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1. 发明专利

TW202022983A 真空處理設備及真空處理基板的方法审中-公开
简体标题：真空处理设备及真空处理基板的方法
公开(公告)号：TW202022983A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108136368
申请日：2019-10-08
申请人：瑞士商艾維太克股份有限公司 , EVATEC AG
发明人：納帝湯瑪斯 , NADIG, THOMAS , 布雷斯馬丁 , BLESS, MARTIN
IPC分类号： H01L21/687 , C23C14/58
摘要：為了進行真空處理，將基板(14)輸送至空心圓柱體(4)的內部空間，然後將其放置在保持板(28)上，並且將其朝基板支撐件(5a)抬起至基板支撐件(5a)上。基板支撐件(5a)的開口與空心圓柱體(4)的壁部中之開口(31)對準。藉由繞著空心圓柱體的軸線(A3)旋轉空心圓柱體，使基板(28)、基板支撐件(5a)及開口(31/33)在與處理站(22)對齊的位置上，在所述位置處對基板(14)進行真空處理。
简体摘要：为了进行真空处理，将基板(14)输送至空心圆柱体(4)的内部空间，然后将其放置在保持板(28)上，并且将其朝基板支撑件(5a)抬起至基板支撑件(5a)上。基板支撑件(5a)的开口与空心圆柱体(4)的壁部中之开口(31)对准。借由绕着空心圆柱体的轴线(A3)旋转空心圆柱体，使基板(28)、基板支撑件(5a)及开口(31/33)在与处理站(22)对齐的位置上，在所述位置处对基板(14)进行真空处理。

2. 发明专利

TW202022976A 基板搬送裝置、基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板搬送设备、基板处理设备
公开(公告)号：TW202022976A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW109101226
申请日：2017-03-06
申请人：日商芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：古矢正明 , FURUYA, MASAAKI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要：提供一種能使基板搬送時間縮短的基板搬送裝置、基板處理裝置及基板處理方法。作為有關實施形態的基板搬送裝置作用的第2搬送機器人(14)具有：第1把持板(21)；由該第1把持板(21)所支持，且相對於第1把持板(21)的表面在上下具有抵接於基板(W)外周面的抵接面的第1爪部(21b)；重疊第1把持板(21)設置的第2把持板(22)；由該第2把持板(22)所支持，且相對於第1把持板(21)的表面在上下具有抵接於基板(W)外周面的抵接面的第2爪部(22b)；使第1把持板(21)及第2把持板(22)相對移動，使第1爪部(21b)及第2爪部(22b)在相交於基板(W)外周面的方向上接合分離的把持部(23)。
简体摘要：提供一种能使基板搬送时间缩短的基板搬送设备、基板处理设备及基板处理方法。作为有关实施形态的基板搬送设备作用的第2搬送机器人(14)具有：第1把持板(21)；由该第1把持板(21)所支持，且相对于第1把持板(21)的表面在上下具有抵接于基板(W)外周面的抵接面的第1爪部(21b)；重叠第1把持板(21)设置的第2把持板(22)；由该第2把持板(22)所支持，且相对于第1把持板(21)的表面在上下具有抵接于基板(W)外周面的抵接面的第2爪部(22b)；使第1把持板(21)及第2把持板(22)相对移动，使第1爪部(21b)及第2爪部(22b)在相交于基板(W)外周面的方向上接合分离的把持部(23)。

3. 发明专利

TWI695413B 用於處理基板的裝置及用於該裝置的基板邊緣環的升降解決方案有权
简体标题：用于处理基板的设备及用于该设备的基板边缘环的升降解决方案
公开(公告)号：TWI695413B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW106100104
申请日：2017-01-04
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 比許瓦那尤甘南達薩羅德 , VISHWANATH, YOGANANDA SARODE , 斯里尼瓦桑蘇尼爾 , SRINIVASAN, SUNIL , 汀德沙拉吉德 , DHINDSA, RAJINDER , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 魯爾奧黎維兒 , LUERE, OLIVIER , 庫薩丹尼斯M , KOOSAU, DENIS M. , 尤瑟夫以馬德 , YOUSIF, IMAD
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/683 , H01L21/687

