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1. 发明专利

TW201439532A 光學聲音基體評估系統及方法审中-公开
简体标题：光学声音基体评估系统及方法
公开(公告)号：TW201439532A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW103103917
申请日：2014-02-06
申请人：魯道夫科技股份有限公司 , RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC. , 科羅拉多大學董事會 , THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF COLORADO
发明人：莫瑞陶德 , MURRAY, TODD , 米亨戴爾曼珠沙 , MEHENDALE, MANJUSHA , 柯迪洋斯基麥可 , KOTELYANSKII, MICHAEL , 梅爾羅賓 , MAIR, ROBIN , 摩肯漢布利亞 , MUKUNDHAN, PRIYA
IPC分类号： G01N29/04 , H01L21/66 , H01L21/67
CPC分类号： H01L22/20 , G01N21/00 , G01N21/1702 , G01N21/41 , G01N21/9501 , G01N29/04 , G01N29/2418 , G01N2021/8461 , G01N2201/06113 , G01N2291/011 , G01N2291/028 , G01N2291/0423 , G01N2291/0426 , H01L21/0231 , H01L21/78 , H01L22/00 , H01L22/10 , H01L22/12
摘要：此處揭示識別形成於一基體內之一結構的一或多個特性之系統及方法。於該基體內感應表面聲波及本體聲波，及行進通過一關注結構，於該處感測聲波。該波內編碼有關該結構的一或多個特性之資訊。該編碼資訊係經評估以決定該關注特性。
简体摘要：此处揭示识别形成于一基体内之一结构的一或多个特性之系统及方法。于该基体内感应表面声波及本体声波，及行进通过一关注结构，于该处传感声波。该波内编码有关该结构的一或多个特性之信息。该编码信息系经评估以决定该关注特性。

2. 发明专利

TW201736997A 轉動設備的控制裝置审中-公开
简体标题：转动设备的控制设备
公开(公告)号：TW201736997A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：TW105111445
申请日：2016-04-13
申请人：訊科國際股份有限公司 , SIGNAL TECHNOLOGY INSTRUMENT INC. , 久朝企業有限公司 , CHIU CHAU ENTERPRISE CO., LTD
发明人：蘇治滙 , SU, CHIH-HUI , 李天華 , LI, TIEN-HUA , 許志偉 , HSU, CHIH-WEI , 陳志榮 , CHEN, CHIH-JUNG , 莊育傑 , CHUANG, YU-CHIEH
IPC分类号： G05B19/406
CPC分类号： G01N25/72 , G01M1/00 , G01M13/00 , G01M15/00 , G01M17/00 , G01N29/4427 , G01N29/46 , G01N2291/028 , G05B9/02
摘要：轉動設備的控制裝置包括多數個資訊感測器以及控制器。資訊感測器耦接轉動設備並分別偵測轉動設備的溫度資訊、聲學資訊以及振動資訊。控制器在連續的多個取樣時間點接收溫度資訊、聲學資訊以及振動資訊以分別獲得多數個取樣溫度值、多數個取樣噪聲值以及多數個取樣振動值。控制器並依據取樣溫度值、取樣噪聲值以及取樣振動值來產生分別對應取樣時間點的多個狀態信號。其中，控制器依據狀態信號產生控制信號，並傳送控制信號至轉動設備以控制轉動設備的運作。
简体摘要：转动设备的控制设备包括多数个信息传感器以及控制器。信息传感器耦接转动设备并分别侦测转动设备的温度信息、声学信息以及振动信息。控制器在连续的多个采样时间点接收温度信息、声学信息以及振动信息以分别获得多数个采样温度值、多数个采样噪声值以及多数个采样振动值。控制器并依据采样温度值、采样噪声值以及采样振动值来产生分别对应采样时间点的多个状态信号。其中，控制器依据状态信号产生控制信号，并发送控制信号至转动设备以控制转动设备的运作。

3. 发明专利

TW201632853A 基於振動或聲學特性分析的晶圓夾具偵測审中-公开
简体标题：基于振动或声学特性分析的晶圆夹具侦测
公开(公告)号：TW201632853A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104143754
申请日：2015-12-25
申请人：艾克塞利斯科技公司 , AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人：佐藤修 , SATOH, SHU
IPC分类号： G01L1/10 , G01L5/00 , H01L21/687
CPC分类号： G01N29/34 , G01H13/00 , G01N29/09 , G01N29/12 , G01N29/2418 , G01N2291/014 , G01N2291/018 , G01N2291/028 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/6831 , H01L22/10
摘要：本發明提供一種用於偵測一夾緊裝置之夾緊狀態的工件夾緊狀態偵測系統及方法。一夾緊裝置具有一夾緊表面，該夾緊裝置被配置成用以選擇性地夾緊一工件至該夾緊表面。該夾緊裝置可以為一靜電式夾盤或是一機械式夾具，用以選擇性地將一半導體晶圓固定至該處。一振動誘發機制會進一步被提供，其中，該振動誘發機制被配置成用以選擇性地振動該夾緊裝置與工件中的一或更多者。一振動感測機制也會被提供，其中，該振動感測機制被配置成用以偵測該夾緊裝置與工件中的一或更多者的振動。夾緊狀態的偵測運用聲學特性的變化(例如，自然共振頻率或聲學阻抗的偏移)來決定工件的夾緊條件。一控制器會進一步被配置成用以決定和該工件夾緊至該夾緊表面相關聯的夾緊狀態，其中，該夾緊狀態和該夾緊裝置與工件中的一或更多者之被偵測到的振動相關聯。
简体摘要：本发明提供一种用于侦测一夹紧设备之夹紧状态的工件夹紧状态侦测系统及方法。一夹紧设备具有一夹紧表面，该夹紧设备被配置成用以选择性地夹紧一工件至该夹紧表面。该夹紧设备可以为一静电式夹盘或是一机械式夹具，用以选择性地将一半导体晶圆固定至该处。一振动诱发机制会进一步被提供，其中，该振动诱发机制被配置成用以选择性地振动该夹紧设备与工件中的一或更多者。一振动传感机制也会被提供，其中，该振动传感机制被配置成用以侦测该夹紧设备与工件中的一或更多者的振动。夹紧状态的侦测运用声学特性的变化(例如，自然共振频率或声学阻抗的偏移)来决定工件的夹紧条件。一控制器会进一步被配置成用以决定和该工件夹紧至该夹紧表面相关联的夹紧状态，其中，该夹紧状态和该夹紧设备与工件中的一或更多者之被侦测到的振动相关联。

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