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    • 2. 发明专利
    • 片材表面處理方法及結構
    • 片材表面处理方法及结构
    • TW201714214A
    • 2017-04-16
    • TW104133563
    • 2015-10-13
    • 陽程科技股份有限公司USUN TECHNOLOGY CO., LTD.
    • 黃秋逢HUANG, CHIU FONG
    • H01L21/3063
    • B08B3/022B08B3/041B08B5/043C23C18/16C25D7/0614
    • 本發明為有關一種片材表面處理方法及結構,其係設有可供板材單向進出之通道,且通道側邊設有間隔狀連續排列之複數液體加工裝置及氣體加工裝置,而欲加工之板材進入通道時,為利用推移裝置將板材由通道入口推向出口,此時,液體加工裝置使液體注入對進入通道板材進行表面處理,再以氣體加工裝置進行吸風真空使表面液體及雜質排出,如此藉由複數液體加工裝置及氣體加工裝置輪流對板材進行表面處理及清潔,而使大尺寸之板材在表面處理及清潔時,具有均勻加工之特性,進而可達到表面處理均勻化及成品良率增加之目的。
    • 本发明为有关一种片材表面处理方法及结构,其系设有可供板材单向进出之信道,且信道侧边设有间隔状连续排列之复数液体加工设备及气体加工设备,而欲加工之板材进入信道时,为利用推移设备将板材由信道入口推向出口,此时,液体加工设备使液体注入对进入信道板材进行表面处理,再以气体加工设备进行吸风真空使表面液体及杂质排出,如此借由复数液体加工设备及气体加工设备轮流对板材进行表面处理及清洁,而使大尺寸之板材在表面处理及清洁时,具有均匀加工之特性,进而可达到表面处理均匀化及成品良率增加之目的。