4. 实用新型

TWM595889U 拾取和放置物體的裝置有权
简体标题：十取和放置物体的设备
公开(公告)号：TWM595889U
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：TW109202385
申请日：2018-11-19
申请人：馬來西亞商正齊科技有限公司 , MI EQUIPMENT (M) SDN. BHD.
发明人：胡光榮 , OH, KUANG ENG
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , B65G47/91 , B65G49/07

5. 发明专利

TW202018856A 晶圓卡盤組件审中-公开
简体标题：晶圆卡盘组件
公开(公告)号：TW202018856A
公开(公告)日：2020-05-16
申请号：TW108114847
申请日：2019-04-29
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：拉布里亞倫路易斯 , LABRIE, AARON LOUIS , 普哈克勞迪烏瓦倫廷 , PUHA, CLAUDIU VALENTIN , 史多維羅伯特馬修 , STOWELL, ROBERT MARSHALL
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明大體上係關於用於在處理期間支撐半導體晶圓之卡盤技術。在一些範例中，一晶圓卡盤組件包含一卡盤轂部及設置於該卡盤轂部之內的一定心轂部。一嚙合裝置係可分別在嚙合位置與脫離位置之間操作，以使該卡盤轂部與該定心轂部嚙合，俾防止在至少一第一方向上的該卡盤轂部與該定心轂部之間的相對運動、或允許該卡盤轂部與該定心轂部之間的相對運動。提供一卡盤馬達，以用於基於該嚙合裝置的該嚙合或脫離位置而在晶圓處理操作及晶圓定心操作期間選擇性地使該卡盤轂部及/或該定心轂部轉動。複數卡盤臂係裝設於該卡盤轂部，每一卡盤臂在鄰近該卡盤轂部的近端與遠離該卡盤轂部的遠端之間徑向地延伸。複數定心凸輪之各者係裝設於一卡盤臂的遠端處或附近且係可移動的，以響應於該定心轂部相對於該卡盤轂部的旋轉運動而嚙合或釋放晶圓邊緣。
简体摘要：本发明大体上系关于用于在处理期间支撑半导体晶圆之卡盘技术。在一些范例中，一晶圆卡盘组件包含一卡盘毂部及设置于该卡盘毂部之内的一定心毂部。一啮合设备系可分别在啮合位置与脱离位置之间操作，以使该卡盘毂部与该定心毂部啮合，俾防止在至少一第一方向上的该卡盘毂部与该定心毂部之间的相对运动、或允许该卡盘毂部与该定心毂部之间的相对运动。提供一卡盘马达，以用于基于该啮合设备的该啮合或脱离位置而在晶圆处理操作及晶圆定心操作期间选择性地使该卡盘毂部及/或该定心毂部转动。复数卡盘臂系装设于该卡盘毂部，每一卡盘臂在邻近该卡盘毂部的近端与远离该卡盘毂部的远程之间径向地延伸。复数定心凸轮之各者系装设于一卡盘臂的远程处或附近且系可移动的，以响应于该定心毂部相对于该卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放晶圆边缘。

6. 发明专利

TWI692058B 夾持模組及夾持系統有权
简体标题：夹持模块及夹持系统
公开(公告)号：TWI692058B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：TW107141207
申请日：2018-11-20
申请人：技嘉科技股份有限公司 , GIGA-BYTE TECHNOLOGY CO.,LTD.
发明人：蔡欣峰 , TSAI, HSING-FENG , 張燕雲 , CHANG, YEN-YUN , 吳宗達 , WU, TSUNG-TA
IPC分类号： H01L21/687

7. 发明专利

TWI690022B 旋轉夾持裝置有权
简体标题：旋转夹持设备
公开(公告)号：TWI690022B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW107116237
申请日：2018-05-14
申请人：南韓商ULVAC 韓國股份有限公司 , ULVAC KOREA, LTD. , 日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：趙顯祐 , CHO, HYUN WOO , 姜明錫 , KANG, MYEONG SEOK , 鄭之歡 , JUNG, JEE HWAN , 湯山明 , YUYAMA, AKIRA , 佐藤優 , SATOU, MASARU
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/68 , B25B11/00

