H13/00G01N29/09G01N29/12G01N29/2418G01N2291/014G01N2291/018G01N2291/028H01L21/67259H01L21/67288H01L21/6831H01L22/10
    • 本發明提供一種用於偵測一夾緊裝置之夾緊狀態的工件夾緊狀態偵測系統及方法。一夾緊裝置具有一夾緊表面,該夾緊裝置被配置成用以選擇性地夾緊一工件至該夾緊表面。該夾緊裝置可以為一靜電式夾盤或是一機械式夾具,用以選擇性地將一半導體晶圓固定至該處。一振動誘發機制會進一步被提供,其中,該振動誘發機制被配置成用以選擇性地振動該夾緊裝置與工件中的一或更多者。一振動感測機制也會被提供,其中,該振動感測機制被配置成用以偵測該夾緊裝置與工件中的一或更多者的振動。夾緊狀態的偵測運用聲學特性的變化(例如,自然共振頻率或聲學阻抗的偏移)來決定工件的夾緊條件。一控制器會進一步被配置成用以決定和該工件夾緊至該夾緊表面相關聯的夾緊狀態,其中,該夾緊狀態和該夾緊裝置與工件中的一或更多者之被偵測到的振動相關聯。
    • 本发明提供一种用于侦测一夹紧设备之夹紧状态的工件夹紧状态侦测系统及方法。一夹紧设备具有一夹紧表面,该夹紧设备被配置成用以选择性地夹紧一工件至该夹紧表面。该夹紧设备可以为一静电式夹盘或是一机械式夹具,用以选择性地将一半导体晶圆固定至该处。一振动诱发机制会进一步被提供,其中,该振动诱发机制被配置成用以选择性地振动该夹紧设备与工件中的一或更多者。一振动传感机制也会被提供,其中,该振动传感机制被配置成用以侦测该夹紧设备与工件中的一或更多者的振动。夹紧状态的侦测运用声学特性的变化(例如,自然共振频率或声学阻抗的偏移)来决定工件的夹紧条件。一控制器会进一步被配置成用以决定和该工件夹紧至该夹紧表面相关联的夹紧状态,其中,该夹紧状态和该夹紧设备与工件中的一或更多者之被侦测到的振动相关联。