8. 发明专利

TWI689039B 具有最小交擾的熱隔絕區之靜電夾盤有权
简体标题：具有最小交扰的热隔绝区之静电夹盘
公开(公告)号：TWI689039B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW108102874
申请日：2014-05-07
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：帕克維傑D , PARKHE, VIJAY D. , 馬可拉契夫空斯坦汀 , MAKHRATCHEV, KONSTANTIN , 戴拉羅沙傑森 , DELLA ROSA, JASON , 挪貝克許哈密 , NOORBAKHSH, HAMID , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L. , 布希博格二世道格拉斯A , BUCHBERGER JR., DOUGLAS A.
IPC分类号： H01L21/687

9. 发明专利

TW202011504A 用於工業自動化的具有獨立的協調梭車的操縱系統审中-公开
简体标题：用于工业自动化的具有独立的协调梭车的操纵系统
公开(公告)号：TW202011504A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW107131168
申请日：2018-09-05
申请人：義大利商維斯幕達有限公司 , VISMUNDA SRL
发明人：斯伯特黛维迪 , SPOTTI, DAVIDE
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , B65G35/06 , B65G54/02
摘要：用於工業自動化的創造性操縱系統（1）具有獨立的協調梭車，為LSM活動線圈驅動類型，其中，多個梭車（10）具有內置線圈（102），以獨立但協調方式相對於彼此同步和/或不同步地作用在具有永磁體（201）的軌道（20）上，具有高水平速度，定位精度以及使用通用性；本發明尤其適合於自動化機加工扁平半成品，諸如光伏電池、印刷電路以及其他電路板或者用於傳輸以及填充容器，比如藥瓶或者長頸細口瓶。
简体摘要：用于工业自动化的创造性操纵系统（1）具有独立的协调梭车，为LSM活动线圈驱动类型，其中，多个梭车（10）具有内置线圈（102），以独立但协调方式相对于彼此同步和/或不同步地作用在具有永磁体（201）的轨道（20）上，具有高水平速度，定位精度以及使用通用性；本发明尤其适合于自动化机加工扁平半成品，诸如光伏电池、印刷电路以及其他电路板或者用于传输以及填充容器，比如药瓶或者长颈细口瓶。

10. 发明专利

TW202008502A 靜電吸盤审中-公开
简体标题：静电吸盘
公开(公告)号：TW202008502A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108126103
申请日：2019-07-24
申请人：日商TOTO股份有限公司 , TOTO LTD.
发明人：籾山大 , MOMIYAMA, YUTAKA , 佐佐木均 , SASAKI, HITOSHI
IPC分类号： H01L21/687
摘要：本發明的課題為提供一種靜電吸盤，可提高RF響應性，同時可提高電漿密度的面內均勻性。本發明的解決手段為一種靜電吸盤，其特徵在於包含：陶瓷介電質基板，具有：載置吸附的對象物的第一主表面，和與第一主表面相反側的第二主表面；底板，支撐陶瓷介電質基板；及至少一個第一電極層，配設於陶瓷介電質基板的內部，與高頻電源連接，第一電極層在從底板朝向陶瓷介電質基板的Z軸方向上配設於第一主表面與第二主表面之間，第一電極層具有第一主表面側的第一面，和與第一面相反側的第二面，第二面的表面粗糙度大於第一面的表面粗糙度。
简体摘要：本发明的课题为提供一种静电吸盘，可提高RF响应性，同时可提高等离子密度的面内均匀性。本发明的解决手段为一种静电吸盘，其特征在于包含：陶瓷介电质基板，具有：载置吸附的对象物的第一主表面，和与第一主表面相反侧的第二主表面；底板，支撑陶瓷介电质基板；及至少一个第一电极层，配设于陶瓷介电质基板的内部，与高频电源连接，第一电极层在从底板朝向陶瓷介电质基板的Z轴方向上配设于第一主表面与第二主表面之间，第一电极层具有第一主表面侧的第一面，和与第一面相反侧的第二面，第二面的表面粗糙度大于第一面的表面粗糙度。

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